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公开(公告)号：CN101588506A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910141109.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN101567336A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200910132143.7
申请日：2009-04-21
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L21/82 , H01L21/768 , H01L27/146 , H04N5/335
CPC classification number: H01L27/14812 , H01L27/14831
Abstract: 本发明提供了固态成像装置和电子装置的制造方法。固态成像装置的制造方法包括如下步骤：在具有多个感光部分的基板上经由栅极绝缘层形成转移电极并露出感光部分；在基板上形成平坦化绝缘层以覆盖形成在基板上的转移电极；在平坦化绝缘层中形成开口，使得转移电极的每一个在预定的位置处部分地从平坦化绝缘层露出；形成配线材料层，使得开口填充有配线材料层；在配线材料层上形成抗蚀剂层；曝光和显影抗蚀剂层，使得只有在覆盖开口的预定区域中的抗蚀剂层被保留；以及采用曝光和显影的抗蚀剂层来图案化配线材料层以形成通过开口连接到转移电极的连接配线。
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公开(公告)号：CN101588506B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910141109.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN102244086A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110189004.5
申请日：2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , G02B5/20 , G03F7/00
CPC classification number: H01L27/14625 , G02B5/201 , G02B5/223 , H01L27/14621 , H01L27/14685
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有：排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片，该彩色滤光片包括：第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号：CN101567336B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200910132143.7
申请日：2009-04-21
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/148
CPC classification number: H01L27/14812 , H01L27/14831
Abstract: 本发明提供了固态成像装置和电子装置的制造方法。固态成像装置的制造方法包括如下步骤：在具有多个感光部分的基板上经由栅极绝缘层形成转移电极并露出感光部分；在基板上形成平坦化绝缘层以覆盖形成在基板上的转移电极；在平坦化绝缘层中形成开口，使得转移电极的每一个在预定的位置处部分地从平坦化绝缘层露出；形成配线材料层，使得开口填充有配线材料层；在配线材料层上形成抗蚀剂层；曝光和显影抗蚀剂层，使得只有在覆盖开口的预定区域中的抗蚀剂层被保留；以及采用曝光和显影的抗蚀剂层来图案化配线材料层以形成通过开口连接到转移电极的连接配线。
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