标记装置及其方法
    131.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102470483A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080032097.4

    申请日:2010-03-01

    CPC classification number: B23K26/082 B23K26/03 B23K26/083 B23K26/355 B23K26/36

    Abstract: 本发明提供一种标记装置及其方法,将标记光线照射在以规定速度进行移动的对象物上以进行标记,该装置包括:工作台(22)、位置检测器(4)、标记头部(3)和控制用计算机(90),工作台(22)使对象物以规定的速度进行移动,位置检测器(4)与工作台(22)同步移动,标记头部(3)是将照准光线照射在位置检测器(4)上的装置,其包括用来跟踪位置检测器(4)的移动使照准光线发生偏向的电流扫描器(308S),控制用计算机(90)用来检测照射在位置检测器(4)的照准光线的照射位置变化。

    涂布装置和涂布方法
    132.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101903810B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880122291.4

    申请日:2008-12-17

    CPC classification number: G02B5/201 B41J3/28 B41J3/407

    Abstract: 本发明提供能够实现了装置的小型化且便于维护的涂布装置。涂布装置(1)构成为:该涂布装置(1)构成有喷头单元(52),通过该喷头单元(50)在基板(K)上,沿扫描方向(X)扫描S次,对该基板(K)涂布涂料,其中,S为2以上的整数,所述喷头单元(52)配置有多个喷头模块(52),该喷头模块由排出相同颜色的涂料的多个涂料喷头(51)构成,在该涂布装置(1)中,在与扫描方向(X)垂直的扫描垂直方向(Y)上,以规定的排列间距(P),配置有一列喷头模块(52),构成单色的喷头单元(50),涂布装置(1)具有喷头单元移动部件(45),该喷头单元移动部件(45)在喷头单元(50)的每一次扫描结束时,使喷头单元(50)沿扫描垂直方向(Y)移动规定量P/S。

    板状部件的输送装置及板状部件的输送方法

    公开(公告)号:CN101562123B

    公开(公告)日:2012-02-29

    申请号:CN200810144454.0

    申请日:2008-07-31

    Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法,其在输送路径的中途,可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置,具有:飘浮单元,其具有通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮的飘浮部件;以及输送单元,其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下,保持前述板状部件,同时沿输送方向,向下游侧输送前述板状部件,其特征在于,前述输送单元具有吸附垫,其可以沿前述输送方向移动,同时可以以沿前述板状部件的厚度方向的线为中心旋转,前述吸附垫吸附在前述板状部件的平面中央部。

    涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱

    公开(公告)号:CN102189064A

    公开(公告)日:2011-09-21

    申请号:CN201110042101.1

    申请日:2011-02-22

    Abstract: 本发明提供涂布液供给装置、涂布液供给方法以及缓冲箱,其中能够避免涂布液被白白废弃,且能够抑制气泡混入到所供给的涂布液内。所述涂布液供给装置,包括存储涂布液的涂布液箱和暂时存储涂布液的缓冲箱,其中,通过加压涂布液箱使涂布液箱的涂布液供给到缓冲箱,且从缓冲箱输送涂布液,该装置还包括对涂布液箱内的涂布液残余量进行检测的残余量检测装置,通过该残余量检测装置,当检测出涂布液箱内的涂布液残余量很少时,进行停止从缓冲箱输送涂布液的液体输送停止动作,然后在停止从缓冲箱输送涂布液的动作状态下,进行将涂布液箱内的残留涂布液输送到缓冲箱的残余液体输送动作,然后进行更换涂布液箱的箱体更换动作。

    预干燥装置及预干燥方法
    136.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102009033A

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN201010272876.3

    申请日:2010-09-06

    Inventor: 池森一博

    Abstract: 本发明提供一种预干燥装置及预干燥方法,该装置及方法能够抑制形成于涂布膜的斑点且能够缩短干燥工序所需要的处理时间。该预干燥装置在通过对涂布在基板上的涂布膜进行干燥的主干燥装置而使涂布膜干燥之前,对所述涂布膜进行预干燥,其特征在于,该预干燥装置通过浮起输送方式对基板进行输送的同时,利用进行加热的用来浮起基板的气体在高温环境下对该基板进行暴晒,由此对基板上的涂布膜进行预干燥。

    基板处理系统及基板处理方法

    公开(公告)号:CN101718955A

    公开(公告)日:2010-06-02

    申请号:CN200910178719.3

    申请日:2009-09-28

    Abstract: 本发明提供一种基板处理系统(1),其容易对联合涂敷装置(3)与搬出装置(5)的动作时机进行控制,并能够缩短时间。具有:涂敷装置(3),其具有为了交接涂敷了涂敷液的基板(W)而在载置该基板(W)的状态下上下动作的销(14);搬出装置(5),其具有为了搬出所述基板(W)而相对于涂敷装置(3)进行接近远离移动的手部(31)。涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间由通信线(L5)进行信号的发送接收。基于通过通信线(L5)在涂敷装置(3)与搬出装置(5)之间发送的信号,通过在用于交接基板(W)的销(14)的动作结束前使手部(31)开始移动,而使销(14)的动作与手部(31)的移动并行。

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