-
公开(公告)号：CN119330296A
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN202411440725.2
申请日：2024-10-15
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS的法布里‑珀罗腔，包括静电驱动器和FP腔，静电驱动器包括基底层、埋氧层以及器件层，器件层包括外框架、固定梳齿、内框架和可动梳齿，固定梳齿以及可动梳齿均具有电极且能够与外部控制电路连接，以在固定梳齿以及可动梳齿之间形成梳齿电容；FP腔包括平行设置的第一面板和第二面板。静电驱动器采用梳齿方式驱动，可以实现对FP腔相对位置的精准驱动与控制，通过对FP腔施加电压，改变FP腔平行的两面板之间的距离，并通过对梳齿电容的检测，实现位置检测，进而实现对FP腔平行的两面板的距离控制。通过先进封装技术，实现电极的引出与各种气氛或真空环境的封装，提高FP腔的实用性。
-
公开(公告)号：CN119165650A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202411441067.9
申请日：2024-10-15
Applicant: 北京理工大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微镜单元、MEMS微镜阵列及制作方法，涉及微机电系统技术领域，MEMS微镜单元，包括外框架、内框架和驱动器，外框架顶部用于安装镜面层；内框架设于外框架底部，且其竖直投影位于外框架侧边的竖直投影内；外框架侧边与内框架位于同一侧的侧边之间连接有驱动器，驱动器能够驱动镜面层相对运动。MEMS微镜阵列，包括多个MEMS微镜单元，多个MEMS微镜单元依次阵列布置，且相邻两个MEMS微镜单元的镜面层之间具有缝隙。本发明设计有内框架和外框架，驱动器一端连接在内框架，令一端连接在外框架上，实现了驱动器的埋藏式设计，极大的提高了MEMS微镜的填充率。
-
公开(公告)号：CN119002040A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411120992.1
申请日：2024-08-15
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本申请涉及微机电系统领域，具体涉及一种MEMS微镜及其制造方法，MEMS微镜包括支撑框架、镜面以及驱动组件，驱动组件设有位于支撑框架与镜面之间的驱动结构；驱动结构由至少一个磁致伸缩层和至少一个非磁致伸缩层组合形成，其中非磁致伸缩层配置为贴合设置于磁致伸缩层的一侧表面，以使磁致伸缩层在磁场作用下，或缩短并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向弯曲，或伸长并带动非磁致伸缩层朝非磁致伸缩层所在侧方向的反方向弯曲，从而驱动镜面偏转；该MEMS微镜的结构不仅能够保证结构稳定性、高可靠性和响应速度，还兼顾结构的简单化，有助于实现MEMS微镜小型化和集成化，制作工艺简单，易于实现，适合规模化工业应用。
-
公开(公告)号：CN118684181A
公开(公告)日：2024-09-24
申请号：CN202410693313.3
申请日：2024-05-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于磁致伸缩的MEMS执行器及其制造方法，该执行器的驱动臂由多层薄膜复合而成，所述膜结构包括磁致伸缩薄膜和非磁致伸缩薄膜。在磁场作用下，由于磁致伸缩薄膜本身发生伸缩，非磁致伸缩薄膜在磁场作用下薄膜本身无变化。所述驱动臂在应力作用下发生形变弯曲，带动相应结构运动。因此，本发明利用多层薄膜具有不同的磁致伸缩效应，产生应变力进行驱动，其结构简单，可通过电信号控制磁场大小，进而控驱动臂产生不同的位移量，响应速度快且控制精准，可以与多种微结构进行集成，实现MEMS执行器的小型化、集成化、大规模的商业化工业应用。
-
公开(公告)号：CN119620379A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411771060.3
申请日：2024-12-04
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
IPC: G02B26/00
Abstract: 本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种MEMS法布里‑珀罗滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个第一电热层组合形成，伸缩层包括第二电热层、电阻层、位于电阻层与第二电热层之间的第一绝缘层，以及位于电阻层背离第二电热层一侧的第二绝缘层；第一电热层的热膨胀系数小于第二电热层的热膨胀系数，至少一个第一电热层贴合设置于第二电热层和/或第二绝缘层上。该电热驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119306173A
公开(公告)日：2025-01-14
申请号：CN202411431295.8
申请日：2024-10-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 重庆工商大学
Abstract: 本发明公开了集成挠曲电位置检测的电热微动平台、检测方法及其制备方法，属于微机电技术领域，该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台，以及用于检测微平台的位置和运动状态的挠曲电位置检测结构。本发明将挠曲电位置检测结构与电热微动平台进行一体式集成，不仅能在不影响微动结构运动的情况下实时、稳定、高精度地获得微动结构偏转角度和偏转方向的姿态信息，还能显著降低器件及其系统的闭环控制姿态反馈电路的复杂程度，优化相关应用产品的结构和尺寸，以及实现器件的小型化和轻量化。
-
公开(公告)号：CN118702050A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410695318.X
申请日：2024-05-31
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种基于磁致伸缩的LSF型MEMS执行器及其制备方法，其基本结构包含三段Bimorph驱动臂，两段刚性直臂。Bimorph驱动臂为非磁致伸缩材料和磁致伸缩材料形成的多层结构，刚性直臂为非磁致伸缩材料。在外加磁场的驱动下，Bimorph驱动臂中磁致伸缩材料会发生膨胀，而非磁致伸缩材料不发生膨胀，因应力作用驱动臂会发生形变弯曲，带动直臂倾斜，由于三段驱动臂弯曲的方向不一样，同时弯曲角度互补抵消，保证了质量块在整个垂直平动过程中始终与初始状态保存平行。本发明结构简单，驱动位移大，无横向侧移，运用MEMS加工工艺，可以集成MEMS执行器的驱动部件，促进MEMS执行器领域的发展和应用。
-
公开(公告)号：CN119892002A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202411771066.0
申请日：2024-12-04
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本申请涉及滤波技术领域，具体涉及一种基于压电效应的F‑P腔滤波器及其制备方法，滤波器包括支撑框架；上极板；第一反射层和第二反射层，均设于支撑框架内且始终彼此平行，用以共同限定法布里‑珀罗谐振腔；驱动组件连接在上极板与支撑框架之间，驱动组件中设有驱动单元；驱动单元由伸缩层和至少一个非压电层组合形成，伸缩层包括压电层、位于压电层底部的底电极，以及位于压电层顶部的顶电极；至少一个非压电层配置为贴合设置于底电极和/或顶电极上。该压电驱动结构可实现滤波器小型化，结构简化，整体体积和重量降低，器件可靠性高。
-
公开(公告)号：CN119148370A
公开(公告)日：2024-12-17
申请号：CN202411290342.1
申请日：2024-09-14
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院
Abstract: 本发明公开了一种MEMS微位移平台及其位置检测方法，属于MEMS器件检测领域，主要在MEMS微镜的附近放一块位置感应元器件，将感应元器件集成到MEMS微镜中，当MEMS微镜的镜面偏转靠近感应元器件时，感应元器件会产生相应的电信号，放置感应元器件后，通过TSV或者TGV等工艺将信号传递给驱动控制电路，从而实时获取镜面的位置。本发明将器件检测与TSV或TGV工艺相结合，大大提高现有检测器件的集成度，且可以大批量低成本量产，有较高的市场前景。
-
公开(公告)号：CN119118048A
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202411183678.8
申请日：2024-08-27
Applicant: 北京理工大学重庆微电子研究院 , 重庆工商大学
Abstract: 本发明公开了一种集成压电反馈的电热微动平台及其位置检测方法，属于微机电技术领域，该平台包括外围支撑结构、电热驱动结构、微平台，以及用于检测微平台的位置和运动状态的压电位置检测结构。本发明将压电位置检测结构与电热微动平台进行一体式集成，不仅能在不影响微动结构运动的情况下实时、稳定、高精度地获得微动结构偏转角度和偏转方向的姿态信息，还能显著降低器件及其系统的闭环控制姿态反馈电路的复杂程度，优化相关应用产品的结构和尺寸，以及实现器件的小型化和轻量化。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
13
records
(took 0.03 seconds)
