固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101425524A

    公开(公告)日:2009-05-06

    申请号:CN200810171023.3

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

    固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100499151C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200380109567.2

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

    固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN1745478A

    公开(公告)日:2006-03-08

    申请号:CN200380109567.2

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

    固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101425524B

    公开(公告)日:2011-03-09

    申请号:CN200810171023.3

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

    固态摄像器件
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1574378A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410055218.3

    申请日:2004-06-11

    Abstract: 本发明公开一种固态摄像器件(100),其中一波导(15)形成于光接收传感器部分(2)上的一绝缘层中,由通过CVD法沉积的Al膜制成的反射膜(17)覆盖波导(15)的侧壁(161),一衬层膜(19)形成于反射膜(17)和波导(15)的侧壁(161)之间,而衬层膜(19)由VIA族元素制成。从而能获得一种包括波导的固态摄像器件,它能抑制衬层膜(19)吸收提供给光接收传感器部分(2)的氢,并且其包含具有良好的表面状况、良好的覆盖度和优良的吸附力的高反射率的反射膜(17)。

    固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101540335B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN200910132130.X

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

    固态成像装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN101540335A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200910132130.X

    申请日:2003-12-12

    Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。

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