体声波谐振器
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113497597A

    公开(公告)日:2021-10-12

    申请号:CN202011072161.3

    申请日:2020-10-09

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;第一电极,设置在所述基板上;压电层,设置为覆盖所述第一电极的至少一部分;第二电极,设置为覆盖所述压电层的至少一部分;金属焊盘,连接到所述第一电极和所述第二电极;以及连接构件,连接到所述金属焊盘的上表面。所述连接构件的下端部包括在朝向所述连接构件的下端的方向上直径减小的锥形部,并且所述锥形部的倾斜表面与所述金属焊盘的所述上表面之间的角度为45°至80°。

    声波滤波器装置
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110784190B

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN201910534853.6

    申请日:2019-06-20

    Abstract: 本发明提供一种声波滤波器装置,所述声波滤波器装置包括谐振部、第一金属焊盘和第二金属焊盘。谐振部中的每个包括设置在基板上的下电极、设置在所述下电极的至少一部分上的压电层以及设置在所述压电层的至少一部分上的上电极。第一金属焊盘连接到所述谐振部中的相应的谐振部的所述上电极和所述下电极中的一个。第二金属焊盘设置在所述下电极、所述压电层和所述上电极重叠的有效区外部,并连接到所述谐振部中的相邻的谐振部的所述上电极和所述下电极中的另一个。设置在所述有效区外部的环形部仅设置在所述第一金属焊盘和所述第二金属焊盘中的任意一者的一部分上。

    体声波谐振器
    13.
    发明公开
    体声波谐振器 审中-实审

    公开(公告)号:CN114374370A

    公开(公告)日:2022-04-19

    申请号:CN202110843829.8

    申请日:2021-07-26

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括:基板;谐振部,包括顺序堆叠的第一电极、压电层和第二电极;腔,限定在所述基板与所述谐振部之间;以及散热部,设置在所述腔中并支撑所述谐振部。所述第二电极包括第一区域和第二区域,所述第二区域的厚度大于所述第一区域的厚度,并且所述第二区域设置在所述散热部上方。

    声波谐振器
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111342802A

    公开(公告)日:2020-06-26

    申请号:CN201911255335.7

    申请日:2019-12-10

    Abstract: 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:谐振单元,包括压电层、设置在所述压电层的下侧上的第一电极和设置在所述压电层的上侧上的第二电极;基板,设置在所述谐振单元的下方;支撑单元,在所述基板与所述谐振单元之间形成腔;以及柱,延伸穿过所述腔,并将所述谐振单元连接到所述基板。所述谐振单元还包括设置在所述柱的上方的第一插入层。

    体声波谐振器
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110829998A

    公开(公告)日:2020-02-21

    申请号:CN201910548840.4

    申请日:2019-06-24

    Abstract: 本公开提供一种体声波谐振器,所述体声波谐振器包括:基板;膜层,与所述基板形成腔;下电极,设置在所述膜层上;插入层,设置为覆盖所述下电极的至少一部分;压电层,设置在所述下电极上以覆盖所述插入层;以及上电极,至少部分地设置在所述压电层上,其中,所述上电极包括设置在所述插入层上的反射凹槽。

    声波滤波器装置
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110784190A

    公开(公告)日:2020-02-11

    申请号:CN201910534853.6

    申请日:2019-06-20

    Abstract: 本发明提供一种声波滤波器装置,所述声波滤波器装置包括谐振部、第一金属焊盘和第二金属焊盘。谐振部中的每个包括设置在基板上的下电极、设置在所述下电极的至少一部分上的压电层以及设置在所述压电层的至少一部分上的上电极。第一金属焊盘连接到所述谐振部中的相应的谐振部的所述上电极和所述下电极中的一个。第二金属焊盘设置在所述下电极、所述压电层和所述上电极重叠的有效区外部,并连接到所述谐振部中的相邻的谐振部的所述上电极和所述下电极中的另一个。设置在所述有效区外部的环形部仅设置在所述第一金属焊盘和所述第二金属焊盘中的任意一者的一部分上。

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