公开(公告)号：CN115136323A

公开(公告)日：2022-09-30

申请号：CN202180014587.X

申请日：2021-02-17

Applicant: 株式会社尼康 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 中积诚 ,  岸梅工 ,  森诚树 ,  藤元高佳

IPC: H01L29/786 ,  C23C16/36 ,  C23C16/42 ,  C23C16/50 ,  H01L21/31 ,  H01L21/316 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明之晶体管具有闸极电极、闸极绝缘膜、半导体膜、源极电极及汲极电极，且上述闸极绝缘膜系交替积层SiOx膜与SiCyNz膜而成之积层膜，构成上述积层膜之膜之总数为3层以上18层以下，构成上述积层膜之各膜之膜厚为25nm以上150nm以下。

公开(公告)号：CN104919078B

公开(公告)日：2017-05-24

申请号：CN201480004940.6

申请日：2014-01-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 岸梅工 ,  泷优介

IPC: C23C14/06

CPC classification number: G03F7/2041 ,  C04B35/52 ,  G03F7/11 ,  G03F7/70341 ,  Y10T428/24322 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T442/10

Abstract: 一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta‑C:Ti膜)。

公开(公告)号：CN104919078A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201480004940.6

申请日：2014-01-22

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 岸梅工 ,  泷优介

IPC: C23C14/06

CPC classification number: G03F7/2041 ,  C04B35/52 ,  G03F7/11 ,  G03F7/70341 ,  Y10T428/24322 ,  Y10T428/265 ,  Y10T428/31678 ,  Y10T442/10

Abstract: 一种施加于基材表面的功能性被膜，包含掺杂有Ti的四面体非晶碳的膜(ta-C:Ti膜)。

公开(公告)号：CN105026606A

公开(公告)日：2015-11-04

申请号：CN201480012651.0

申请日：2014-04-28

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 岸梅工 ,  岩堀恒一郎

IPC: C23C14/06 ,  H01L21/316 ,  H01L21/318 ,  H01L21/363

CPC classification number: C23C14/0676 ,  C23C14/0641 ,  C23C14/08 ,  C23C14/083 ,  C23C14/325 ,  C23C14/34 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02483 ,  H01L21/02491 ,  H01L21/02507 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02631

Abstract: 本发明提供一种控制化合物膜中氮含量的化合物膜的制造方法，该化合物膜的制造方法中，在载置于成膜室的基板上形成层叠的覆膜，其中，在基板上交替层叠第1化合物层和第2化合物层，所述第1化合物层含有选自金属元素和半金属元素中的1种以上的元素和氧元素，其利用过滤电弧离子镀法形成，所述第2化合物层含有所述1种以上的元素和氮元素，其利用溅射法形成。