公开(公告)号：CN102356452A

公开(公告)日：2012-02-15

申请号：CN201080012376.4

申请日：2010-02-15

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 竹内良昭 ,  西宫立享 ,  宫原弘臣 ,  中尾祯子

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509 ,  H01L31/04 ,  H05H1/46

CPC classification number: C23C16/4401 ,  C23C16/24 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/509 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32834 ,  H01L31/028 ,  H01L31/03685 ,  H01L31/03762 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1824 ,  H01L31/1868 ,  H01L31/202 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/547 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种实现制成的膜的高品质化并且能够实现大面积化及成膜速度的高速化的真空处理装置。设置有：放电室(2)，由脊形波导管构成，该脊形波导管具有彼此相对配置且其间生成等离子体的脊形电极；气体供给部(10)，与放电室(2)相邻配置，朝向脊形电极供给用于形成等离子体的母气体；基板(S)，配置于在基板(S)与放电室(2)之间夹着气体供给部(10)的位置，实施基于等离子体的处理；减压容器(7)，内部至少收容有放电室(2)、气体供给部(10)及基板(S)；及排气部(9)，连通于与减压容器(7)中的气体供给部(10)之间夹着放电室(2)的位置，使减压容器(7)内部的压力降低。

公开(公告)号：CN101467233B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200780022228.9

申请日：2007-08-22

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 河野慎吾 ,  大坪荣一郎 ,  宫园直之 ,  川村启介 ,  竹内良昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32541 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。

公开(公告)号：CN101467233A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780022228.9

申请日：2007-08-22

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 河野慎吾 ,  大坪荣一郎 ,  宫园直之 ,  川村启介 ,  竹内良昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32541 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。