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公开(公告)号：CN110088038A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201680091718.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。
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公开(公告)号：CN110088038B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN201680091718.3
申请日：2016-12-19
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种实现装置整体的结构紧凑化、而且安装了多个气体产生器单元的气体产生装置。本发明的气体产生装置具有：6台气体产生器单元(4a～4f)，各个气体产生器单元具有气体产生器(43)；一个单位的多交流电源部(3001)，对6台气体产生器单元(4a～4f)供给6个高频交流电压；一个单位的气体控制部(3003)，控制6台气体产生器单元(4a～4f)的原料气体及输出气体；以及一个单位的控制操作部构成部(3002)，执行交流电力控制动作，使得分别供给彼此独立的具有期望的电量的6种高频交流电压。并且，6台气体产生器单元(4a～4f)、一个单位的多交流电源部(3001)、气体控制部(3003)及控制操作部构成部(3002)被设置成一体。
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公开(公告)号：CN110997556B
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN201780093738.9
申请日：2017-08-09
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能实现系统结构的小型化的臭氧气体利用系统和实现环境负担的降低。并且，本发明具备具有生成臭氧气体(62)的臭氧产生装置(100)的执行臭氧利用处理的小规模的应用装置(200)。臭氧产生装置(100)包括：负载共振型高频升压变压器(13)，得到升压高频电压(72)；以及臭氧气体产生器(11)，接收升压高频电压(72)作为动作电压，从包含氧气的原料气体生成200g/m3以上的臭氧浓度的臭氧气体(62)。应用装置(200)在0.2MPa以上的压力环境下接收臭氧气体(62)。
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公开(公告)号：CN110997556A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201780093738.9
申请日：2017-08-09
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能实现系统结构的小型化的臭氧气体利用系统和实现环境负担的降低。并且，本发明具备具有生成臭氧气体(62)的臭氧产生装置(100)的执行臭氧利用处理的小规模的应用装置(200)。臭氧产生装置(100)包括：负载共振型高频升压变压器(13)，得到升压高频电压(72)；以及臭氧气体产生器(11)，接收升压高频电压(72)作为动作电压，从包含氧气的原料气体生成200g/m3以上的臭氧浓度的臭氧气体(62)。应用装置(200)在0.2MPa以上的压力环境下接收臭氧气体(62)。
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公开(公告)号：CN108367919A
公开(公告)日：2018-08-03
申请号：CN201580085161.8
申请日：2015-12-08
Applicant: 东芝三菱电机产业系统株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11
Abstract: 本发明的目的是提供能够产生更高浓度的臭氧的臭氧产生方法。并且，作为设置于本发明中所使用的臭氧产生器(1)的电介体(1c)、接地电极(1b)间的金属化合物质层(1d)，使用了下述金属化合物质，该金属化合物质满足：条件(1)“不是促进臭氧分解的物质”；条件(2)“不是导电体”；条件(3)“金属化合物质层(1d)的禁带宽度为2.0～4.0(eV)的范围”及条件(4)“金属化合物质层(1d)的在激发状态下所形成的价电子带部的空穴电位大于氧分子的结合电位(1.25(eV))”。进而，在将抑制臭氧的分解量的各种臭氧分解抑制必要条件施加于臭氧产生器(1)的环境下执行作为臭氧产生处理的步骤(a)～(c)。
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