具有核壳结构的TiO2/SiO2/Fe3O4纳米颗粒及其制造方法

    公开(公告)号:CN101596456B

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:CN200910074826.1

    申请日:2009-07-06

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及一种以Fe3O4为核心的纳米颗粒,具体为一种具有核壳结构的TiO2/SiO2/Fe3O4纳米颗粒及其制造方法。解决纳米TiO2颗粒催化剂在污水处理时自然光下催化效率低、难于同时满足控制回收和保持高催化活性等技术问题。步骤包括制备SiO2/Fe3O4溶液,配备钛溶胶,把制备好的SiO2/Fe3O4溶液和钛溶胶混合。本发明采用具有铁磁性微粒作为载体芯,制成具有核壳结构的TiO2/SiO2/Fe3O4粒子作为催化剂,该催化粒子具有很好的分散性和水溶性,能与污水中的有机污染物充分接触,既具备悬浮相光催化剂的高效性,同时超顺磁的磁核能实现对催化剂的磁控,从而有效回收。

    一种d15模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114665006B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202210276198.0

    申请日:2022-03-21

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请提供了一种d15模式铁电单晶薄膜压电振动传感器及其制备方法,通过将底电极/二氧化硅层/硅基底与铌酸锂晶片进行键合,再依次进行减薄、化学机械抛光和清洗,得到铌酸锂单晶薄膜;在晶圆表面采用磁控溅射、离子束刻蚀剥离工艺制备对准标记及表面电极,接着采用离子束刻蚀法刻蚀铌酸锂单晶薄膜使其图形化,采用反应离子刻蚀法刻蚀二氧化硅层使其图形化,随后采用离子束刻蚀法刻蚀底电极使其图形化,最后采用深硅刻蚀工艺从硅基底正面制备悬臂梁与质量块并从其背部完成器件的释放。本申请能够将铁电单晶铌酸锂薄膜与硅片很好键合,并在此基础上采用标准的MEMS工艺制备传感器件,工艺可行性和重复率高,制得的器件具有宽频带及很高的输出电压。

    基于行列寻址的高密度柔性神经电极阵列制造方法

    公开(公告)号:CN118723920B

    公开(公告)日:2024-11-22

    申请号:CN202411186470.1

    申请日:2024-08-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电气元件组件的制造技术领域,具体为基于行列寻址的高密度柔性神经电极阵列制造方法,包括聚偏氟乙烯滤膜的预处理,过滤纳米线图案,聚二甲基硅氧烷层的预处理,将带有列引线导电层的PDMS绝缘层和带有行引线导电层的PDMS基底层键合,PDMS封装层激光打孔后,将PDMS封装层与PDMS绝缘层键合,使行引线导电层的电极点和列引线导电层的电极点暴露并完成封装。行引线导电层中同一行的电极点共用同一根引线,列引线导电层中同一列的电极点共用同一根引线,使N×N电极阵列的引线数量从N²减少到2N,降低了线路的复杂性和成本,通过该方法制备的柔性神经电极阵列能显著提升脑电信号的采集效率和异常信号的定位精度。

    一种压阻式柔性压力触须传感器

    公开(公告)号:CN118654788B

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202411132284.X

    申请日:2024-08-19

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及测量值、控制信号或类似信号的传输技术领域,尤其涉及一种压阻式柔性压力触须传感器,解决了现有触须传感器只能检测单一方向上的力以及灵敏度较低的技术问题,其包括圆形底座、圆形顶盖、纤毛和针锥,针锥固定至圆形底座的顶部,针锥的顶部插入圆形顶盖底部的凹槽中,圆形顶盖的顶部中心固定连接有支撑圆筒,纤毛插入支撑圆筒并与支撑圆筒固定连接,圆形顶盖的直径小于圆形底座,圆形顶盖和圆形底座之间连接覆盖有柔性薄膜,柔性薄膜上粘贴有多组敏感栅,多组敏感栅沿柔性薄膜的周向均匀布置。本发明采用了柔性传感阵列、纤毛和转矩放大机构的组合设计,以实现传感器的高灵敏度、微弱应变感知能力,并显著提升其可靠性。

    硅基铌酸锂铁电单晶薄膜振动传感器的制备方法及应用

    公开(公告)号:CN118765154A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202411237493.0

    申请日:2024-09-05

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明公开了一种硅基铌酸锂铁电单晶薄膜振动传感器的制备方法及应用,涉及半导体器件加工制造技术领域。具体为:采用PECVD法在Si‑LiNbO3键合片沉积一层SiO2薄膜层,采用磁控溅射、光刻和离子束刻蚀工艺对所需标记图案和金属电极进行制备,通过离子束刻蚀工艺和反应离子刻蚀工艺分别完成LiNbO3压电层和第二SiO2薄膜层的刻蚀;利用深硅刻蚀机完成正面Si基底的刻蚀。最后刻蚀背面空腔,利用深硅刻蚀机来完成器件释放。本发明设计合理,制造工艺简单,成品率高,产品能够在辐照环境下进行测试;该传感器有利于远距离信号传输,适用于高频微振动的测试环境;对于极端环境下的振动信息采集和设备异常检测提供了有力的帮助。

    基于行列寻址的高密度柔性神经电极阵列制造方法

    公开(公告)号:CN118723920A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202411186470.1

    申请日:2024-08-28

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电气元件组件的制造技术领域,具体为基于行列寻址的高密度柔性神经电极阵列制造方法,包括聚偏氟乙烯滤膜的预处理,过滤纳米线图案,聚二甲基硅氧烷层的预处理,将带有列引线导电层的PDMS绝缘层和带有行引线导电层的PDMS基底层键合,PDMS封装层激光打孔后,将PDMS封装层与PDMS绝缘层键合,使行引线导电层的电极点和列引线导电层的电极点暴露并完成封装。行引线导电层中同一行的电极点共用同一根引线,列引线导电层中同一列的电极点共用同一根引线,使N×N电极阵列的引线数量从N²减少到2N,降低了线路的复杂性和成本,通过该方法制备的柔性神经电极阵列能显著提升脑电信号的采集效率和异常信号的定位精度。

    一种适用于气流法评价起泡剂性能的自动测试系统及方法

    公开(公告)号:CN118671066A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202411154875.7

    申请日:2024-08-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于煤泥浮选药剂评价方法技术领域,具体为一种适用于气流法评价起泡剂性能的自动测试系统及方法,本发明测试系统包括充气装置、气泡发生装置和图像采集装置;充气装置通过自动泄压阀避免系统压力过大造成事故;充气装置中电磁阀通过接收上位机软件发送的指令实现自动通断;图像采集装置包括图像采集单元和计算机;图像采集单元通过以太网接口与计算机连接;图像采集单元通过无线通信模块与电磁阀连接;计算机上运行气流法评价起泡剂性能的自动测试系统上位机软件,上位机软件控制图像采集和电磁阀通断;本发明应用于气流法评价起泡剂性能测试,解决了传统气流法评价泡沫性能测试不准确及测试效率低的问题。

    基于悬臂梁的复合型压电振动传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118603291A

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202410639139.4

    申请日:2024-05-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及基于悬臂梁的复合型压电振动传感器及其制备方法。该基于悬臂梁的复合型压电振动传感器,基于悬臂梁的复合型压电振动传感器,所述传感器包括键合片,所述键合片经过MEMS工艺形成边框、质量块与悬臂梁,所述键合片为于Si基片双面生长SiO2薄膜后与LiNbO3晶片键合构成;所述悬臂梁包括两组单悬臂梁与两组双悬臂梁,两组单悬臂梁与两组双悬臂梁分别设置于质量块的不同边上,且两组单悬臂梁对称设置,两组所述双悬臂梁同样对称设置;所述质量块、单悬臂梁及双悬臂梁上相应位置设置有电极;所述单悬臂梁轴线的位置在质量块边长的中点处;该基于悬臂梁的复合型压电振动传感器,能够很好的完成宽频带、强信号输出的元器件的制备。

    一种电磁式旋转能量采集器

    公开(公告)号:CN118381279A

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202410823240.5

    申请日:2024-06-25

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于电机技术领域,尤其涉及一种电磁式旋转能量采集器,解决了现有能量采集器难以有效地捕获低频能源的技术问题,其包括中心轴、上磁铁套筒、下磁铁套筒和旋转机构,旋转机构包括线圈套筒、上盖、下盖以及位于线圈套筒内部的线圈组件;线圈套筒外壁中部沿周向向外延伸有用于连接风叶的支撑环,上磁铁套筒位于支撑环的上侧,下磁铁套筒位于支撑环的下侧,上磁铁套筒的内侧固定连接有多块上磁铁,下磁铁套筒的内侧固定连接有多块下磁铁,上盖上侧的中心轴上连接有顶盖,下盖下侧的中心轴上连接有底盖。本发明能量转换效率高、能量传动损耗小,拓宽了能量采集器在不同频率下的适用性,满足了低频环境下的能量采集的需求。

    一种往复式发电装置及发电背包

    公开(公告)号:CN112177872B

    公开(公告)日:2024-07-19

    申请号:CN202011094587.9

    申请日:2020-10-14

    Abstract: 本发明公开了一种往复式发电装置及发电背包,包括背板、发电机和弹簧往复回弹机构,所述弹簧往复回弹机构与背板滑动连接,弹簧往复回弹机构与背板之间安装连杆动力传递机构,连杆动力传递机构一端和背板固定连接,连杆动力传递机构另一端安装在弹簧往复回弹机构的滑板上;弹簧往复回弹机构的滑板上还设有单向传动机构和发电机,连杆动力传递机构连接单向传动机构,单向传动机构连接发电机转轴;滑板上下滑动过程中带动连杆动力传递机构动作,进而带动单向传动机构驱动发电机单向旋转运动而发电。本发明的发电装置应用在背包上,有效采集人体行走时背包上下振动产生的机械能,并用于发电,进而存储或供用电器使用,能够适应各种环境。

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