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公开(公告)号：CN104798146B
公开(公告)日：2017-08-22
申请号：CN201380060819.0
申请日：2013-12-04
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C23C14/0036 , C23C14/0042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C30B25/06 , C30B29/38 , C30B29/605 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/04 , H01C7/041
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。该热敏电阻用金属氮化物材料为用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：CrxAly(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN104797734B
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201380060050.2
申请日：2013-11-27
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/0641 , C23C14/0036 , C23C14/3414 , C23C14/5826 , C23C14/586 , G01K7/22 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/06513
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-wCrw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN105264619A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201480031428.0
申请日：2014-08-15
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: G01K7/223 , H01C1/14 , H01C1/142 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种，0.0＜v＜0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-Al-Si合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜，其中，M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。
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公开(公告)号：CN104812927A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201380061000.6
申请日：2013-12-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/041 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1-vCrv)xAly(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN102300829A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN200980155791.2
申请日：2009-07-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C01G25/02 , C01G45/1264 , C01P2002/34 , C01P2002/50 , C01P2002/52 , C01P2006/32 , C04B35/016 , C04B35/42 , C04B35/6262 , C04B35/62675 , C04B35/62685 , C04B35/63416 , C04B2235/3206 , C04B2235/3208 , C04B2235/3213 , C04B2235/3217 , C04B2235/3224 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3229 , C04B2235/3241 , C04B2235/3244 , C04B2235/3246 , C04B2235/3263 , C04B2235/3265 , C04B2235/3267 , C04B2235/6021 , C04B2235/662 , C04B2235/768 , H01C17/06533
Abstract: 本发明公开了热敏电阻用金属氧化物烧结体，其包括以下通式表示的复合氧化物：La1-yAy(Cr1-xMnx)O3(前提是A表示Ca或Sr中至少一种，且x和y满足0.0≤x≤1.0和0.0＜y≤0.7)。本发明还公开了热敏电阻元件(3)，其包括热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)；和各自具有一端固定于热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)的至少一对导线(1)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102129898A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201010586078.8
申请日：2010-12-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻元件，其能够防止还原劣化的同时提高响应性，并且还能提高安装箱体时的插入性。该热敏电阻元件具备：热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)，形成有至少一对接合用孔(2a)；至少一对导线(3)，以插入于接合用孔(2a)的状态接合于热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)；以及绝缘性包覆材料(4)，局部覆盖热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)的表面，其中，该绝缘性包覆材料(4)覆盖导线(3)和热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)所接合的界面的外露部分(2c)。
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公开(公告)号：CN101765573A
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：CN200880101012.6
申请日：2008-07-31
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: H01C7/008 , C04B35/016 , C04B35/42 , C04B2235/3225 , C04B2235/3227 , C04B2235/3241 , C04B2235/3267 , C04B2235/80 , H01C7/043 , H01C17/06533
Abstract: 本发明公开了一种热敏电阻用金属氧化物烧结体，含有通式La(Cr1-xMnx)O3(x＝0.0～0.6)所示的复合氧化物。此外，热敏电阻元件(3)包括热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)和一对导线(1)，每条导线的一端固定在热敏电阻用金属氧化物烧结体(2)上。
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公开(公告)号：CN115023595A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202180011357.8
申请日：2021-02-17
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种热流开关元件，其导热系数的变化更大、具有优异的热响应性并且能够直接检测温度变化。本发明所涉及的热流开关元件具备：热流控制元件部(10)，具备N型半导体层(3)、层叠于N型半导体层上的绝缘体层(4)及层叠于绝缘体层上的P型半导体层(5)；及感温元件部(11A、11B)，与热流控制元件部接合。并且，感温元件部具备：薄膜热敏电阻部，由热敏电阻材料形成；及一对对置电极，在薄膜热敏电阻部的上方及下方中的至少一方对置形成，薄膜热敏电阻部层叠于热流控制元件部的上方及下方中的至少一方。
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公开(公告)号：CN104812927B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201380061000.6
申请日：2013-12-03
Applicant: 三菱综合材料株式会社
CPC classification number: C23C14/3414 , C23C14/0641 , C23C14/0676 , G01K7/22 , H01C7/006 , H01C7/008 , H01C7/041 , H01C7/042 , H01C17/12
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(Ti1‑vCrv)xAly(N1‑wOw)z表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜v＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.95、0.45≤z≤0.55、0＜w≤0.35、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
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公开(公告)号：CN105144311A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201480022247.1
申请日：2014-06-02
Applicant: 三菱综合材料株式会社
Abstract: 本发明提供一种热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器，该热敏电阻用金属氮化物材料能够在非烧成条件下直接成膜于薄膜等上，且具有高耐热性而可靠性较高。本发明的热敏电阻用金属氮化物材料是用于热敏电阻的金属氮化物材料，由以通式：(M1-wVw)xAlyNz表示的金属氮化物构成，其中，0.0＜w＜1.0、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.4≤z≤0.5、x+y+z＝1，其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相，所述M为Ti、Cr内的一种或两种。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序，所述成膜工序使用M-V-Al合金溅射靶在含氮气氛中进行反应性溅射而成膜，所述M为Ti、Cr内的一种或两种。
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