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公开(公告)号：CN102770369B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102666372A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN101142022A
公开(公告)日：2008-03-12
申请号：CN200580049102.1
申请日：2005-07-15
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J23/02 , B01J23/06 , B01J23/08 , B01J23/14 , B01J23/16 , B01J23/72 , B01J23/745 , B01J35/004 , B01J37/0238 , B01J37/349 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供新的光催化材料生产设备和光催化材料生产方法，所述设备和方法能够通过在高场等离子体中，在高氧化性、高浓度臭氧介质状态下生产大量高品质光催化材料，而不是采用传统的干沉积方法通过PVD和CVD系统产生光催化材料。在依据本发明的光催化材料生产方法和光催化材料生产设备中，通过放电间隙中的电介质材料提供一对相对的电极，向放电间隙中提供主要含氧气的气体，在两个电极之间施加AC电压，在放电间隙中产生电介质阻挡放电(无声放电或蠕缓放电)。因此，产生含臭氧气体的氧气，通过电介质阻挡放电将金属或金属化合物改性为光催化材料。
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公开(公告)号：CN102770369A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201080053584.9
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: B01J19/088 , B01J2219/0805 , C01B13/11 , C01B2201/64 , C01B2201/76 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元，其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外，在本发明中，气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a～R30f)，通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接，从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
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公开(公告)号：CN102666372B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201080053598.0
申请日：2010-09-06
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/90
Abstract: 本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元，该臭氧气体输出流量管理单元接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
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公开(公告)号：CN101142022B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200580049102.1
申请日：2005-07-15
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , B01J23/02 , B01J23/06 , B01J23/08 , B01J23/14 , B01J23/16 , B01J23/72 , B01J23/745 , B01J35/004 , B01J37/0238 , B01J37/349 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供新的光催化材料生产设备和光催化材料生产方法，所述设备和方法能够通过在高场等离子体中，在高氧化性、高浓度臭氧介质状态下生产大量高品质光催化材料，而不是采用传统的干沉积方法通过PVD和CVD系统产生光催化材料。在依据本发明的光催化材料生产方法和光催化材料生产设备中，通过放电间隙中的电介质材料提供一对相对的电极，向放电间隙中提供主要含氧气的气体，在两个电极之间施加AC电压，在放电间隙中产生电介质阻挡放电(无声放电或蠕缓放电)。因此，产生含臭氧气体的氧气，通过电介质阻挡放电将金属或金属化合物改性为光催化材料。
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