鳍式结构和制造采用该鳍式结构的鳍式晶体管的方法

    公开(公告)号:CN101123180A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200710141807.7

    申请日:2007-08-13

    CPC classification number: H01L29/66795 H01L27/105 H01L27/1052 H01L29/785

    Abstract: 本发明提供了一种鳍式结构和制造采用该鳍式结构的鳍式晶体管的方法。在基底上形成包括侧壁的多个台面结构。在台面结构上形成半导体层。在半导体层上形成覆盖层。因此,半导体层被覆盖层保护,并包括将被形成为鳍式结构的部分。通过平面化工艺来去除覆盖层的上部的部分,由此去除半导体层在台面结构的上表面上的那部分。结果,在台面结构的侧面上形成彼此隔离的鳍式结构。因此,可以形成具有非常窄的宽度的鳍式结构,并可以容易地控制鳍式结构的厚度和位置。

    反铁磁/顺磁电阻器件、非易失性存储器及其制造方法

    公开(公告)号:CN1783336A

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200510116550.0

    申请日:2005-08-22

    Inventor: 李正贤 朴永洙

    Abstract: 本发明提供一种电阻多层器件和非易失性存储器。该电阻多层器件包括:含有第一材料的第一层,该第一材料是导电的;设置在该第一层上的第二层,其中该第二层含有第二材料,通过使电流流经该第二材料,该第二材料具有在反铁磁态和顺磁态之间可转换的态;设置在该第二层上的第三层;以及设置在该第一和第三层之间的第四层,其中该第四层含有电介质材料,其中该第三层含有导电的第三材料,该第二层在反铁磁态具有与其在顺磁态的电阻不同的电阻,在没有施加电力时,该第二材料的状态被保持。该电阻多层器件可以形成为非易失性存储器的存储单元的一部分,其中基于该第二材料的状态,信息被存储在该存储单元中。

    具有或者没有铁电覆底层的硅器件中的氢抑制方法

    公开(公告)号:CN1245835A

    公开(公告)日:2000-03-01

    申请号:CN99118133.6

    申请日:1999-08-24

    Inventor: 朴永洙

    Abstract: 本发明提供了一种去除在具有或者没有铁电覆底层的硅器件内氢原子的方法。在该氢原子去除方法中,为了防止器件特性因氢原子所造成的劣化,在铁电材料上形成Pt上电极并且然后在其上淀积一个氧化硅膜。另外,进行一种高密度氧等离子体处理,从而提高该Pt电极的颗粒直径或者抑制该催化反应。因而,在硅的淀积过程中,抑制了氢原子扩散进入该铁电层内并且去除了该氧化硅膜内的氢原子。因而,可以抑制因氢原子所造成的器件特性的劣化。

    制造磁头的方法
    128.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1118915A

    公开(公告)日:1996-03-20

    申请号:CN95109191.3

    申请日:1995-07-13

    Abstract: 一种用于制造磁头的方法,该磁头用于在或从磁记录介质,例如录像带上记录或重放信息,该方法包括,制备具有同磁带相接触的一接触面的一片磁芯,该磁芯有一用于形成泄漏磁场的间隙,利用离子蚀刻方法对该片磁芯的接触面进行抛光,该离子蚀刻即是用离子碰撞该接触面。在接触面上形成保护层,该保护层是由具有高度表面润滑特性和良好的抗磨损特性的材料制成。用上述方法,磁头污染降低,磁头寿命延长和磁记录和重放特能得到改进。

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