-
公开(公告)号：CN108293291A
公开(公告)日：2018-07-17
申请号：CN201680069682.9
申请日：2016-01-18
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/513
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，在本发明的活性气体生成装置中，金属电极(201H及201L)形成在电介体电极(211)的下表面上，在俯视时夹着电介体电极(211)的中央区域(R50)互相对置而配置。金属电极(201H及201L)将Y方向作为互相对置的方向。在电介体电极(211)的上表面的中央区域(R50)向上方突出而设置有楔形台阶形状部(51)。楔形台阶形状部(51)形成为随着俯视时靠近多个气体喷出孔(55)中的每个气体喷出孔，Y方向的形成宽度变短。
-
公开(公告)号：CN102666372B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
-
公开(公告)号：CN103766001A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201280043157.1
申请日：2012-04-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/452 , C23C16/505 , H01L21/31
CPC classification number: C23C16/503 , C23C16/452 , H01J37/32036 , H01J37/32348 , H01J37/32357 , H01J37/32559 , H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/2431
Abstract: 本发明提供一种能够高效且多量地输出在被处理件上成膜功能绝缘膜中所使用的金属功能物质粒子气体的等离子体产生装置。本发明所涉及的等离子体产生装置100具备：电极单元；围绕电极单元的框体(16)。电极单元具有：第一电极(3)；放电空间(6)；第二电极(1)；电介质(2a、2b)；在俯视观察下形成于中央部的贯通口(PH)。并且，圆筒形状的绝缘筒部(21)配设在贯通口(PH)的内部，在该圆筒形状的侧面部具有喷出孔(21x)。此外，等离子体产生装置(100)具备与绝缘筒部(21)的空穴部(21A)连接且用于供给金属前体的前体供给部(201)。
-
公开(公告)号：CN101142022B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200580049102.1
申请日：2005-07-15
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J23/02 , B01J23/06 , B01J23/08 , B01J23/14 , B01J23/16 , B01J23/72 , B01J23/745 , B01J35/004 , B01J37/0238 , B01J37/349 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供新的光催化材料生产设备和光催化材料生产方法，所述设备和方法能够通过在高场等离子体中，在高氧化性、高浓度臭氧介质状态下生产大量高品质光催化材料，而不是采用传统的干沉积方法通过PVD和CVD系统产生光催化材料。在依据本发明的光催化材料生产方法和光催化材料生产设备中，通过放电间隙中的电介质材料提供一对相对的电极，向放电间隙中提供主要含氧气的气体，在两个电极之间施加AC电压，在放电间隙中产生电介质阻挡放电(无声放电或蠕缓放电)。因此，产生含臭氧气体的氧气，通过电介质阻挡放电将金属或金属化合物改性为光催化材料。
-
公开(公告)号：CN106797698B
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201480082514.4
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于，在远程等离子体型成膜处理系统中，提供一种即便为例如大面积的被处理体、也能够均匀地实施使用原子团气体的处理的原子团气体产生系统。而且，在本发明的原子团气体产生系统(500)中，处理室装置(200)具有使被处理体(202)旋转的转台(201)。原子团气体生成装置(100)具有多个放电单元(70)。此外，放电单元(70)具有开口部(102)，该开口部(102)与处理室装置(200)内连接，且与被处理体(202)相面对，并且输出原子团气体(G2)。而且，在俯视观察下，越是远离所述被处理体的旋转的中心位置而配设的放电单元(70)，越增大第一电极构件(1)与第二电极构件(31)对置的区域即对置面积。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107075677A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480083012.3
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/455 , B01J4/00 , H01L21/31 , H05H1/24
CPC classification number: B01J4/002 , B01J4/00 , B01J4/008 , C23C14/228 , C23C16/455 , C23C16/45565 , H01L21/31 , H05H1/24 , H05H1/2406 , H05H2001/2462
Abstract: 本发明提供一种即便在具有高纵横比的槽的被处理体上也能够向该槽内均匀地喷射气体的气体喷射装置。而且，本发明的气体喷射装置(100)具有向被处理体(202)喷射气体的气体喷射单元部(1)。气体喷射单元部(1)具有第一锥体形状构件(3)和第二锥体形状构件(2)。在第一锥体形状(3)的侧面与第二锥体形状构件(2)的侧面之间形成有间隙(do)。各锥体形状构件(2、3)的顶部侧与被处理体(202)相面对。
-
公开(公告)号：CN107075676A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201480082990.6
申请日：2014-10-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C23C16/455 , B01J4/00 , C23C16/503 , H01L21/31 , H05H1/24
CPC classification number: C23C16/45561 , B01J4/00 , C23C16/045 , C23C16/452 , C23C16/455 , C23C16/4551 , C23C16/45559 , C23C16/45563 , C23C16/4557 , C23C16/45572 , C23C16/45582 , C23C16/503 , C23C16/513 , H01L21/31 , H05H1/24
Abstract: 本发明提供即便在具有高纵横比的槽的被处理体上也能够向该槽内均匀地喷射气体的针对成膜装置的气体喷射装置。本发明的气体喷射装置(100)具备使气体整流化并将整流化后的气体向成膜装置(200)内喷射的气体喷射单元部(23)。气体喷射单元部(23)为在内部形成有成为气体通路的间隙(d0)的扇形形状。气体分散供给部(99)内的气体从扇形形状的宽度较宽的一侧向间隙(d0)内流入，由于该扇形形状，气体被整流化以及被加速，并从扇形形状的宽度较窄的一侧向成膜装置(200)内输出。
-
公开(公告)号：CN103459307A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201180069523.6
申请日：2011-03-24
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J12/00 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统，其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)，并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且，本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59)，使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少，并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合，向多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。
-
公开(公告)号：CN1976870B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200480043451.8
申请日：2004-09-29
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: H02M7/48 , C01B13/115 , C01B2201/12 , C01B2201/40 , C01B2201/76 , C01B2201/84 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的课题为以紧凑的型式、低廉的成本、生产大容量臭氧发生装置，同时改善装置的维修性。臭氧电源包括：变换成规定频率的交流电压并输出n相交流电压波形的n相逆变器4000；将n相交流电压变换成n相高电压交流电压的n个电抗器2000-a及n相的变压器2000-b；输出n相高电压交流电压的n个高压端子；以及具有公共电位的1个低压端子，多个臭氧发生器单元100在所述放电室内在电气上划分成n个，将n个高压电极端子和把臭氧发生器单元所有的低压电极作为公共的1个低压电极端子、从各个臭氧发生器单元引出，连接n个高压端子与n个高压电极端子，并连接1个低压端子与1个低压电极端子，通过这样在各臭氧发生单元发生n相的交流放电，产生臭氧。
-
公开(公告)号：CN101765902B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200780100341.4
申请日：2007-08-31
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/503
CPC classification number: C23C16/505 , H01J37/32009 , H01J37/32348 , H01J37/32724
Abstract: 本发明提供能以高密度且高效率导出高能量的游离基气体、并提供给被处理物质的介质阻挡放电气体的生成装置。为此，将平板状的第一电极与第二电极配置在相对位置，在两个电极间配置介质。另外，在第一电极与介质之间设置放电空间部，在第一电极与介质的间隙内，形成三方被气体密封、且剩余一方在第一电极及介质的各端面侧开口的放电空间部。再有，包括冷却至少第一电极的冷却部、以及向上述放电空间部提供原料气体的气体提供部。然后，向第一电极及第二电极施加交流电压，在放电空间部产生介质阻挡放电。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
70
records
(took 0.044 seconds)
