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公开(公告)号：CN102066925B
公开(公告)日：2013-07-03
申请号：CN200980123355.7
申请日：2009-04-17
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: G01N33/0013
Abstract: 本发明提供在大气压附近实时地测定氮原子密度的氮原子测定方法。氮原子测定方法，是在大气压附近测定氮原子的密度的氮原子测定方法，具有以下步骤：对于在氮原子发生源中发生的含有氮原子的气体中的规定量，在上述氮原子发生源的下游，混合浓度已知的规定量的一氧化氮气；上述含有氮原子的气体与混合的上述一氧化氮气的反应后，测定一氧化氮的密度和二氧化氮的密度；使用如下关系算出氮原子密度：氮原子密度为从上述一氧化氮气的已知的浓度减去测定的上述一氧化氮的浓度和测定的上述二氧化氮的浓度之和所得到的差。
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公开(公告)号：CN102066925A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123355.7
申请日：2009-04-17
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: G01N33/0013
Abstract: 本发明提供在大气压附近实时地测定氮原子密度的氮原子测定方法。氮原子测定方法，是在大气压附近测定氮原子的密度的氮原子测定方法，具有以下步骤：对于在氮原子发生源中发生的含有氮原子的气体中的规定量，在上述氮原子发生源的下游，混合浓度已知的规定量的一氧化氮气；上述含有氮原子的气体与混合的上述一氧化氮气的反应后，测定一氧化氮的密度和二氧化氮的密度；使用如下关系算出氮原子密度：氮原子密度为从上述一氧化氮气的已知的浓度减去测定的上述一氧化氮的浓度和测定的上述二氧化氮的浓度之和所得到的差。
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公开(公告)号：CN101878182B
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
Abstract: 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN101878182A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200880118256.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社 , 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , Y02P20/123 , Y02P20/124
Abstract: 本发明的臭氧浓缩装置具有：臭氧发生器(3)；用于对由臭氧发生器(3)产生的臭氧进行浓缩而内包有通过一定温度的冷媒(25)冷却了的硅胶(6)的吸附解吸塔(4)；用于冷却冷媒(25)的冷冻机(23)；用于通过从吸附了臭氧的硅胶(6)主要排出氧来提高吸附解吸塔(4)内的臭氧浓度的真空泵(20)；用于切换相对吸附解吸塔(4)流入或者流出的气体流路的空气压操作的多个阀(8～13)；用于测定由真空泵(20)提高了臭氧浓度的臭氧的浓度的臭氧浓度计(28、29)；使真空泵(20)的排气线路与另外的吸附解吸塔(4)连接，再次通过该另外的吸附解吸塔(4)。由此，以在吸附解吸塔的上下不产生温度差的方式高能量效率地产生稳定的高浓度臭氧。
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公开(公告)号：CN101878183A
公开(公告)日：2010-11-03
申请号：CN200880118263.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/10
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/04 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , B01D2259/404 , B01D2259/41 , C01B13/0203
Abstract: 一种高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法，通过以如下的方式构成：将超过大气压的规定浓度的臭氧化气体向装入了作为在0℃以下的低温状态、高气压下进行吸附的吸附剂的氧化硅胶(6)的吸附解吸塔(4)内供给，而且将多个吸附解吸塔(4)中的三塔以上的吸附解吸塔(4-1、4-2、4-3)串联循环配置而构成主吸附解吸塔群(99)，将与该主吸附解吸塔群(99)并列配置的吸附解吸塔(4-4)作为辅助吸附解吸塔(999)，在主吸附解吸塔群(99)的三塔的任一个都没有进行解吸工序的期间，由辅助吸附解吸塔(999)解吸臭氧，能连续地大流量地输出高浓度臭氧。由此，通过高效率地生成高浓度臭氧化气体，能增加能输出的臭氧量且减少不能输出的排出气体量，使高浓度臭氧气体生成装置紧凑化、改善操作性、廉价。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101878183B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN200880118263.5
申请日：2008-11-28
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社 , 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/10
CPC classification number: C01B13/10 , B01D53/04 , B01D53/047 , B01D2253/106 , B01D2256/14 , B01D2259/403 , B01D2259/404 , B01D2259/41 , C01B13/0203
Abstract: 一种高浓度臭氧气体生成装置及高浓度臭氧气体生成方法，通过以如下的方式构成：将超过大气压的规定浓度的臭氧化气体向装入了作为在0℃以下的低温状态、高气压下进行吸附的吸附剂的氧化硅胶(6)的吸附解吸塔(4)内供给，而且将多个吸附解吸塔(4)中的三塔以上的吸附解吸塔(4-1、4-2、4-3)串联循环配置而构成主吸附解吸塔群(99)，将与该主吸附解吸塔群(99)并列配置的吸附解吸塔(4-4)作为辅助吸附解吸塔(999)，在主吸附解吸塔群(99)的三塔的任一个都没有进行解吸工序的期间，由辅助吸附解吸塔(999)解吸臭氧，能连续地大流量地输出高浓度臭氧。由此，通过高效率地生成高浓度臭氧化气体，能增加能输出的臭氧量且减少不能输出的排出气体量，使高浓度臭氧气体生成装置紧凑化、改善操作性、廉价。
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公开(公告)号：CN110088038B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201680091718.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。
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公开(公告)号：CN108292603B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201680068427.2
申请日：2016-01-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/455
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种能够以超过马赫的超高速向处理对象衬底供给气体的气体供给装置。并且，本发明的气体供给装置的气体喷出器(1)具有喷嘴部(10)。构成喷嘴部(10)的第一段限制筒(13)的开口部截面形状呈直径r1的圆形。第二段限制筒(14)沿着Z方向与第一段限制筒(13)连续地形成，开口部截面形状呈直径r2的圆形，将从第一段限制筒(13)供给的原料气体(G1)向下方的低真空处理腔(18)进行供给。这时，直径r2被设定为满足“r2>r1”。
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公开(公告)号：CN108293291B
公开(公告)日：2020-09-18
申请号：CN201680069682.9
申请日：2016-01-18
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: H05H1/24 , C23C16/513
Abstract: 本发明的目的在于提供能够生成高密度的活性气体的活性气体生成装置。并且，在本发明的活性气体生成装置中，金属电极(201H及201L)形成在电介体电极(211)的下表面上，在俯视时夹着电介体电极(211)的中央区域(R50)互相对置而配置。金属电极(201H及201L)将Y方向作为互相对置的方向。在电介体电极(211)的上表面的中央区域(R50)向上方突出而设置有楔形台阶形状部(51)。楔形台阶形状部(51)形成为随着俯视时靠近多个气体喷出孔(55)中的每个气体喷出孔，Y方向的形成宽度变短。
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公开(公告)号：CN105594307B
公开(公告)日：2018-09-28
申请号：CN201380080010.4
申请日：2013-10-04
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。
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