公开(公告)号：CN107075680B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201580048757.0

申请日：2015-10-29

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 山下雅充 ,  藤元高佳 ,  森诚树

IPC: C23C16/505 ,  B32B7/02 ,  H01L21/316 ,  H01L31/048

Abstract: 本发明提供能够稳定地形成具有高阻隔性的密封膜的密封膜形成方法。具体地说，本发明涉及在基材(2)上进行缓冲层(M1)和密度高于缓冲层(M1)的阻隔层(M2)的交替成膜而形成密封膜的密封膜的形成方法，该方法具有下述工序：在基材(2)的表面形成第1缓冲层(M1a)的第1缓冲层成膜工序；在第1缓冲层(M1)的表面形成阻隔层(M2)的第1阻隔层成膜工序；以及在第1阻隔层形成工序中形成的阻隔层(M2)的表面形成第2缓冲层(M1b)的第2缓冲层成膜工序，与第2缓冲层(M1b)中的在与基材(2)的厚度方向倾斜的方向成膜的部分的膜厚相对于在该厚度方向成膜的部分的膜厚的比例相比，第1缓冲层(M1a)中的在与上述厚度方向倾斜的方向成膜的部分的膜厚相对于在上述厚度方向成膜的部分的膜厚的比例更接近于1。

公开(公告)号：CN101562123A

公开(公告)日：2009-10-21

申请号：CN200810144454.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 谷川央树 ,  尾崎充佳 ,  森诚树

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置(10)具有：飘浮单元(20)，其沿玻璃基板(11)的输送方向排列多个使玻璃基板(11)飘浮的飘浮部件(21)；输送单元(30)，其在玻璃基板(11)利用飘浮单元(20)从飘浮部件(21)飘浮的状态下，保持玻璃基板(11)，同时沿输送方向向下游侧输送玻璃基板(11)；以及处理部(40)，其在输送单元(30)中的输送路径的中途，对玻璃基板(11)进行曝光处理。在与处理部(40)相对应的区域内，设置作为表面平坦度提高单元的横置飘浮部件(43)。

公开(公告)号：CN1782882A

公开(公告)日：2006-06-07

申请号：CN200510125046.7

申请日：2002-10-24

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  森诚树 ,  植原幸大

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/10

Abstract: 在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在1个曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。

公开(公告)号：CN101562123B

公开(公告)日：2012-02-29

申请号：CN200810144454.0

申请日：2008-07-31

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 谷川央树 ,  尾崎充佳 ,  森诚树

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06 ,  B65G51/03

Abstract: 本发明提供一种板状部件的输送装置及板状部件的输送方法，其在输送路径的中途，可以高精度地对板状部件进行要求表面平坦度的处理。输送装置，具有：飘浮单元，其具有通过从多个喷射口向上方喷射气体而使板状部件飘浮的飘浮部件；以及输送单元，其在前述板状部件利用前述飘浮单元从前述飘浮部件飘浮的状态下，保持前述板状部件，同时沿输送方向，向下游侧输送前述板状部件，其特征在于，前述输送单元具有吸附垫，其可以沿前述输送方向移动，同时可以以沿前述板状部件的厚度方向的线为中心旋转，前述吸附垫吸附在前述板状部件的平面中央部。

公开(公告)号：CN100461002C

公开(公告)日：2009-02-11

申请号：CN200510125046.7

申请日：2002-10-24

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  森诚树 ,  植原幸大

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/10

Abstract: 在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在1个曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。

公开(公告)号：CN1508630A

公开(公告)日：2004-06-30

申请号：CN200310122324.4

申请日：2003-12-16

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 森诚树 ,  常吉豪

IPC: G03F7/20 ,  G02F1/13 ,  B41J2/47 ,  B41J2/435

CPC classification number: B23K26/08 ,  B23K26/02 ,  B23K26/042 ,  B23K26/082 ,  B23K2101/007

Abstract: 一种用至少1个声光光偏向器使激光振荡器输出的激光束在水平面和垂直面的至少1个平面上扫描，用圆点按时间序列形成由一维和二维中的至少一方构成的标记；然后，用电流计扫描设备使该标记在基板上二维扫描这样地照射的识别码激光标记方法和装置。

公开(公告)号：CN107408612B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201680015963.6

申请日：2016-03-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 藤元高佳 ,  山下雅充 ,  森诚树 ,  冈裕

IPC: H01L33/58

Abstract: 在LED模块中，将用于解决产生放射到大气的光的输出损失这一问题的方式具体化。具体来说，是一种利用密封树脂对LED芯片进行密封而得的LED模块，其中，该密封树脂的表面被薄膜覆盖，所述薄膜由线膨胀系数比所述密封树脂小的材质构成，在所述薄膜的表面上具有凹凸面，从而该LED模块构成为使来自所述LED芯片的光进行多重反射。

公开(公告)号：CN107408612A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680015963.6

申请日：2016-03-23

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 藤元高佳 ,  山下雅充 ,  森诚树 ,  冈裕

IPC: H01L33/58

Abstract: 在LED模块中，将用于解决产生放射到大气的光的输出损失这一问题的方式具体化。具体来说，是一种利用密封树脂对LED芯片进行密封而得的LED模块，其中，该密封树脂的表面被薄膜覆盖，所述薄膜由线膨胀系数比所述密封树脂小的材质构成，在所述薄膜的表面上具有凹凸面，从而该LED模块构成为使来自所述LED芯片的光进行多重反射。

公开(公告)号：CN1288502C

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN02821192.8

申请日：2002-10-24

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 佐藤谦二 ,  森诚树 ,  植原幸大

IPC: G03F7/20 ,  G02B26/10 ,  B41M5/26

CPC classification number: G02B26/10 ,  B23K2101/007 ,  G06K1/126

Abstract: 在利用激光束对平台上的被标记物品打印识别码的方法和装置中，使从曝光单元输出的激光束在与对上述平台相对移动方向正交的方向上按时间顺序依次偏移地进行扫描，同时使该照射方向与上述相对移动方向同步地偏移，从而使上述被标记物品上的照射点排列成直角坐标状。另外，其它的打印方法和装置是在1个曝光单元沿相对移动方向移动1个间距的期间打印多列识别码的方法和装置。

公开(公告)号：CN115136323A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180014587.X

申请日：2021-02-17

Applicant: 株式会社尼康 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 中积诚 ,  岸梅工 ,  森诚树 ,  藤元高佳

IPC: H01L29/786 ,  C23C16/36 ,  C23C16/42 ,  C23C16/50 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明之晶体管具有闸极电极、闸极绝缘膜、半导体膜、源极电极及汲极电极，且上述闸极绝缘膜系交替积层SiOx膜与SiCyNz膜而成之积层膜，构成上述积层膜之膜之总数为3层以上18层以下，构成上述积层膜之各膜之膜厚为25nm以上150nm以下。