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公开(公告)号：CN110174634A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910439443.3
申请日：2019-05-24
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种负载牵引测量系统及测量方法，测量系统包括矢量网络分析仪、源端阻抗调配器、负载端阻抗调配器、源端双定向耦合器和负载端双定向耦合器；源端阻抗调配器的第一端用于连接源端信号源，源端阻抗调配器的第二端连接源端双定向耦合器的第一端，源端双定向耦合器的第二端连接第一探针；负载端阻抗调配器的第一端用于连接负载端信号源，负载端阻抗调配器的第二端连接负载端双定向耦合器的第一端，负载端双定向耦合器的第二端连接第二探针；源端双定向耦合器的第三端和第四端、负载端双定向耦合器的第三端和第四端分别连接矢量网络分析仪的四个内部接收机的端口。本发明不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高测试准确度。
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公开(公告)号：CN110174633A
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201910439434.4
申请日：2019-05-24
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明提供了器件参数的测量方法、系统及终端设备，方法包括：获取待测器件的测量数据和负载牵引测量系统的误差参数，所述测量数据为所述负载牵引测量系统中矢量网络分析仪的内部接收机基于所述待测器件测量的电压波；利用所述测量数据和所述负载牵引测量系统的误差参数，计算所述待测器件的参数。通过获取矢量网络分析仪测量待测器件的实时测量数据，可以实时计算待测器件的参数，不受阻抗调配器机械重复性的影响，提高了待测器件的参数的测量准确度。
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公开(公告)号：CN106405462B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201610763762.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种在片散射参数的溯源及不确定度评估方法，涉及散射参数校准技术领域。该方法包括：建立多线TRL校准算法模型，根据所述TRL校准算法确定采集测量的误差来源；测量多线TRL校准件的几何量及未修正的散射参数，并进行误差项采集；通过测量传输线单位长度线电容的方法，得到所述多线TRL校准件传输线的特征阻抗，再通过阻抗变换实现归一化到50Ω特征阻抗的散射参数校准；测量被测件未修正的散射参数，进行误差项修正得到归一化到50Ω的被测件的散射参数，根据MCM蒙特卡洛器件仿真测试方法对多线TRL校准的散射参数进行不确定度评估。上述方法能够清晰给出不确定度的来源，提高评估的不确定度评估的准确性。
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公开(公告)号：CN107991537A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711159667.6
申请日：2017-11-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R27/26
Abstract: 本发明提供了基于共面波导传输线的介电常数提取方法及终端设备，该方法包括：设计多根、冗余的传输线作为标准覆盖待测样品介电常数频率范围，并对TRL校准过程中的误差进行分析，建立求解传播常数的误差分析模型；根据有效相移规则选取公共线，并将得到的公共传输线与其它传输线组成线对以对各个线对进行多次独立测量，并根据所述误差分析模型得到多组传播常数的观测值；根据多组传播常数的观测值确定传输线的单位长度电阻、单位长度电感，并最终得出传输线的衬底介电常数。上述方法及终端设备，能大大拓展介电常数的测试频率，支持宽频带介电常数的测试，提高测试效率，使测试简单化。
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公开(公告)号：CN106772172A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201610985271.6
申请日：2016-10-25
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
CPC classification number: G01R35/007
Abstract: 本发明公开了一种在片高低温S参数TRL校准件的设计方法，涉及测量电变量或磁变量的方法技术领域。所述方法包括以下步骤：1）在片S参数校准件的设计：针对不同的校准温度，分别设计不同温度的在片S参数校准件，在片S参数校准件采用共面波导传输线结构、TRL形式，包括直通标准件T、反射标准件R、传输线标准件L；2）在片终端电阻的设计。所述方法完成了在片高低温S参数校准件的设计与制作，完成在片校准件在不同温度下的表征，实现了不同温度下在片高低温S参数测试系统的有效校准，确保在片高低温S参数测量结果准确一致，且所述方法操作简单，校准准确度高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106405462A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610763762.6
申请日：2016-08-30
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R35/00
CPC classification number: G01R35/00
Abstract: 本发明公开了一种在片散射参数的溯源及不确定度评估方法，涉及散射参数校准技术领域。该方法包括：建立多线TRL校准算法模型，根据所述TRL校准算法确定采集测量的误差来源；测量多线TRL校准件的几何量及未修正的散射参数，并进行误差项采集；通过测量传输线单位长度线电容的方法，得到所述多线TRL校准件传输线的特征阻抗，再通过阻抗变换实现归一化到50Ω特征阻抗的散射参数校准；测量被测件未修正的散射参数，进行误差项修正得到归一化到50Ω的被测件的散射参数，根据MCM蒙特卡洛器件仿真测试方法对多线TRL校准的散射参数进行不确定度评估。上述方法能够清晰给出不确定度的来源，提高评估的不确定度评估的准确性。
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公开(公告)号：CN104297551B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201410502198.3
申请日：2014-09-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R19/00
Abstract: 本发明公开了一种皮纳安级直流电流源高精度校准系统，涉及半导体器件直流电流特性测量技术领域。包括数字多用表、高值电阻/短路器、线性稳压电源和有源校准适配器，所述有源校准适配器的电阻信号输入端与所述高值电阻/短路器连接，所述有源校准适配器的电阻电压信号输出端与所述数字多用表连接，所述有源校准适配器的电源信号输入端与所述线性稳压电源连接。所述有源校准适配器并设有皮纳安级直流电流源电流信号输入端接口。本发明解决了现有技术的使用局限性（仅适用于具有保护端子输出的微小电流）和测量误差大（默认保护端电压与高值电阻电压相等，默认保护端输出没有线性度）等问题，具有很高的市场推广价值。
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公开(公告)号：CN214409087U
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202023079835.0
申请日：2020-12-17
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R1/067
Abstract: 本实用新型提供了一种小型手动探针台，属于器件测试技术领域，包括底板、载片台、XYZ三轴位移台、显微镜滑台、Z向调整杆以及显微镜；载片台设有真空腔和与真空腔连通的吸附孔；XYZ三轴位移台滑动设于底板上，用于连接并精调探针的位置；XYZ三轴位移台为两组，左右对称设于载片台的两侧；XYZ三轴位移台借助X向直线导轨粗调到载片台的位移；显微镜滑台滑动设于底板上；Z向调整杆固定于显微镜滑台上，用于安装显微镜并精调显微镜的Z向位移；显微镜安装于Z向调整杆上。本实用新型提供的小型手动探针台，结构简单，使用方便，制作成本低，粗调和精调均可手动操作，能够满足芯片测试需要，有利于裸芯片研发阶段成本的降低。
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公开(公告)号：CN204142821U
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201420559417.7
申请日：2014-09-26
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01R19/00
Abstract: 本实用新型公开了一种皮纳安级直流电流源高精度校准系统，涉及半导体器件直流电流特性测量技术领域。包括数字多用表、高值电阻/短路器、线性稳压电源和有源校准适配器，所述有源校准适配器的电阻信号输入端与所述高值电阻/短路器连接，所述有源校准适配器的电阻电压信号输出端与所述数字多用表连接，所述有源校准适配器的电源信号输入端与所述线性稳压电源连接，所述有源校准适配器并设有皮纳安级直流电流源电流信号输入端接口。本实用新型解决了现有技术的使用局限性（仅适用于具有保护端子输出的微小电流）和测量误差大（默认保护端电压与高值电阻电压相等，默认保护端输出没有线性度）等问题，具有很高的市场推广价值。
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公开(公告)号：CN207457105U
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：CN201721626135.4
申请日：2017-11-27
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G01N23/046
Abstract: 本实用新型公开了一种X-CT系统用测量夹具，属于测试夹具领域。所述测量夹具包括：样品台，底面设置与扫描转台匹配的定位凹台；载片柱，下部与所述样品台螺纹连接，且所述载片柱的旋转轴与所述样品台的旋转轴平行，中部为柱体，上部为设置在所述柱体顶面上、与所述柱体成一体结构的透明薄板；胶片，用于粘结待测器件，粘贴在所述透明薄板的表面。上述技术方案中，透明薄板不会相对样品台产生相对位移，进而微小器件也不会发生位移，测量结果准确、可靠，同时透明薄板减小了对X射线的衰减，实现了用X-CT高准确度地测量微小器件的结构，填补了微小器件测试夹具的空白。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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