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公开(公告)号：CN108028637B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201680055793.4
申请日：2016-07-25
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种具备声音反射层的弹性波装置，其中，能够降低特性劣化的可能性。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；设置在支承基板(2)上的声音多层膜(3)；设置在声音多层膜(3)上的压电基板(4)；以及设置在压电基板(4)上的IDT电极(5)，声音多层膜(3)具有至少4层声阻抗层，该至少4层声阻抗层包含至少一层低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)和声阻抗比低声阻抗层(3a、3c、3e、3g)高的至少一层高声阻抗层(3b、3d、3f)，还具备接合层(9)，该接合层(9)设置在从由压电基板(4)侧朝向支承基板(2)侧的第四层声阻抗层(3d)中起直到声音多层膜(3)与支承基板(2)的界面为止的任一位置。
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公开(公告)号：CN112470298A
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201980049523.6
申请日：2019-07-10
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H01L41/047 , B81B7/02 , H01L41/09 , H03H9/17
Abstract: MEMS器件(101)具备由压电体的单晶构成的压电层(10)、配置于压电层(10)的第一方向(91)的表面的第一电极(14)、以及配置为覆盖压电层(10)的第一方向(91)的表面的作为第一层的中间层(3)。压电层(10)的至少一部分包含在膜片部(6)中。第一电极(14)被第一层(3)覆盖且具有凹部。压电层(10)在与第一电极(14)的至少一部分对应的位置处具有贯通孔(18)，该贯通孔(1g)贯穿压电层(10)，使得将压电层(10)的与第一方向(91)相反的一侧即第二方向(92)的表面与所述凹部连结。
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公开(公告)号：CN106031033B
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201580008513.X
申请日：2015-02-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供宽频带且高声速的弹性波装置。在LiNbO3基板(2)的第1主面(2a)形成第1IDT电极(3)，在第2主面(2b)形成第2IDT电极(4)，在向第1、第2IDT电极(3、4)施加了反相的交流电压的情况下，可激励SH波的高次模式为主体的板波，弹性波装置(1)利用该以SH波为主体的高次模式。
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公开(公告)号：CN106031033A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201580008513.X
申请日：2015-02-17
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/14538 , H03H9/02228 , H03H9/02559
Abstract: 提供宽频带且高声速的弹性波装置。在LiNbO3基板(2)的第1主面(2a)形成第1IDT电极(3)，在第2主面(2b)形成第2IDT电极(4)，在向第1、第2IDT电极(3、4)施加了反相的交流电压的情况下，可激励SH波的高次模式为主体的板波，弹性波装置(1)利用该以SH波为主体的高次模式。
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公开(公告)号：CN103283147B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201180062385.9
申请日：2011-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02535 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , Y10T29/42
Abstract: 提供利用了板波的弹性波装置，不需要空腔的形成，能谋求制造工序的简化，并且机械强度优良，处置容易，且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波，在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)，压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期，其中，声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g)，低声阻抗层由SiO2构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102893521B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201180023971.2
申请日：2011-04-28
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
CPC classification number: H01L41/107 , H03H9/14541
Abstract: 本发明提供一种声表面波装置。在压电基板上具有以覆盖IDT电极的方式形成的电介质膜的声表面波装置中，实现谐振特性、过滤器特性等的频率特性的改善。本发明涉及的声表面波装置(1)，具有：表面形成有槽(10a)的压电基板(10)、IDT电极(11)、以及电介质膜(12)。IDT电极(11)，具有位于槽(10a)内的第一电极层(11a)、和位于槽(10a)外的第二电极层(11b)。电介质膜(12)，以覆盖IDT电极(11)的方式而被形成在所述压电基板(10)上。第二电极层(11b)向着与压电基板(10)相反的一侧顶端越来越细。
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公开(公告)号：CN103392213A
公开(公告)日：2013-11-13
申请号：CN201280010379.3
申请日：2012-02-14
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H01G7/06 , H03H9/542 , H03H9/64 , H03H9/6403 , H03H2003/0464
Abstract: 本发明提供一种使用介电常数因施加电压而变化的电介质层、且可实现压电谐振部件、可调谐滤波器等的压电基板的小型化的可变电容元件。可变电容元件(1)具备:压电基板(2);缓冲层(3)，其形成在所述压电基板(2)上，具有取向性;电介质层(4)，其形成在所述缓冲层(3)上，介电常数因施加电压而变化;和第1电极以及第2电极，被设置成可对所述电介质层(4)施加电场。
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公开(公告)号：CN103283147A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180062385.9
申请日：2011-12-12
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02535 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H03H3/02 , H03H9/02228 , H03H9/02574 , Y10T29/42
Abstract: 提供利用了板波的弹性波装置，不需要空腔的形成，能谋求制造工序的简化，并且机械强度优良，处置容易，且改善了温度特性。弹性波装置(1)传播板波，在支承基板(2)上层叠声反射层(3)、压电体层(4)以及IDT电极(5)，压电体层(4)的厚度小于IDT电极(5)的电极指的周期，其中，声反射层(3)具有低声阻抗层(3b、3d、3f、3h)和高声阻抗层(3a、3c、3e、3g)，低声阻抗层由SiO2构成，所述高声阻抗层由从W、LiTaO3、Al2O3、AlN、LiNbO3、SiN以及ZnO所构成的群中选择的至少一种材料构成。
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公开(公告)号：CN101911482B
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN200880124679.8
申请日：2008-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其使用LiNbO3基板，所述弹性表面波装置不仅IDT的反射系数大，而且机电耦合系数k2也大，并且扩大了实现该机电耦合系数(k2)较大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。所述弹性表面波装置(1)，在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，并设置有具有由在多条槽(2b)中填充的金属材料构成的多条电极指的IDT3，该金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成。
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公开(公告)号：CN101911482A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200880124679.8
申请日：2008-12-22
Applicant: 株式会社村田制作所
CPC classification number: H03H9/02559 , H03H9/02574 , H03H9/14538
Abstract: 本发明提供一种弹性表面波装置，其使用LiNbO3基板，所述弹性表面波装置不仅IDT的反射系数大，而且机电耦合系数k2也大，并且扩大了实现该机电耦合系数(k2)较大的范围的LiNbO3基板的欧拉角范围。所述弹性表面波装置(1)，在LiNbO3基板(2)的上表面(2a)形成有多条槽(2b)，并设置有具有由在多条槽(2b)中填充的金属材料构成的多条电极指的IDT3，该金属材料由Cu或以Cu为主体的合金构成。
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