体声波谐振器
    11.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-公开

    公开(公告)号:CN118826684A

    公开(公告)日:2024-10-22

    申请号:CN202410461458.0

    申请日:2024-04-17

    Abstract: 体声波谐振器包括谐振部分,谐振部分包括第一电极、沿着高度方向设置在第一电极上的压电层和沿着高度方向设置在压电层上的第二电极。谐振部分包括其中第一电极、压电层和第二电极沿着高度方向彼此重叠的重叠区域。重叠区域包括中央部分和设置在中央部分外侧并且包括第一边缘部分和第二边缘部分的边缘部分。沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度低于中央部分的第二电极的高度,并且沿着高度方向,第一边缘部分的第二电极的高度和第二边缘部分的第二电极的高度彼此不同。

    体声波谐振器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114793099A9

    公开(公告)日:2023-10-10

    申请号:CN202110801186.0

    申请日:2021-07-15

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:第一电极,设置在基板的上侧上;压电层,设置在所述第一电极的上表面上;以及第二电极,设置在所述压电层的上表面上,其中,所述第一电极和所述第二电极中的至少一个的上表面具有凹入区,其中,所述凹入区的深度为D,所述凹入区的宽度为W,并且谐振频率为F,并且ln为自然对数,并且其中,[{ln(D×W)}/(-0.59×F)]大于等于[[ln{0.008(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]且小于等于[[ln{0.022(μm)2}]/{-0.59×(3.5GHz)}]。

    体声波谐振器
    15.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-实审

    公开(公告)号:CN113541633A

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202011537681.7

    申请日:2020-12-23

    Abstract: 本公开提供了一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:第一电极;压电层,至少部分地设置在所述第一电极的上部上;以及第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分。所述第二电极包括设置在所述体声波谐振器的有效区域的边缘处的框架,并且所述第一电极、所述压电层和所述第二电极设置为在所述有效区域的所述边缘处彼此叠置。所述框架包括设置在所述有效区域的所述边缘处的壁和形成在所述壁的内侧上的沟槽。所述沟槽的内边界线在与所述框架的上表面平行的平面中具有凹凸形状。

    体声波谐振器
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112311351A

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN202010748289.0

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;下电极,设置在所述基板上;压电层,至少部分地覆盖所述下电极;以及上电极,至少部分地覆盖所述压电层。在所述体声波谐振器的表面上,所述下电极、所述压电层和所述上电极全部彼此重叠的有效区域的质心与限定所述有效区域的高宽比的矩形的中心对准。所述有效区域具有相对于穿过限定所述高宽比的所述矩形的所述中心的至少一个轴对称的多边形的形状。所述高宽比大于等于2且小于等于10。

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