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公开(公告)号：CN119002040A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411120992.1
申请日：2024-08-15
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本申请涉及微机电系统领域，具体涉及一种MEMS微镜及其制造方法，MEMS微镜包括支撑框架、镜面以及驱动组件，驱动组件设有位于支撑框架与镜面之间的驱动结构；驱动结构由至少一个磁致伸缩层和至少一个非磁致伸缩层组合形成，其中非磁致伸缩层配置为贴合设置于磁致伸缩层的一侧表面，以使磁致伸缩层在磁场作用下，或缩短并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向弯曲，或伸长并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向的反方向弯曲，从而驱动镜面偏转；该MEMS微镜的结构不仅能够保证结构稳定性、高可靠性和响应速度，还兼顾结构的简单化，有助于实现MEMS微镜小型化和集成化，制作工艺简单，易于实现，适合规模化工业应用。
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公开(公告)号：CN118684181A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410693313.3
申请日：2024-05-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于磁致伸缩的MEMS执行器及其制造方法，该执行器的驱动臂由多层薄膜复合而成，所述膜结构包括磁致伸缩薄膜和非磁致伸缩薄膜。在磁场作用下，由于磁致伸缩薄膜本身发生伸缩，非磁致伸缩薄膜在磁场作用下薄膜本身无变化。所述驱动臂在应力作用下发生形变弯曲，带动相应结构运动。因此，本发明利用多层薄膜具有不同的磁致伸缩效应，产生应变力进行驱动，其结构简单，可通过电信号控制磁场大小，进而控驱动臂产生不同的位移量，响应速度快且控制精准，可以与多种微结构进行集成，实现MEMS执行器的小型化、集成化、大规模的商业化工业应用。
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公开(公告)号：CN118310607A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410404656.3
申请日：2024-04-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01G3/142
Abstract: 本发明提供一种基于压阻效应的微型天平，涉及微物体称重设备技术领域，包括称重平台、支撑组件、悬臂梁和压敏电阻，称重平台用于放置待称重物；支撑组件具备多个支撑部，多个支撑部围绕称重平台所在的柱形区域设置；悬臂梁具有弹性变形能力，悬臂梁设置有多个，悬臂梁的一端和称重平台连接，另一端和支撑部连接；压敏电阻设置于悬臂梁与支撑部连接处。本发明提供的微型天平无严格的测量环境要求，可在各种环境下进行质量测量，应用范围广泛，适用于大范围的微观尺度测量，能够实现将质量信号转变为线性电压信号输出，便于信号处理。
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公开(公告)号：CN116499517A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310104450.4
申请日：2023-02-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器，具体涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；属于传感器领域。本发明的目的是为了克服现有技术的不足，填补领域的空白，实现单芯片同时检测气体流量与气体/湿度的功能，提供一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；该传感器充分利用了流量传感部分加热电阻的热量，极大地提高了能量的利用率，并且具有低功耗、高响应速度、低滞回的优势；采用无需掩模版操作的Post‑CMOS工艺，避免了复杂的光刻步骤，有效降低了整个器件的后处理复杂程度，大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114019674B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202111167883.1
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微文半导体科技有限公司
IPC: G02B26/02
Abstract: 本公开提供了一种透射式光开关、阵列透射式光开关及电子设备；其中，所述透射式光开关包括基底，驱动装置以及静电吸合装置；所述基底形成有透光区域；所述驱动装置的一端与所述基底连接，所述驱动装置悬置于所述基底上，所述驱动装置被构造为能够发生弯曲形变和展平；所述静电吸合装置包括第一静电电极和第二静电电极，所述第一静电电极位于所述基底上，且为透光材料，所述第二静电电极位于所述驱动装置上；在所述驱动装置展平的状态下，所述驱动装置能够通过所述第二静电电极静电吸合在所述第一静电电极上，以关闭所述透光区域。本公开的方案为光开关提供了一种新的驱动方式，能够明显降低驱动电压和功耗，同时降低了维持光开关关闭的能耗。
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公开(公告)号：CN115597671A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211329624.9
申请日：2022-10-27
Applicant: 北京理工大学(CN)
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法。本发明通过在硅片上依次形成第一柔性基底层、第二柔性基底层、第一热敏电阻、第二热敏电阻和第三热敏电阻。与硅基加工工艺不同，本发明首创性的提出了一种柔性基底的悬浮结构一体式加工工艺。先在空腔处构建牺牲层，在传感层构建完成之后，与硅基直接刻蚀基底不同，本发明采用丙酮洗去牺牲层厚胶的工艺形成悬浮结构。之后剥离硅基底从而形成带有悬浮结构的柔性量热式流速传感器。由于本发明采用一体式加工工艺和双模柔性基底制作传感器及它的悬空和剪纸结构，传感器具有稳定性高，热耗散低，灵敏度高，具有复杂曲面保型贴合的特点。
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公开(公告)号：CN114019675A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202111155662.2
申请日：2021-09-29
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
IPC: G02B26/08
Abstract: 本公开公开了一种二维微镜。该二维微镜包括外框架及套设于所述外框架内侧的内框架；所述外框架与所述内框架之间设置有第一驱动器；所述内框架的内侧设置有第二驱动器；所述第一驱动器和所述第二驱动器均为电热驱动器，或者，所述第一驱动器为电热驱动器、所述第二驱动器为静电驱动器；所述第一驱动器包括支撑梁及驱动臂组件；所述支撑梁连接在所述内框架的外侧，所述驱动臂组件与所述支撑梁连接，所述驱动臂组件设置有多个，多个所述驱动臂组件沿第一方向排布，所述第一方向为所述支撑梁的长度方向。
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公开(公告)号：CN112859047A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110040233.4
申请日：2021-01-13
Applicant: 北京理工大学 , 无锡微奥科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种离轴激光雷达及其回波的接收方法，该离轴激光雷达包括激光发射单元和激光接收单元，其中，激光接收单元包括：滤光片，用于对离轴激光雷达的的回波进行过滤，且滤光片为透光波长包含激光发射单元所发射激光波长的窄带滤光片；滤光片驱动器，用于转动滤光片以使离轴激光雷达的回波以预定角度范围内的一个角度入射到滤光片上；光电探测器，用于对滤光片过滤后的回波进行接收，且将接收到的回波进行光电转换。本申请解决了现有离轴激光雷达在具备较强回波接收能力的同时信噪比较低的技术问题。
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公开(公告)号：CN218097631U
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202222585287.1
申请日：2022-09-28
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 北京理工大学 , 重庆虹势科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种基于MEMS的3D结构光测量系统，该系统包括同步控制电路、微镜驱动控制电路、微镜位置检测电路、激光驱动控制电路、图像运算处理器电路、图像采集设备、光源和MEMS微镜；所述同步控制电路分别与所述微镜驱动控制电路、所述微镜位置检测电路、所述激光驱动控制电路、所述图像运算处理器电路和所述图像采集设备连接；所述激光驱动控制电路与所述光源连接；所述微镜驱动控制电路分别与所述微镜位置检测电路和所述MEMS微镜连接；所述图像运算处理器电路与所述图像采集设备连接。本实用新型有效地解决了现有结构光测量系统速度低、功耗高、体积大的问题。
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