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公开(公告)号：CN105594307B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
摘要： 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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公开(公告)号：CN102666372B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC分类号： C01B13/11
CPC分类号： C01B13/11 , C01B2201/90
摘要： 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN101878182B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
申请人： 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC分类号： C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
摘要： 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN1976870B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200480043451.8
申请日：2004-09-29
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC分类号： H02M7/48 , C01B13/115 , C01B2201/12 , C01B2201/40 , C01B2201/76 , C01B2201/84 , C01B2201/90
摘要： 本发明的课题为以紧凑的型式、低廉的成本、生产大容量臭氧发生装置，同时改善装置的维修性。臭氧电源包括：变换成规定频率的交流电压并输出n相交流电压波形的n相逆变器4000；将n相交流电压变换成n相高电压交流电压的n个电抗器2000-a及n相的变压器2000-b；输出n相高电压交流电压的n个高压端子；以及具有公共电位的1个低压端子，多个臭氧发生器单元100在所述放电室内在电气上划分成n个，将n个高压电极端子和把臭氧发生器单元所有的低压电极作为公共的1个低压电极端子、从各个臭氧发生器单元引出，连接n个高压端子与n个高压电极端子，并连接1个低压端子与1个低压电极端子，通过这样在各臭氧发生单元发生n相的交流放电，产生臭氧。
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公开(公告)号：CN101878182A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
申请人： 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC分类号： C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
摘要： 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN104105659B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280069495.2
申请日：2012-08-30
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC分类号： C01B13/11 , B01J35/004 , B01J35/02 , C01B2201/10 , C01B2201/20 , C01B2201/64 , C01B2201/70 , C01B2201/90
摘要： 本发明的目的在于提供一种能够抑制副产品的产生且低成本的臭氧生成系统。在本发明中，具备对臭氧产生装置(1)输出原料气体的气体流量调整装置(7)。气体流量调整装置(7)具备多个流量调整部(71、72、73、75)，并将由从第一氧流量调整部(71)输出的氧气和从混合气体流量调整部(75)输出的第一混合气体构成的第二混合气体作为原料气体而对臭氧产生装置(1)输出。在此，在气体流量调整装置(7)中生成的原料气体由氧气和氮气构成，氮相对于氧气的添加率比0ppm大且为100ppm以下。
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公开(公告)号：CN101878183B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN200880118263.5
申请日：2008-11-28
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC分类号： C01B13/10
CPC分类号： C01B13/10 , B01D53/04 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , B01D2259/404 , B01D2259/41 , C01B13/0203
摘要： 一种高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法，通过以如下的方式构成：将超过大气压的规定浓度的臭氧化气体向装入了作为在0℃以下的低温状态、高气压下进行吸附的吸附剂的氧化硅胶(6)的吸附解吸塔(4)内供给，而且将多个吸附解吸塔(4)中的三塔以上的吸附解吸塔(4-1、4-2、4-3)串联循环配置而构成主吸附解吸塔群(99)，将与该主吸附解吸塔群(99)并列配置的吸附解吸塔(4-4)作为辅助吸附解吸塔(999)，在主吸附解吸塔群(99)的三塔的任一个都没有进行解吸工序的期间，由辅助吸附解吸塔(999)解吸臭氧，能连续地大流量地输出高浓度臭氧。由此，通过高效率地生成高浓度臭氧化气体，能增加能输出的臭氧量且减少不能输出的排出气体量，使高浓度臭氧气体生成装置紧凑化、改善操作性、廉价。
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公开(公告)号：CN102770369A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC分类号： C01B13/11
CPC分类号： B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
摘要： 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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公开(公告)号：CN101389387B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200680053064.1
申请日：2006-11-29
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC分类号： B01D53/002 , B01D2256/14 , C01B13/0251 , C01B13/10 , C01B13/11 , C01B2201/80 , C01B2201/82 , C01B2210/0092 , Y02C10/10 , Y02C10/12
摘要： 特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法，其中，在1个臭氧浓缩小室内，形成能够从臭氧化氧气中使臭氧选择性地结露或使氧气选择性地透过而被排出的冷却温度范围的部分和能够使结露的臭氧蒸气化的温度范围的部分，使结露的臭氧借助流体的流动或重力作用，移动至能够使上述结露的臭氧蒸气化的部分，使其蒸气化，由此可以使臭氧化氧气更高浓度化。填充于臭氧浓缩小室11、12内的结露、蒸气化粒子材料13为球形且侧面成为具有多个平面的特殊形状或是能够使臭氧气中的氧气选择性地透过的氧透过膜130。
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公开(公告)号：CN102666372A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC分类号： C01B13/11
CPC分类号： C01B13/11 , C01B2201/90
摘要： 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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