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公开(公告)号：CN103047341A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574587.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
CPC classification number: F16F15/03 , F16F15/002 , F16F15/0275 , G01B7/004 , G01D5/20 , H02K41/0354
Abstract: 气浮球轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047340A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574531.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 滑动关节轴承角度解耦与磁悬浮平面驱动定位的隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有垂向和水平方向零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频与超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN101493310A
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200910071305.0
申请日：2009-01-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 具有对径双窗口极板结构的圆柱型双向电容位移传感器属于精密仪器与测量技术领域，其圆柱型双向电容测头由测杆、极板屏蔽件、左极板、右极板、销钉、信号导杆组成，在测杆端部上安装整体呈圆柱形的极板屏蔽件，左、右极板对径设置在极板屏蔽件上且相互对称，在极板与极板屏蔽件之间设有绝缘间隙；在极板屏蔽件内配装一根销钉，在测杆内配装一根信号导杆，销钉的两端分别与左、右极板连接，信号导杆的一端与销钉连接；或者在极板屏蔽件内配装两根销钉，在测杆内配装两根信号导杆，两根销钉各自的一端分别与左、右极板连接，另一端分别与两根信号导杆的一端连接；本发明具有可测深径比大、可进行双向瞄准触发、传感器具有一定量程等特点。
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公开(公告)号：CN101373146A
公开(公告)日：2009-02-25
申请号：CN200810064747.8
申请日：2008-06-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01D11/00
Abstract: 基于双侧对称阻尼的静压气浮导轨属于精密仪器与测量技术领域，是针对气浮导轨驱动力小而惯性大的特点，根据导轨位置闭环控制系统的阶跃响应与冲击响应特性，在系统中引入双向粘滞阻尼器构成速度反馈环节，弥补PID控制器中微分参数阻尼作用的不足，达到提高系统阻尼比、减小其运动超调、消除随机扰动引起的固有振动的目的；本导轨是在气浮套两端对称布置两套具有相同参数的粘滞阻尼器构成双向粘滞阻尼器，阻尼力大小与气浮套运动速度成正比，方向与气浮套运动方向在同一条直线上，阻尼系数精确可调，可有效减小导轨的运动超调和定位后在运动方向上的固有振动，使导轨的定位精度和静态稳定性提高约一个数量级。
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公开(公告)号：CN114778323B
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202210003684.5
申请日：2022-01-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一维行程扩展辐照松弛全自动检测装置及方法属于辐照松弛特性测量领域；所述装置包括导轨组件、水平直线运动滑块和多功能装置，在隔振台架上固装导轨组件，水平直线运动滑块可往复移动地配装在导轨组件上；在水平直线运动滑块上安装辐照松弛组件，在辐照松弛组件的内部安装辐照松弛样品，在隔振台架上依次固装多功能装置和压力测量系统，多功能装置和压力测量系统位于辐照松弛组件的上方；通过辐照松弛组件依次分别同多功能装置和压力测量系统的配合完成检测；解决了辐照松弛特性全自动、高精度测量问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119267483A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202411528387.8
申请日：2024-10-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 高端仪器装备重载精密气磁复合低频隔微振器属于精密隔振技术领域，由动磁环阵列与定磁环阵列同轴嵌套构成，动磁环阵列与定磁环阵列均由2n+1(n≥1，n∈N+)层沿轴向阵列布置、相邻层间垂直磁化的等截面磁环构成，整体结构关于第n+1层磁环上下对称；动磁环阵列与定磁环阵列的第一层磁环沿径向反向磁化，且其底面重合；每增加一层，动磁环的磁化方向顺时针旋转90°，而定磁环的磁化方向则逆时针旋转90°；本发明结构简单，安装和维护方便，可产生高负刚度与零磁力特性，在不改变几十吨至上千吨重载精密隔微振承载的条件下，降低其动态隔振刚度，实现低频或近零频隔振。
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公开(公告)号：CN115586802B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202211218937.7
申请日：2022-10-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/20
Abstract: 多模复合双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域；在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装一级高效保温层，内侧安装循环介质管；在一级钢板密封箱内部，安装密封良好的二级钢板密封箱，在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层，内侧安装辐射对流双模复合控温板；在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装除湿装置、过滤净化装置及传感器组合，在二级钢板密封箱内安装冷却组件；传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器，总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度；本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。
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公开(公告)号：CN115562388B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202211218943.2
申请日：2022-10-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/20
Abstract: 多模复合与主动气浴超精密温控装置属于微环境温控设备技术领域，包括密封箱和设置于密封箱内侧的核心发热部件；在密封箱的内侧，且位于核心发热部件上侧设置有气浴组件，气浴组件对核心发热部件所在区域进行气浴；在密封箱内侧壁上设置有多组辐射对流双模复合控温机构，辐射对流双模复合控温机构对所述密封箱内侧的温度进行调控；密封箱内侧设置有对密封箱内侧环境进行监测的监测组件；在密封箱外侧设置有控制器，控制器获取所述监测组件的测量结果，并基于测量结果控制所述冷却组件、气浴组件、辐射对流双模复合控温机构对密封箱内侧的温度进行调节。通过气浴组件、辐射对流双模复合控温机构、冷却组件实现对密封箱内侧环境温度的复合控制。
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公开(公告)号：CN115509275B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202211220596.7
申请日：2022-10-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/20
Abstract: 多模复合与主动气浴双层超精密温控装置属于精密微环境控制技术领域；在密封良好的一级钢板密封箱外侧安装高效保温层，内侧安装循环介质管；在一级钢板密封箱内部，安装密封良好的二级钢板密封箱，在二级钢板密封箱外侧安装二级高效保温层，内侧安装辐射对流双模复合控温板；在密封箱的内侧，且位于核心发热部件上侧设置有气浴组件，气浴组件对核心发热部件所在区域进行气浴；在一级钢板密封箱、二级钢板密封箱内侧均安装有除湿装置、过滤净化装置及传感器组合，在二级钢板密封箱内安装冷却组件；传感器组合将实时监测到的环境参数送到总控制器，总控制器以传导辐射对流复合方式调控一级钢板密封箱和二级钢板密封箱内部的温度，本装置解决了现有技术难以兼顾微环境温度的控制精度和效率的问题。
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公开(公告)号：CN116843827A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202310666074.8
申请日：2023-06-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06T17/00 , G06T11/00 , G01N23/046 , G01N23/04
Abstract: 一种斜线扫描螺旋CT系统的反投影滤波图像重建方法，属于射线断层成像技术领域，其主要特征在于斜线扫描螺旋CT的反投影滤波图像重建方法，基本步骤为：S1：通过第n段轴向斜线扫描的差分反投影得到第n段三维DBP图像；S2：对第n段三维DBP图像沿轴向逐层进行一维有限Hilbert逆变换，得到第n段斜线扫描的三维重建图像；S3：将所有段斜线扫描的重建结果累加，得到完整的重建图像。本发明能够对斜线扫描螺旋CT采集的投影数据进行三维CT图像重建，采用了反投影滤波算法思路，能够避免截断伪影，在较小螺距下实现横向截面大且轴向长的物体扫描与三维CT重建。
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