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公开(公告)号:CN101377255A
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200810214921.2
申请日:2008-08-29
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K41/10 , F16K1/48 , F16K31/122 , F16K27/02 , F16K51/02
Abstract: 一种可以连接真空腔和真空泵的耐用的真空开/关阀,所述真空开/关阀设置为通过改变作为阀元件的O形圈相对于阀座的开度来控制所述真空腔中的真空压力。活塞的外周表面和气缸的内周表面之间的预定间隙被波纹密封件密封,所述波纹密封件根据通过移动打开或者关闭所述阀的活塞的运动而改变形状。所述波纹密封件包括具有预定倾斜角的倾斜表面,所述活塞的外周包括具有预定倾斜角的倾斜表面,这样,当所述阀元件与所述阀座接触时,与活塞接触的波纹密封件的内直径等于活塞的外直径。
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公开(公告)号:CN101376088A
公开(公告)日:2009-03-04
申请号:CN200810211190.6
申请日:2008-09-01
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/86461 , Y10T137/87885
Abstract: 流体混合系统和流体混合设备。一种能快速稳定待混合的多种流体的流量的流体混合系统被设置,以混合流体并将其混合物传送到容器。该系统包括多个用于各种流体且将流体传送到所述容器的双位阀。根据分别表明循环中的打开/关闭比的相应占空比而依次地打开和关闭所述双位阀。
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公开(公告)号:CN101093034A
公开(公告)日:2007-12-26
申请号:CN200710111854.7
申请日:2007-06-20
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K31/122 , F16K7/14
Abstract: 为了提供一种低成本的气动阀,一种气动阀包括:活塞;缸,在该缸中允许所述活塞在操作空气的作用下滑动;和阀部分,该阀部分将由所述活塞的滑动运动而被驱动。所述缸包括:外构件,该外构件具有中空部分;和内构件,该内构件装载在外构件的中空部分中,从而限定活塞室,在该活塞室中允许活塞滑动。
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公开(公告)号:CN101069035A
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN200480044522.6
申请日:2004-11-30
Applicant: 喜开理株式会社
Inventor: 石原哲哉
CPC classification number: F16K27/003 , F16J15/062 , F16J15/104 , F16L23/22
Abstract: 一种用于化学阀(1)的连接密封结构,在化学阀中树脂歧管基部(3)和树脂阀组件(4)相互连接,该连接密封结构包括插设在基部(3)的连接部分(7)和阀组件(4)的连接部分(19)之间的H形树脂环(20)。基部(3)的连接部分(7)和H形环(20)的对应部分分别形成有以凹槽-凸脊关系相互接合的凹槽-凸脊线(21,22)。阀组件(4)的连接部分(19)和H形环(20)的对应部分分别形成有以凹槽-凸脊关系相互接合的凹槽-凸脊线(23,24)。凹槽-凸脊线(21,22)中的至少一个和凹槽-凸脊线(23,24)中的至少一个沿着每个凹槽-凸脊线(21至24)的壁厚方向设置有压配余量。
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公开(公告)号:CN1768392A
公开(公告)日:2006-05-03
申请号:CN200480008597.9
申请日:2004-06-25
CPC classification number: G03F7/70816 , B23Q1/38 , B23Q1/545 , F16C29/02 , F16C2322/39 , G12B5/00 , Y10T74/20341 , Y10T74/20348 , Y10T74/20354
Abstract: 一种支承单元,使得移动作业台装置中基台和作业台之间的连接变得容易。支承单元(Uα)具有一对平面轴承板(31a、31b),在两平面轴承板(31a、31b)的内侧分别配置了球面轴承板(34a、34b)。而且,夹在两球面轴承板(34a、34b)间而配置了球面轴(35)。并且,在平面轴承板(31a、31b)和球面轴承板(34a、34b)之间构成了平面轴承,在球面轴承板(34a、34b)和球面轴(35)之间构成了球面轴承,使得支承单元(Uα)对于5轴方向有一定的自由度。借助于该自由度的高度,就能在基台和作业台之间容易地连接支承单元(Uα)。
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公开(公告)号:CN113740005B
公开(公告)日:2024-02-20
申请号:CN202110564397.7
申请日:2021-05-24
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: G01M3/28
Abstract: 提供一种能够判断流体泄漏为内部泄漏还是外部泄漏的流体流路切换装置。流体流路切换装置具备:切换阀、供给流路、排出流路、供给侧流量传感器、排出侧流量传感器、压力传感器以及泄漏判断部。所述泄漏判断部执行判断有无内部泄漏的内部泄漏判断处理以及判断有无外部泄漏的外部泄漏判断处理。在压力传感器未检测出压力,且排出侧流量传感器未检测出流量的情况下,判断为没有内部泄漏。在压力传感器未检测出压力,且排出侧流量传感器检测出流量的情况下,判断为有内部泄漏。在外部泄漏判断处理中,在累计供给流量与累计排出流量相同的情况下判断为没有外部泄漏。在累计供给流量大于累计排出流量的情况下判断为有外部泄漏。
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公开(公告)号:CN111283706B
公开(公告)日:2023-05-09
申请号:CN201911126624.7
申请日:2019-11-18
Applicant: 喜开理株式会社
Inventor: 吉田正成
Abstract: 本发明提供把持装置,具备能彼此开闭地移动的一对把持构件、引导一对把持构件向开闭方向移动的引导构件以及具有使一对把持构件开闭的致动器的机体。引导构件具有:一对第1侧壁,在一对把持构件的开闭方向延伸,以夹住一对把持构件的一部分的方式向从机体分开的一侧突出,引导一对把持构件;以及一对第2侧壁,在一对把持构件的开闭方向延伸,以在机体的厚度方向夹住机体的一部分的方式向机体侧突出。一对第2侧壁与机体沿着厚度方向从一对第2侧壁的外侧被固定构件彼此固定。在机体与一对第2侧壁的内壁面之间存在厚度方向的间隙。把持装置具备贯通构件,贯通构件在厚度方向上贯通机体,具有与一对第2侧壁的内壁面之间的距离相同的长度。
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公开(公告)号:CN115523339A
公开(公告)日:2022-12-27
申请号:CN202210713769.2
申请日:2022-06-22
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 本发明提供电磁阀阀组,具备:多个阀门组件,在一方向上排列配置,各自具有在所述一方向上并排排列的多个电磁阀;从站,配置于一方向上的电磁阀阀组的一个端部;以及阀门驱动单元,与各阀门组件对应地设置。从站具有用于向阀门驱动单元输出控制信号和阀门驱动单元用电力的从站输出端口。各阀门驱动单元具有:电磁阀用电力输入端口,电磁阀用电力从外部输入到电磁阀用电力输入端口;以及电路基板,构成为根据控制信号对对应的阀门组件的各电磁阀的驱动进行控制,并且向各电磁阀输出电磁阀用电力。
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公开(公告)号:CN111660320B
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN202010140883.1
申请日:2020-03-03
Applicant: 喜开理株式会社
Abstract: 吸附缓冲装置具备壳体、驱动轴、从动轴、磁石及密封构件。磁石的互相对向的面以不同磁极被磁化,从而磁石为非接触且使轴向的磁极的重叠偏位,一面使欲复归的轴向的吸引力作用于该可动轴一面可于该轴向移动。从动轴的邻接于可动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部可抵接。于从动轴的前端部及密封构件的对向于从动轴的基端部的至少任一者,设置将密封构件的对向于从动轴的侧的外周与内周连通的连通道。
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