公开(公告)号：CN102540439A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110453356.7

申请日：2011-12-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邹丽敏 ,  侯斯靓 ,  谭久彬

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36 ,  G02F1/13

Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦轴向扫描装置及共焦轴向扫描方法，涉及一种共焦显微镜及其扫描方法，本发明解决了现有轴向扫描装置及方法因被测物体离焦是通过物镜或被测物体沿轴向方向移动而实现所导致的装置结构复杂、样品的测量重复性差的问题。本发明的共焦轴向扫描装置在现有装置基础上的偏振分光镜和物镜之间增加了反射式液晶空间光调制器，同时去掉传统共焦轴向扫描装置中轴向扫描机构，用反射式液晶空间光调制器取代轴向扫描机构。本发明的共焦轴向扫描方法采用计算机直接调制相位灰度图的方式来调整物镜之前光波的波前，从而实现变焦，使得测量物镜和被测物均不需要轴向移动即可实现对被测物的轴向扫描。用于共焦显微镜及其扫描。

公开(公告)号：CN102540439B

公开(公告)日：2013-10-30

申请号：CN201110453356.7

申请日：2011-12-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 邹丽敏 ,  侯斯靓 ,  谭久彬

IPC: G02B21/00 ,  G02B21/36 ,  G02F1/13

Abstract: 基于反射式液晶空间光调制器的共焦轴向扫描装置及共焦轴向扫描方法，涉及一种共焦显微镜及其扫描方法，本发明解决了现有轴向扫描装置及方法因被测物体离焦是通过物镜或被测物体沿轴向方向移动而实现所导致的装置结构复杂、样品的测量重复性差的问题。本发明的共焦轴向扫描装置在现有装置基础上的偏振分光镜和物镜之间增加了反射式液晶空间光调制器，同时去掉传统共焦轴向扫描装置中轴向扫描机构，用反射式液晶空间光调制器取代轴向扫描机构。本发明的共焦轴向扫描方法采用计算机直接调制相位灰度图的方式来调整物镜之前光波的波前，从而实现变焦，使得测量物镜和被测物均不需要轴向移动即可实现对被测物的轴向扫描。用于共焦显微镜及其扫描。