一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法

    公开(公告)号:CN105841608A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610165130.X

    申请日:2016-03-22

    CPC classification number: G01B11/00

    Abstract: 一种基于光纤出射光准直探测的组合悬臂梁探针传感装置及其传感方法,属于尺寸测量技术领域。为了解决光电探测器必须位于出射光聚焦的像面上,位移放大倍率不可调的问题。本发明所述的激光器的发光口与光纤的一端相连;夹持器固定在光纤上,以光纤被夹持器固定的部分和光纤的另一端作为两个端点的一段光纤构成光纤悬臂梁,所述光纤的另一端为自由端;探针的一端固定在光纤悬臂梁中间部位,触球固定在探针的另一端上;准直透镜位于光纤出射光路上;光电探测器位于光纤出射光路上,并且,准直透镜位于光纤和光电探测器之间。本发明的有益效果为位移放大倍率可根据需要调整。本发明适用于微尺寸和大深径比内腔结构的高精度测量。

    一种超分辨结构探测阵列共焦相干成像装置及其成像方法

    公开(公告)号:CN105547144A

    公开(公告)日:2016-05-04

    申请号:CN201510868011.6

    申请日:2015-11-30

    CPC classification number: G01B9/02042 G01B9/02048

    Abstract: 一种超分辨结构探测阵列共焦相干成像装置及其成像方法,它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明的目的是为了解决现有共焦限位技术的分辨力难以提高,共焦成像不清晰的问题。本发明包括激光光源,沿激光光源光线传播方向依次放置准直扩束器、微透镜阵列、准直透镜、分光棱镜、1/4波片、扫描系统、照明物镜、工业样品、收集透镜和CCD探测器,探测面上进行积分,改变对应探测位置的光灵敏度,使系统CTF带宽变大。本发明在提高共焦系统横向分辨力的同时提高结构探测共焦相干成像系统的成像速率,可适用于工业样品成像的测量领域。

    一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法

    公开(公告)号:CN103256888A

    公开(公告)日:2013-08-21

    申请号:CN201310167659.1

    申请日:2013-05-09

    Abstract: 一种超分辨移动光栅共焦成像装置与方法属于光学精密测量技术领域;该装置设置有类型相同,空间周期相同,在物空间和像空间的共轭位置以等大反向的速度直线运动或圆周转动的调制移动光栅和解调移动光栅,设置具有滤波或对时间积分功能的信号处理装置;该方法利用调制移动光栅对共焦系统中经过样品后的光进行时空调制,并在调制光进入光强探测器前通过解调移动光栅进行解调,得到扫描点瞬时光强信号,最后进行信号处理,得到扫描点光强;本发明可以提高共焦系统空间截止频率,甚至可以使隐矢波成分参与成像,拓宽空间频域带宽,从而显著改善系统横向分辨力,尤其适用于提高数值孔径以及实现近场隐矢波成分在远场成像的测量领域。

    基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法

    公开(公告)号:CN103226238A

    公开(公告)日:2013-07-31

    申请号:CN201310176241.7

    申请日:2013-05-14

    Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦横向扫描装置与方法属于光学精密测量技术领域,具体涉及一种共焦显微镜和其扫描方法;利用反射式液晶空间光调制器取代传统共焦横向扫描装置中的横向扫描机构,通过改变反射式液晶空间光调制器载入的相位驱动图,实现光束的二维偏转,从而实现非机械的横向扫描;这种设计,使得显微物镜和被测物均不需要横向移动,即可实现对被测物的横向光束扫描,不仅可以避免三维微位移平台精确和复杂的控制,而且可以提高扫描精度和重复性,尤其对易形变样品效果更加明显,因此还能扩大测量样品种类。

    基于反射式液晶空间光调制器的共焦轴向扫描装置及共焦轴向扫描方法

    公开(公告)号:CN102540439A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201110453356.7

    申请日:2011-12-30

    Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦轴向扫描装置及共焦轴向扫描方法,涉及一种共焦显微镜及其扫描方法,本发明解决了现有轴向扫描装置及方法因被测物体离焦是通过物镜或被测物体沿轴向方向移动而实现所导致的装置结构复杂、样品的测量重复性差的问题。本发明的共焦轴向扫描装置在现有装置基础上的偏振分光镜和物镜之间增加了反射式液晶空间光调制器,同时去掉传统共焦轴向扫描装置中轴向扫描机构,用反射式液晶空间光调制器取代轴向扫描机构。本发明的共焦轴向扫描方法采用计算机直接调制相位灰度图的方式来调整物镜之前光波的波前,从而实现变焦,使得测量物镜和被测物均不需要轴向移动即可实现对被测物的轴向扫描。用于共焦显微镜及其扫描。

    复合节流静压气体圆柱轴承

    公开(公告)号:CN1282830C

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200510009747.4

    申请日:2005-02-17

    Abstract: 本发明“复合节流静压气体圆柱轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆柱轴承,在轴承工作面上,沿圆柱轴线方向加工有表面节流沟槽,以静压气浮供气点为中心,沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽,均压槽与邻近表面节流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆柱轴承提高30%以上,轴承刚度比传统静压气浮圆柱轴承提高15%以上。

    带有万向均载机构的调整垫铁

    公开(公告)号:CN1632364A

    公开(公告)日:2005-06-29

    申请号:CN200510009628.9

    申请日:2005-01-18

    Abstract: 一种“带有万向均载机构的调整垫铁”,由上斜铁、中间双面斜铁、下斜铁、均载机构和调整螺杆组成,均载机构有外环、内环两部分。调整螺杆带动中间双面斜铁移动,通过万向均载机构传递力矩,带动上下斜铁产生相对于中间斜铁的滑动,来实现调整方向上的高度调节。调倾过程中,能保证垂直定位螺母与上、下斜铁之间同时接触,使螺杆只承受垂直方向的推、拉力,消除其弯距偏载,极大的提高了调整系统的承载能力和可靠性,是值得推广的机床设备安装水平调整机构。

    高端仪器装备重载精密气磁复合低频隔微振器

    公开(公告)号:CN119267483A

    公开(公告)日:2025-01-07

    申请号:CN202411528387.8

    申请日:2024-10-30

    Abstract: 高端仪器装备重载精密气磁复合低频隔微振器属于精密隔振技术领域,由动磁环阵列与定磁环阵列同轴嵌套构成,动磁环阵列与定磁环阵列均由2n+1(n≥1,n∈N+)层沿轴向阵列布置、相邻层间垂直磁化的等截面磁环构成,整体结构关于第n+1层磁环上下对称;动磁环阵列与定磁环阵列的第一层磁环沿径向反向磁化,且其底面重合;每增加一层,动磁环的磁化方向顺时针旋转90°,而定磁环的磁化方向则逆时针旋转90°;本发明结构简单,安装和维护方便,可产生高负刚度与零磁力特性,在不改变几十吨至上千吨重载精密隔微振承载的条件下,降低其动态隔振刚度,实现低频或近零频隔振。

    一种基于相位调制散斑的空间谱估计显微成像装置与方法

    公开(公告)号:CN117607050A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311656849.X

    申请日:2023-12-06

    Abstract: 一种基于相位调制散斑的空间谱估计显微成像装置与方法,属于超分辨荧光显微技术领域,是针对空间谱估计宽场成像技术中,因宽场照明条件下成像分辨率依赖于荧光波动,而特殊荧光染料标记具有较强的化学毒性和光毒性的问题所提出。包括激光光源,准直扩束镜,SLM,准直透镜,中继透镜,管镜,二向色镜,物镜,荧光样品,滤光片,集光透镜和相机。利用散斑照明主动控制荧光闪烁,无需特殊荧光标记,不依赖于荧光开关,照明强度低,可以有效避免因特殊荧光染料标记引起的化学毒性和依赖于漂白过程荧光波动所引起的光毒性,提高基于空间谱估计的超分辨显微成像技术的适用性。

    导向与驱动一体的永磁体向心励磁立方形电磁驱动装置

    公开(公告)号:CN115425818A

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211002140.3

    申请日:2022-08-21

    Abstract: 本发明涉及振动计量技术领域,特别是涉及一种导向与驱动一体的永磁体向心励磁立方形电磁驱动装置,包括电磁驱动部件和运动部件;电磁驱动部件包括方桶形下磁轭、设置于下磁轭内侧的呈回字形的永磁体;下磁轭的内侧和所述永磁体的内侧和下侧围合形成运动腔;在下磁轭上且位于运动腔内侧安装有中心磁轭;中心磁轭和所述永磁体之间设置有气隙;运动部件包括位于中心磁轭上侧的工作台面,在工作台面靠近中心磁轭的一侧面设置有线圈骨架,线圈骨架滑动套接于中心磁轭的外侧;线圈骨架的外侧壁缠绕有直流线圈和激励线圈。通过采用上述方案,最大程度地降低了运动部件装配难度,减小了运动部件自重,有效提高了电磁驱动装置的装配精度和驱动能力。

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