知搜-全球专利检索

  1. 登录
  2. 注册

搜索结果

117 条记录 (耗时 0.02 秒)

    用于增强感兴趣区域的图像的方法和装置
    92.
    发明授权
    用于增强感兴趣区域的图像的方法和装置 有权

    公开(公告)号：CN103295189B

    公开(公告)日：2017-11-14

    申请号：CN201310035298.5

    申请日：2013-01-30

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： A.巴姆 ,  N.W.帕克 ,  M.W.乌特劳特

    IPC分类号： G06T5/00 ,  G06F3/0481

    CPC分类号： H04N5/23216 ,  G02B21/365 ,  H01J37/265 ,  H01J2237/22 ,  H01J2237/28 ,  H04N1/62

    摘要： 本发明涉及用于数字显微术的图像增强聚光照明模式。一种允许数字显微原始图像的观察者操纵显示器和/或显微镜以获得原始图像内的感兴趣区的增强视图的装置。在一个优选实施例中，聚光照明模式使用于聚光照明感兴趣区的灰度等级与存在于聚光照明区中的像素强度变化匹配。然后可以将被用于聚光照明模式的灰度等级广义化至原始图像。在优选实施例中，聚光照明模式提供了用于允许用户命令来自所显示图像的所选聚光照明区的重新成像的容易机制。此类重新成像可以允许使用更好地拟合聚光照明区的成像参数选择。

    超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法
    93.
    发明公开
    超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法 有权

    公开(公告)号：CN107331594A

    公开(公告)日：2017-11-07

    申请号：CN201610273069.0

    申请日：2016-04-28

    申请人： 中国科学院物理研究所

    发明人： 李星元 ,  孙帅帅 ,  杨槐馨 ,  田焕芳 ,  李建奇

    IPC分类号： H01J37/26

    CPC分类号： H01J37/265

    摘要： 本发明涉及超快透射电镜系统和用于其的自动采集和图像批处理方法。一种超快透射电子显微系统包括：激光源，用于产生探测激光和激发激光；透射电子显微镜，包括电子枪、电子加速器和成像器；三维电动位移台，用于将所述激发激光引导至所述样品上；一维电动位移台，用于改变所述激发激光的光程；以及控制装置，通过接口连接到所述激光源、所述透射电子显微镜、所述三维电动位移台和所述一维电动位移台以控制其操作，所述控制装置包括：激光电子束共轴模块，用于使所述激发激光与所述探测电子束辐照在所述样品上的同一位置处；自动采集模块，用于自动采集多张透射电镜图像；以及图像批处理模块，用于对所采集的多张透射电镜图像执行批量处理。

    在带电粒子显微镜中检查样本的方法
    94.
    发明授权
    在带电粒子显微镜中检查样本的方法 有权

    公开(公告)号：CN104865276B

    公开(公告)日：2017-07-21

    申请号：CN201510087134.6

    申请日：2015-02-25

    申请人： FEI 公司

    发明人： I.拉兹 ,  E.G.T.博思 ,  F.博格霍贝 ,  B.布伊斯塞 ,  K.S.塞德 ,  S.拉扎

    IPC分类号： G01N23/04

    CPC分类号： H01J37/244 ,  H01J37/26 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2446 ,  H01J2237/24465 ,  H01J2237/2802

    摘要： 一种在扫描透射类型的带电粒子显微镜中检查样本的方法，包括如下步骤：‑提供带电粒子射束，所述射束通过发光器从源被引导以便照射样本；‑提供检测器，用于检测带电粒子穿过样本的通量；‑使得所述射束横跨样本表面进行扫描，并且记录作为扫描位置的函数的检测器输出，从而产生样本的带电粒子图像的累积，该方法还包括如下步骤：‑把检测器体现为包括多个检测分段；‑组合来自检测器的不同分段的信号，以便在每个扫描位置处从检测器产生向量输出，并且编译这个数据以产生向量场；‑通过使所述向量场经受二维积分操作来以数学方式处理所述向量场，由此产生积分向量场图像。

    一种扫描聚焦系统及电子束控制方法
    96.
    发明公开
    一种扫描聚焦系统及电子束控制方法 无效

    公开(公告)号：CN106920723A

    公开(公告)日：2017-07-04

    申请号：CN201710128987.9

    申请日：2017-03-06

    申请人： 聚束科技(北京)有限公司

    发明人： 李帅 ,  何伟 ,  王鹏

    IPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/28 ,  H01J37/21

    CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/21 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28

    摘要： 本发明公开了一种扫描聚焦系统，其特征在于，所述系统包括：电子源、电子加速结构、聚焦结构、偏转结构、电子减速结构和高压控制结构；其中，所述电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于对所述电子源产生的电子束进行加速；所述聚焦结构，用于对加速后的电子束进行聚焦；所述偏转结构，用于对聚焦后的电子束进行偏转扫描；所述电子减速结构，用于产生一减速场，对经偏转扫描后的电子束进行减速；所述高压控制结构，用于控制所述电子源、所述电子加速结构和所述电子减速结构的电压。本发明还公开了一种电子束控制方法。

    用于利用探针扫描样品的扫描方法
    99.
    发明授权
    用于利用探针扫描样品的扫描方法 有权

    公开(公告)号：CN103063881B

    公开(公告)日：2016-09-28

    申请号：CN201210396453.1

    申请日：2012-10-18

    申请人： FEI公司

    发明人： A.R.哈通 ,  C.S.库伊曼

    IPC分类号： G01Q30/04

    CPC分类号： H01J37/26 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/06 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/28

    摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。

    具有气压修正的带电粒子显微镜
    100.
    发明公开
    具有气压修正的带电粒子显微镜 无效

    公开(公告)号：CN105590822A

    公开(公告)日：2016-05-18

    申请号：CN201510768953.7

    申请日：2015-11-12

    申请人： FEI公司

    发明人： M.H.P.莫尔斯 ,  A.维斯彻尔

    IPC分类号： H01J37/26

    CPC分类号： H01J37/265 ,  H01J37/02 ,  H01J2237/0216 ,  H01J2237/16 ,  H01J37/268 ,  H01J2237/28

    摘要： 本发明涉及具有气压修正的带电粒子显微镜。一种使用带电粒子显微镜的方法，包括以下步骤：在样品保持器上提供样品；引导来自源的带电粒子的射束通过照明器从而照射样品；使用检测器来检测响应于所述照射而从样品发出的辐射通量，特别地包括以下步骤：为显微镜提供气压传感器；从所述气压传感器为自动控制器提供压强测量信号；调用所述控制器以使用所述信号作为到控制程序的输入，以基于所述信号来补偿所述射束和所述样品保持器的相对位置误差。