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公开(公告)号：CN109564119A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201780032215.3
申请日：2017-08-24
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(1)，在将流孔(5)的上游侧压力P1保持在下游侧压力P2的约两倍以上的状态下，构成混合气体的两种气体的混合比为X:(1-X)，使用以混合比率对两种气体的密度、比热比以及气体常数进行加权而算出的混合气体的平均密度ρ、平均比热比κ以及平均气体常数R，通过FF＝(k/ρ){2/(κ+1)}1/(κ-1)[κ/{(κ+1)R}]1/2算出混合气体的流量系数FF，将流孔截面积设为S、流孔的上游侧的混合气体的压力设为P1、温度设为T1，通过Q＝FF·S·P1(1/T1)1/2算出通过流孔的混合气体的流量Q。
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公开(公告)号：CN109478074A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780015751.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置(100)，其具备：控制阀(12)；压力传感器(P1)，其设置于控制阀的下游侧；流孔内置阀(16)，其设置于压力传感器的下游侧；以及控制部(5)，其连接到控制阀和压力传感器，流孔内置阀具有：阀机构(15)，其具有用于进行流路的开闭的阀座体和阀体；驱动机构(18)，其驱动阀机构；以及流孔部件(14)，其接近于阀机构而设置，并且具备用于检测阀机构的开闭状态的开闭检测机构(20)，控制部以从开闭检测机构接收检测信号的方式构成。
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公开(公告)号：CN109477791A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780018319.9
申请日：2017-07-25
Applicant: 国立大学法人德岛大学 , 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供了一种浓度测定装置(100)，具备：测定单元(4)，其具有被测定流体的流路(4c)和与流路连接的透光性的窗部(3)；光源(1)，其发射经由窗部向测定单元入射的光；反射部件(5)，其反射在测定单元内传播的光并使反射的光经由窗部从测定单元射出；光检测器(7)，其检测从测定单元的窗部射出的光；运算部(8)，其基于光检测器的检测信号计算被测定流体的浓度；和光学设备(10)，其将从光源发射的光向测定单元的窗部导光，并且将从测定单元的窗部射出的光向光检测器导光。
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公开(公告)号：CN109477586A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780021785.2
申请日：2017-07-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种流孔内置阀(10)，其具备：基部(2)，其具有收容凹部(2A)、第一气体流路(21)以及第二气体流路(22)；阀座体(12)，其具有环状的阀座(12b)以及贯通孔(12a)；内盘(13)，其保持阀座体；阀体(11a)，其能够抵接于阀座；以及流孔体(14)，其包括流孔(18)；收容凹部为具有扩径部(2W)和狭径部(2N)的阶梯状的凹部，阀座体(12)通过被内盘(13)按压而保持固定在流孔体上，第一气体流路(21)通过狭径部的壁面和流孔体之间与阀室(10a)连通，第二气体流路(22)经由流孔体的贯通孔以及阀座体的贯通孔与阀室(10a)连通。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108027618A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680027495.4
申请日：2016-09-15
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，其具备：收缩部，其介于流路上；上游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的上游侧的流体压力；下游侧压力传感器，其用于检测出所述收缩部的下游侧的流体压力；流量控制阀，其设置在所述上游侧压力传感器的上游侧流路上；以及运算控制回路，其通过根据所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器的各自的检测值控制所述流量控制阀而控制流量，所述运算控制回路在流体不在所述流路内流动的状态下，计算所述上游侧压力传感器的检测值与所述下游侧压力传感器的检测值之差，同时根据计算出的所述差输出压力传感器异常判定用信号。
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公开(公告)号：CN105247433B
公开(公告)日：2018-01-30
申请号：CN201480003757.4
申请日：2014-03-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/42 , G01F1/50 , G01F15/005 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明提供一种带流量监控器的流量控制装置，通过有效地利用压力式流量控制部所具备的高耐压力变动特性，将衰减式流量监控器部组合在压力式流量控制部的上游侧，能够接近于实时地进行流量监控，并且能够使用监控流量自动调整压力式流量控制部的设定流量，而且能够实现装置的大幅度小型化和低成本化。本发明由下述部件构成：设置在上游侧的衰减式流量监控器部(BDM)；设置在其下游侧的压力式流量控制部(FCS)；将衰减式流量监控器部(BDM)与压力式流量控制部(FCS)连结，并将衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)向压力式流量控制部(FCS)传输的信号传输电路(CT)；和设置于压力式流量控制部(FCS)，利用来自所述衰减式流量监控器部(BDM)的监控流量(Q)调整压力式流量控制部(FCS)的设定流量(Qs)的流量设定值调整机构(QSR)。
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公开(公告)号：CN107003236A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580063098.8
申请日：2015-11-20
Applicant: 株式会社富士金 , 国立大学法人东北大学
IPC: G01N21/27 , C23C16/52 , G01N21/33 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够通过简单的方法以不破坏的方式准确且迅速地测定规定的化学成分的直至极微量区域的浓度的浓度测定方法以及能够准确、迅速且实时地测定被测定对象中的化学成分的直至纳米级的极微量浓度范围的浓度、并具备在各种形态和方式中能够被具体化的万能性的浓度测定方法。利用分时法向被测定对象分别照射针对被测定对象而言的光吸收率不同的第一波长的光和第二波长的光，由共通的光接收传感器接收通过各波长的光的该照射而从被测定对象以光学的方式通过的各波长的光，形成同该接收相应地从所述光接收传感器输出的同第一波长的光相关的信号与同第二波长的光相关的信号的差动信号，根据该差动信号导出被测定对象中的化学成分的浓度。
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公开(公告)号：CN103797563B
公开(公告)日：2016-08-31
申请号：CN201280043162.2
申请日：2012-07-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: H01L21/205 , C23C16/455
CPC classification number: F17D3/00 , C23C16/4482 , C23C16/45561 , G05D11/135 , Y10T137/8158
Abstract: 本发明可正确调整载气与原料气体的混合气体内的原料浓度，而且可在高精度的流量控制下向处理室稳定供料，与此同时可不使用昂贵的浓度计等而简单、高精度地检测混合气体内的原料气体蒸气浓度，实时显示。本发明提供通过质量流量控制器3向来源罐5内供给载气GK，由来源罐5内释放载气GK，与此同时将通过恒温部使来源罐5保持恒定温度而产生的原料4的饱和蒸气G与上述载气GK的混合气体GS供给至处理室的原料气化供给装置，其中，在来自于上述来源罐5的混合气体GS的流出通路上设置自动压力调整装置8，与此同时在其下游侧设置质量流量计9，通过开闭控制上述自动压力调整装置8的控制阀8a，将来源罐5的内部压力P0控制为规定值，将由上述质量流量控制器3所致的载气GK的流量Q1、上述罐内压力P0和上述质量流量计9的混合气体GS的流量QS的各自检测值输入原料浓度运算部10，在该原料浓度运算部10按Q2=QS×PM0/P0运算原料流量Q2(其中，PM0为来源罐内的温度为t℃时的原料蒸气G的饱和蒸气压)，利用该原料流量Q2按K=Q2/QS运算、显示供给至上述处理室的混合气体GS的原料气体蒸气浓度K。
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公开(公告)号：CN103518165B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201280022338.6
申请日：2012-04-05
Applicant: 株式会社富士金
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0623 , F16K37/0083 , G01F1/36 , G01F1/363 , G01F1/50 , G01F1/6842 , G01F1/6965 , G01F5/00 , G01F15/005 , G01F25/0007 , G05D7/0617 , G05D7/0635 , Y10T137/0368 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置，由下列部件构成：流体的入口侧通路(8)；控制阀(3)，与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a)；热式流量传感器(2)，与控制阀(3)的下游侧连接；节流口(6)，介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10)；温度传感器(4)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近；压力传感器(5)，设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)；出口侧通路(9)，与节流口(6)连通；以及控制部(7)，由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成，该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号，对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算，并且，向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd，该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。
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