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公开(公告)号：CN1570651A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410018076.3
申请日：2004-04-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01P15/00
Abstract: 本发明涉及一种单硅片体微机械工艺实现的带有静电自检测功能的加速度传感器，其特征在于它在同一个单元上集成了加速度传感器和自检驱动执行器。使用深沟电隔离绝缘条将体硅深刻蚀侧壁隔绝为不同电学区域后，独立出适当的区域用以实现静电驱动。该传感器采用压阻敏感原理，在平面内自限制工作。该器件使用深反应离子(DRIE)刻蚀出可横向摆动的悬臂梁，在刻蚀深沟进行侧壁扩散与侧壁绝缘形成敏感压阻和静电驱动电容。本加速度传感器采用非键合的普通单硅片制造。本器件为单片集成，有利于封装和批量生产。
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公开(公告)号：CN1569517A
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：CN200410035193.0
申请日：2004-04-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B60Q1/26
Abstract: 本发明涉及一种用一只加速度传感器实现车辆加速或减速/刹车方法及装置。特征在于在车辆上只放置一只加速度传感器，利用传感器对车辆行驶中速度改变的敏感特性，将车辆向前的加速度或刹车/减速信号经简便电路处理后，分别对车辆向前加速度显示及对刹车/减速时产生向后加速度的程度产生分级显示，与车辆原刹车信号间形成逻辑“或”的关系。装置中包括安装一只2g量程加速度传感器及信号处理电路，分别驱动放在车内前部的向前加速度显示器和放在车后部的分级刹车/减速显示器。可就本车减速程度对后面车辆进行分级警示，提醒后车驾驶员根据前车告示的减速程度对己车采取合适程度的刹车，避免追尾等事故发生。
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公开(公告)号：CN111483972B
公开(公告)日：2025-04-22
申请号：CN201910075661.3
申请日：2019-01-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种富集器芯片结构及制备方法，制备包括：提供衬底，制备凹槽结构；制备若干个微柱结构，相邻所述微柱结构基于所述开口嵌套设置；制备微流控端口，与所述凹槽结构相连通；及提供一盖板，并将所述盖板制备于所述衬底形成有所述凹槽结构的一侧，且所述盖板至少覆盖所述凹槽结构。本发明通过在凹槽结构形成的腔体内设计嵌套设置的微柱结构阵列，可以获得大的表面积，并使得流场均匀分布，且延长气体流路路径，进而提高吸附材料的均匀性，提高吸附气体的富集率，另外，通过在腔体内表面构筑一层高比面积的介孔氧化硅，如纳米介孔氧化硅，可极大地增加腔体内的内表面积，从而进一步提高吸附材料的承载量，提高富集器芯片结构的富集率。
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公开(公告)号：CN119818222A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202411887049.3
申请日：2024-12-20
Applicant: 上海交通大学医学院附属第九人民医院 , 西安交通大学 , 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种集成MEMS传感器的正畸压力实时检测装置，包括多个封装于柔性印刷电路板上的内部终端系统和通过无线网络信号连接的外部主机系统，并将所述内部终端系统集成安装在隐形矫治器膜片内或者隐形矫治器树脂附件中，也可制作成独立的可用于正畸力测量的MEMS柔性膜片；其中，所述内部终端系统包括ASIC芯片组件和天线，所述ASIC芯片组件包括ASIC芯片和与所述ASIC芯片连接的MEMS传感器阵列；本发明具有以下有益效果：本发明利用体积小、易集成的MEMS传感器阵列能够同时对每个牙齿实现多点受力测量，而且通过MEMS传感器阵列采集用户牙齿的压力信息后将其发送给ASIC芯片，ASIC芯片将其信息发送至计算机上，从而能够在矫治过程中实时监测牙齿受力情况。
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公开(公告)号：CN119470971A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411583467.3
申请日：2024-11-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS加速度传感器及其制备方法，MEMS加速度传感器中，单晶硅衬底上质量块通过悬臂梁与基底框架连接并悬在基底框架内，质量块与基底框架相邻的侧面连接有第一梳齿组，基底框架与质量块相邻的侧面连接有第二梳齿组；悬臂梁包括压敏电阻，基底框架上的导电引线与压敏电阻之间构成压敏电阻检测电路。本发明通过质量块和基底框架之间的第一梳齿组和第二梳齿组作为缓冲，控制质量块和基底框架之间的压膜阻尼，提高MEMS加速度传感器动态特性和抗高过载能力；另外制备过程中设置临时连接梳齿连接质量块和基底框架，降低工艺过程中悬臂梁所受的应力，提高制备良率和结构可靠性；最后临时连接梳齿的位置设置降低工艺不良风险。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115813353B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202211467963.3
申请日：2022-11-22
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种基于传感阵列测脉搏波横向位置变化的紧脉特征识别方法，传感器阵列包括至少4个压力传感器，各压力传感器沿第一方向排列，所述第一方向与桡动脉的延伸方向呈夹角设置，中医紧脉特征识别方法包括：获得各压力传感器在同一时刻的脉搏压力值；得到多个压力采样点，将各压力采样点连成包络曲线；获得同一脉搏周期内的多条包络曲线选取最大的纵坐标最大值所对应的包络曲线作为该脉搏周期的压力分布曲线，在各压力分布曲线中取一标识点代表该压力分布曲线的位置，统计各标识点的横坐标的变化量；将变化量与紧脉判定阈值比较，得到紧脉特征识别结果。本发明的基于传感阵列测脉搏波横向位置变化的紧脉特征识别方法，能够识别紧脉等复杂脉象。
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公开(公告)号：CN107527861B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201610451522.2
申请日：2016-06-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/768 , H01L21/28 , H01L21/67
Abstract: 本发明提供一种用于微腔金属填充的喷嘴片结构、设备及填充方法，所述喷嘴片结构包括：喷嘴片面板；贯穿所述面板上表面及下表面的通孔；与所述通孔连通的液态金属引流槽；所述引流槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面；至少两条设于所述面板边缘且两端分别与所述引流槽、所述面板侧面连通的通气槽；所述通气槽由所述面板上表面开口，并往所述面板下表面方向延伸，但未贯穿所述面板下表面。本发明的喷嘴片结构可以针对不同结构和形状的微腔进行不同种类金属单质或金属合金的有效、快速填充，且喷嘴通孔位置不需要与填充片上待填充的微腔位置一一对应，从而大大提高了喷嘴片结构的普适性。
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公开(公告)号：CN117984490A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410015841.3
申请日：2024-01-05
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种PDMS微流控芯片宏微结构一次成型的铸造方法，包括如下步骤：在所述弹性腔(1)中倒入PDMS预聚物后，盖上所述刚性板(2)，所述弹性腔(1)上的限位框(12)引导弹性锥(11)对准刚性通孔(21)，在压力和弹性体形变的引导下，弹性锥(11)进入刚性通孔(21)并产生形变填满刚性通孔(21)，从而隔离弹性腔(1)内外的PDMS预聚物，留在弹性腔(1)内的PDMS预聚物固化形成所需PDMS微流控芯片。本发明能够快速制造包含微观结构和宏观结构的PDMS芯片，精确控制芯片的平面形状以及厚度，并且能够一次成型制造高精度、高密度通孔结构，有望用于制造各种微流控芯片。
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公开(公告)号：CN111792621B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202010640709.3
申请日：2020-07-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及微电子机械封装技术领域，特别涉及一种圆片级薄膜封装方法及封装器件，包括：获取芯片圆片；刻蚀部分所述牺牲层，在所述衬底与所述外壳之间形成横向钻蚀孔；采用蒸发或溅射工艺在所述横向钻蚀孔处沉积第一金属层，所述第一金属层具有纳米尺度的通孔；在所述第一金属层上沉积第二金属层；通过所述牺牲层释放孔释放所述牺牲层，得到待封装器件；加热所述待封装器件，加热温度介于所述第二金属层的熔点与所述第一金属层的熔点之间，使得所述第二金属层熔融铺展，从而密封所述牺牲层释放孔。通过在封装结构上设置横向钻蚀孔，横向钻蚀孔用以在金属层上形成自对准通孔，通过在通孔处沉积少量低熔点的封口金属就可以实现封口。
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公开(公告)号：CN117233230A
公开(公告)日：2023-12-15
申请号：CN202210641408.1
申请日：2022-06-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01N27/327 , G01N27/30 , G01N27/48
Abstract: 本发明提供一种碱性磷酸酶活性检测电极及其制备方法、用途，所述检测电极为三维多孔石墨烯材料，所述三维多孔石墨烯材料的孔径为0.1～3.0μm，比表面积为215～450m2/g。本发明利用激光直写技术原位生长三维石墨烯材料作为碱性磷酸酶活性检测电极，制备方法简单，而且保留了纳米材料的三维多孔结构，一方面能够使检测电极具有极大的比表面积，可大幅提升通过π‑π共轭作用吸附在石墨烯上的酶水解产物1‑萘酚的数量，另一方面使工作电极具有极高的电子转移速率，最终提升了检测的灵敏度与电极的检测性能。
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