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公开(公告)号：CN103075618A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210574056.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103064431B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210574058.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12 , F16F15/02 , F16F15/023 , G01B11/00
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103075618B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210574056.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN102338188B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201010564271.1
申请日：2010-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F13/00
Abstract: 基于活塞式液体粘滞阻尼作用的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器的斜拉钢丝绳的上、下端分别与环形盖板和支撑杆下端固接，构成单摆机构，钢弹簧安装在内筒底部，活塞与钢弹簧接触配合，柔性铰链的上、下端分别配装在支撑杆下端和活塞上端面上，构成倒摆机构，螺旋形阻尼管配装在活塞腔室外部，内筒底部注入阻尼油，阻尼油将螺旋形阻尼管包容，螺旋形阻尼管的一端口与活塞内部连通，其另一端口与阻尼油连通。本发明利用液体粘滞阻尼作用和活塞的往复运动，为正倒摆串联机构提供阻尼，通过选用不同粘度的阻尼油获得不同大小的液体粘滞阻尼，在隔振器的水平方向存在强振、微振和冲击载荷的情况下均能提供最佳大小的阻尼。
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公开(公告)号：CN103047513A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574093.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由磁浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103062324B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201210574106.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于弹簧零位基准和激光自准直测量的弹簧隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压弹簧结构的隔振器支撑弹簧隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN102330782B
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201010564362.5
申请日：2010-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于气-液阻尼耦合作用的空气弹簧隔振器属于超精密测量及加工领域。所述隔振器的多层筒形阻尼片配装在内筒底部，径向通孔设置在多层筒形阻尼片上端，外筒内侧底部与内筒底部之间注入阻尼油，齿轮齿条传动的节流孔面积调节装置配装在外筒内壁上的节流孔下方。利用空气节流阻尼和节流孔面积调节装置，合理调节节流孔总面积的大小，在垂直方向存在强振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼；利用液体粘滞阻尼和多层筒形阻尼片相对于外筒的往复运动，为隔振器提供阻尼，通过选用不同粘度的阻尼油获得不同的粘滞阻尼，在垂直方向存在强振、微振和冲击载荷时能提供最佳大小的阻尼。
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公开(公告)号：CN102734379B
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201210201284.1
申请日：2012-06-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/03 , F16F15/023
CPC classification number: F16F15/023 , F16F15/022 , F16F15/0232 , F16F15/03
Abstract: 基于电磁与静压气浮复合支撑的主动隔振装置属于超精密测量与超精密加工装备，该装置包括隔离平台、中间套筒和基座；隔离平台支撑负载对象，中间套筒支撑隔离平台，基座支撑中间套筒，基座放置在固定基础上，各部分之间采用磁浮与静压气浮复合作用的支撑方式；本发明利用静压气浮的大承载以及磁浮的负刚度特点，通过速度闭环控制方法使该隔振装置机构刚度的调节实现自动化，且对来自外界环境振动与负载扰动产生的内部振动有抑制作用。
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公开(公告)号：CN103064431A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574058.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D3/12 , F16F15/02 , F16F15/023 , G01B11/00
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103047512B
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210574065.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于弹簧零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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