发明公开
- 专利标题: 臭氧气体供给系统
- 专利标题(英): Ozone gas supply system
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申请号: CN201080053584.9申请日: 2010-09-06
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公开(公告)号: CN102770369A公开(公告)日: 2012-11-07
- 发明人: 冲原雄二郎 , 田畑要一郎 , 中村纪幸 , 西津徹哉 , 四元初男 , 伊藤信之
- 申请人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
- 当前专利权人: 东芝三菱电机产业系统株式会社
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 胡晓萍
- 优先权: PCT/JP2009/069952 2009.11.26 JP
- 国际申请: PCT/JP2010/065210 2010.09.06
- 国际公布: WO2011/065088 JA 2011.06.03
- 进入国家日期: 2012-05-25
- 主分类号: C01B13/11
- IPC分类号: C01B13/11
摘要:
本发明的目的在于得到一种臭氧发生单元及上述臭氧发生单元,其中上述臭氧发生单元可实现具有用于输出臭氧气体的多个元件且设有控制元件的臭氧发生器单元的小型化。此外,在本发明中,气体配管集成块(30)具有多个内部配管路径(R30a~R30f),通过将上述多个内部配管路径与臭氧发生器(1)、控制元件(MFC(3)、气体过滤器(51)及APC(4))、原料气体供给口(14)、臭氧气体输出口(15)及冷却水出入口(13A、13B)连接,从而形成将从原料气体供给口经由APC直至臭氧气体发生器的原料气体输入配管路径、及从臭氧发生器经由臭氧过滤器、臭氧浓度计(5)、MFC(3)直至臭氧气体输出口的臭氧气体输出配管路径一体化的单元。
公开/授权文献
- CN102770369B 臭氧发生单元及臭氧气体供给系统 公开/授权日:2014-11-26