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公开(公告)号：CN102330782B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201010564362.5
申请日：2010-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气-液阻尼耦合作用的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器的多层筒形阻尼片配装在内筒底部，径向通孔设置在多层筒形阻尼片上端，外筒内侧底部与内筒底部之间注入阻尼油，齿轮齿条传动的节流孔面积调节装置配装在外筒内壁上的节流孔下方。利用空气节流阻尼和节流孔面积调节装置，合理调节节流孔总面积的大小，在垂直方向存在强振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼；利用液体粘滞阻尼和多层筒形阻尼片相对于外筒的往复运动，为隔振器提供阻尼，通过选用不同粘度的阻尼油获得不同的粘滞阻尼，在垂直方向存在强振、微振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼。
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公开(公告)号：CN101338790B
公开(公告)日：2010-05-12
申请号：CN200810136906.0
申请日：2008-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 气/固两相复合回转基准方法与装置属于精密回转基准技术领域；该方法将气体润滑兼误差均化技术和固体支承兼阻尼技术复合使用，通过在气浮轴系的轴向止推气膜内施加轴向固体支承，形成以固体支承为主、气体支承为辅，或气体支承为主、固体支承为辅，或气体支承与固体支承作用相当的复合支承形式，显著提升轴向刚度和承载能力；在气浮轴系的径向气膜内施加径向固体支承，利用弹性元件的微小弹性变形耗散主轴的中、高频微振动能量，并利用弹性元件的变形储能与静摩擦特性增大定位阻尼，提高定位精度；其装置分别在轴向止推气膜和径向气膜内配装固体弹性元件；本发明可建立一种同时兼顾高精度、高刚度、大承载、低振动以及高位移灵敏度的回转基准。
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公开(公告)号：CN100557263C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200610150810.0
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 基于差动电磁作动器的空气弹簧超低频隔振方法与装置，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：供气系统(1)、高度控制系统(2)、一组空气弹簧(3)、基体(4)、既为系统提供负刚度，又为系统提供可控阻尼力的电磁作动器(5)、速度传感器(6)、力传感器(7)、位移传感器(8)、功率放大器(9)、模/数转换器(10)、数/模转换器(11)、控制器(12)。本发明利用分别固定与基体和地面上的差动布置电磁铁与衔铁之间的相互作用，为系统提供负刚度和可控主动阻尼力，用于横、纵向超低频隔振性能要求高的场合。
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公开(公告)号：CN101403628A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200810137530.5
申请日：2008-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于重力平衡的卧式气/气两相复合直线基准方法与装置属于精密仪器与测量技术领域；其方法是：在导向导轨下方构建平衡导轨，形成开式外部气体支承并作用于气浮导套下部的止推平板上，针对负载重力进行导向导轨和平衡导轨的重力平衡设计，在满足平衡导轨的承载重力条件下，使其气膜支承刚度达到最大值或处在该气膜支承刚度确定范围内；其装置包括固连于气浮导套下部上的止推平板，该止推平板与平衡导轨之间形成止推气浮偶面，止推平板上设有面向平衡导轨的节流结构，平衡导轨与导向导轨平行；本发明使气浮导套具有优异的稳定性，导轨承载能力和支承刚度大幅度提高，确保导轨在大负载、大行程下的高直线精度，结构简单，适用范围广。
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公开(公告)号：CN100467902C
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200610150808.3
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 带有磁悬浮单元的空气弹簧隔振基础，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个磁悬浮单元(3)、刚度扶正装置(6)，供气系统(1)与高度控制系统(2)输入端相连，高度控制系统(2)输出端与每个空气弹簧(4)分别相连，磁悬浮单元(3)和空气弹簧(4)串联安装于所述的基体(5)之下，由空气弹簧(4)与磁悬浮单元(3)串联支撑基体(5)，基体(5)侧面安装低刚度扶正装置(6)。本发明可在不改变隔振系统承载能力的条件下，更适于超大型空气弹簧隔振基础。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100414829C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200510002553.1
申请日：2005-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于磁-磁变换的纳米精度大输出力微驱动装置与方法。该装置包括外框架、永久磁铁、超磁致伸缩棒、预紧螺栓、微位移输出机构，还包括内框架和密纹丝杠；微位移输出机构和密纹丝杠分别固定在外框架的相对的两端上；在装置的内部永磁铁与密纹丝杠粘接在一起，位置关系保持同轴；永磁铁前端是预紧螺栓，它们之间保持一定的间隙，预紧螺栓与内框架通过螺纹连接；内框架内部超磁致伸缩棒与预紧螺栓呈同轴连接；超磁致伸缩棒的前端与微位移输出杆同轴粘接在一起。磁-磁变换微驱动避免了电-磁变换产生的发热现象，从而避免了热漂移现象，使该驱动器同时兼有纳米灵敏度大输出力、无机械漂移、高频响和大输出范围等优点。
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公开(公告)号：CN101067432A
公开(公告)日：2007-11-07
申请号：CN200610150808.3
申请日：2006-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/02
Abstract: 带有磁悬浮单元的空气弹簧隔振基础，本发明属于超低频隔振领域，空气弹簧隔振基础因空气弹簧横、纵向刚度相互耦合导致横、纵向超低频隔振性能无法兼顾。本发明产品包括：基体(5)、一组空气弹簧(4)、供气系统(1)、高度控制系统(2)、多个磁悬浮单元(3)、低刚度扶正装置(6)，供气系统(1)与高度控制系统(2)输入端相连，高度控制系统(2)输出端与每个空气弹簧(4)分别相连，磁悬浮单元(3)直接与供气系统(1)相连，磁悬浮单元(3)和空气弹簧(4)串联安装于所述的基体(5)之下，由空气弹簧(4)与磁悬浮单元(3)串联支撑基体(5)，基体(5)侧面安装低刚度扶正装置(6)。本发明可在不改变隔振系统承载能力的条件下，更适于超大型空气弹簧隔振基础。
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公开(公告)号：CN1644954A
公开(公告)日：2005-07-27
申请号：CN200510009629.3
申请日：2005-01-18
Abstract: “位移控制式空气弹簧隔振基础”，由基体、空气弹簧系统、供气系统、高度控制单元组成，其中高度控制单元由位移传感器、控制器、电磁换向阀组成。可以通过控制器调节基体绝对高度位置和不感带的宽度。位移传感器具有抗干扰能力强，响应速度快，可靠性好的特点，能够测量出微小的振动位移，提高了测量精确度和测量精度。根据空气弹簧能够承受较大的载荷，具有较低的刚度的特性，从而获得较好的隔振效果，大大降低了基础振动对超精密实验仪器测量的影响，满足了实验仪器对隔振的要求。
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公开(公告)号：CN1632338A
公开(公告)日：2005-06-29
申请号：CN200510009639.7
申请日：2005-01-18
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明“混合式螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承”涉及一种高速、高刚度、大载荷超精密螺旋槽动静压气体复合圆柱轴承，在圆柱轴承工作面上，静压气浮供气点分布圆两侧分别开有人字形动压沟槽，在不增加气浮轴承耗气量的情况下，轴承承载能力比传统静压气浮轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮轴承提高15％以上。
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公开(公告)号：CN1527022A
公开(公告)日：2004-09-08
申请号：CN200410001193.9
申请日：2004-02-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B5/20
Abstract: 本发明属于精密仪器制造及测量技术领域，特别是一种超精密回转基准空间误差自分离方法与装置。本发明的方法通过对超精密回转基准空间运动误差进行Z向逐截面分离的方法，满足高精度圆柱度仪回转基准(主轴)空间运动误差分离的需求，使其达到减小空间回转误差的目的。本发明还提供一种超精密回转基准空间误差自分离装置，它将圆度误差分离系统与圆柱度仪回转主轴系统有机地整合为一体，利用工作台回转式的单转位小角度误差分离方法，以实现对圆柱度仪回转主轴空间回转运动误差的逐截面分离，即在圆柱测量高度范围内逐一对各测量截面的回转主轴误差进行分离，继而达到减小圆柱度仪主轴空间运动误差对测量结果的影响。
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