多线TRL校准方法及终端设备

    公开(公告)号:CN108107392B

    公开(公告)日:2020-03-24

    申请号:CN201711159640.7

    申请日:2017-11-20

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本发明提供了多线TRL校准方法及终端设备,该方法包括:对TRL校准过程中的误差进行分析,建立用于求解传播常数和校准常数的误差分析模型;利用多根、冗余的传输线作为标准覆盖每一个频点,根据有效相移规则选取公共线,并将公共线与其它每个传输线组成线对,每组线对之间形成独立测量,并根据所述误差分析模型得到多组传播常数和校准常数的观测值;通过预处理方法对传输线的测量结果进行处理,并根据处理结果更新公共传输线。上述方法及终端设备,能够提高在片S参数测试准确度。

    多线TRL校准方法及终端设备

    公开(公告)号:CN108107392A

    公开(公告)日:2018-06-01

    申请号:CN201711159640.7

    申请日:2017-11-20

    IPC分类号: G01R35/00

    摘要: 本发明提供了多线TRL校准方法及终端设备,该方法包括:对TRL校准过程中的误差进行分析,建立用于求解传播常数和校准常数的误差分析模型;利用多根、冗余的传输线作为标准覆盖每一个频点,根据有效相移规则选取公共线,并将公共线与其它每个传输线组成线对,每组线对之间形成独立测量,并根据所述误差分析模型得到多组传播常数和校准常数的观测值;通过预处理方法对传输线的测量结果进行处理,并根据处理结果更新公共传输线。上述方法及终端设备,能够提高在片S参数测试准确度。

    检测S参数的方法及终端设备

    公开(公告)号:CN109444721B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201811554687.8

    申请日:2018-12-19

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明适用于晶原级半导体器件微波特性测量技术领域,提供一种检测S参数的方法及终端设备,该方法包括:采用基本校准件进行矢量校准,获取8‑term误差模型;根据所述8‑term误差模型中的系统误差项进行串扰修正,测量放置在被测件位置的至少两个串扰标准件,获取两项串扰项;根据所述8‑term误差模型中的系统误差项以及所述两项串扰项进行矢量校准,测量所述被测件,获取所述被测件的S参数。可以解决高频在片测试过程探针与探针之间串扰误差项的影响,并且解决在串扰修正过程中单个串扰标准引起的随机误差较大问题,进一步提高高频在片S参数的测量准确度。

    检测S参数的方法及终端设备

    公开(公告)号:CN109444721A

    公开(公告)日:2019-03-08

    申请号:CN201811554687.8

    申请日:2018-12-19

    IPC分类号: G01R31/28

    摘要: 本发明适用于晶原级半导体器件微波特性测量技术领域,提供一种检测S参数的方法及终端设备,该方法包括:采用基本校准件进行矢量校准,获取8-term误差模型;根据所述8-term误差模型中的系统误差项进行串扰修正,测量放置在被测件位置的至少两个串扰标准件,获取两项串扰项;根据所述8-term误差模型中的系统误差项以及所述两项串扰项进行矢量校准,测量所述被测件,获取所述被测件的S参数。可以解决高频在片测试过程探针与探针之间串扰误差项的影响,并且解决在串扰修正过程中单个串扰标准引起的随机误差较大问题,进一步提高高频在片S参数的测量准确度。

    基于共面波导传输线的介电常数提取方法及终端设备

    公开(公告)号:CN107991537A

    公开(公告)日:2018-05-04

    申请号:CN201711159667.6

    申请日:2017-11-20

    IPC分类号: G01R27/26

    摘要: 本发明提供了基于共面波导传输线的介电常数提取方法及终端设备,该方法包括:设计多根、冗余的传输线作为标准覆盖待测样品介电常数频率范围,并对TRL校准过程中的误差进行分析,建立求解传播常数的误差分析模型;根据有效相移规则选取公共线,并将得到的公共传输线与其它传输线组成线对以对各个线对进行多次独立测量,并根据所述误差分析模型得到多组传播常数的观测值;根据多组传播常数的观测值确定传输线的单位长度电阻、单位长度电感,并最终得出传输线的衬底介电常数。上述方法及终端设备,能大大拓展介电常数的测试频率,支持宽频带介电常数的测试,提高测试效率,使测试简单化。