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    电源装置
    5.
    发明授权
    电源装置 有权

    公开(公告)号：CN105594307B

    公开(公告)日：2018-09-28

    申请号：CN201380080010.4

    申请日：2013-10-04

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 田畑要一郎 ,  冲原雄二郎 ,  中村纪幸 ,  西村真一

    IPC分类号： H05H1/46 ,  C01B13/11 ,  H02M7/48

    摘要： 本发明提供一种在包含等离子产生装置以及电源装置的系统中自动地决定逆变器的驱动频率的电源装置。本发明所涉及的电源装置(10)具有：在电源装置(10)与等离子产生装置(5)之间创建谐振状态的谐振单元(7)；和进行如下动作的控制部(6)。即，控制部(6)在被指示相对于额定电力为100％的投入电力值(或100％以下且阈值％以上的投入电力值)时，使逆变器频率变化，按照每个逆变器频率分别求取逆变器输出功率因数。然后，控制部(6)基于成为最高的逆变器输出功率因数的逆变器频率来将其决定为逆变器的驱动频率。

    臭氧气体供给系统
    6.
    发明授权
    臭氧气体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN102666372B

    公开(公告)日：2015-08-05

    申请号：CN201080053598.0

    申请日：2010-09-06

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 中村纪幸 ,  冲原雄二郎 ,  西津徹哉 ,  四元初男 ,  田畑要一郎 ,  伊藤信之

    IPC分类号： C01B13/11

    CPC分类号： C01B13/11 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。

    n相臭氧发生装置
    7.
    发明授权
    n相臭氧发生装置 失效

    公开(公告)号：CN1976870B

    公开(公告)日：2012-08-29

    申请号：CN200480043451.8

    申请日：2004-09-29

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 田畑要一郎 ,  冲原雄二郎 ,  石川政幸 ,  西津彻哉

    IPC分类号： C01B13/11 ,  H02M7/48

    CPC分类号： H02M7/48 ,  C01B13/115 ,  C01B2201/12 ,  C01B2201/40 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/84 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的课题为以紧凑的型式、低廉的成本、生产大容量臭氧发生装置，同时改善装置的维修性。臭氧电源包括：变换成规定频率的交流电压并输出n相交流电压波形的n相逆变器4000；将n相交流电压变换成n相高电压交流电压的n个电抗器2000-a及n相的变压器2000-b；输出n相高电压交流电压的n个高压端子；以及具有公共电位的1个低压端子，多个臭氧发生器单元100在所述放电室内在电气上划分成n个，将n个高压电极端子和把臭氧发生器单元所有的低压电极作为公共的1个低压电极端子、从各个臭氧发生器单元引出，连接n个高压端子与n个高压电极端子，并连接1个低压端子与1个低压电极端子，通过这样在各臭氧发生单元发生n相的交流放电，产生臭氧。

    臭氧气体供给系统
    9.
    发明公开
    臭氧气体供给系统 有权

    公开(公告)号：CN102770369A

    公开(公告)日：2012-11-07

    申请号：CN201080053584.9

    申请日：2010-09-06

    申请人： 东芝三菱电机产业系统株式会社

    发明人： 冲原雄二郎 ,  田畑要一郎 ,  中村纪幸 ,  西津徹哉 ,  四元初男 ,  伊藤信之

    IPC分类号： C01B13/11

    CPC分类号： B01J19/088 ,  B01J2219/0805 ,  C01B13/11 ,  C01B2201/64 ,  C01B2201/76 ,  C01B2201/90

    摘要： 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。