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公开(公告)号:CN101425524A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200810171023.3
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/822 , H04N5/225
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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公开(公告)号:CN100499151C
公开(公告)日:2009-06-10
申请号:CN200380109567.2
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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公开(公告)号:CN1745478A
公开(公告)日:2006-03-08
申请号:CN200380109567.2
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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公开(公告)号:CN101425524B
公开(公告)日:2011-03-09
申请号:CN200810171023.3
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L21/822 , H04N5/225
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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公开(公告)号:CN101588506A
公开(公告)日:2009-11-25
申请号:CN200910141109.6
申请日:2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有:排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片,该彩色滤光片包括:第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号:CN1574378A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410055218.3
申请日:2004-06-11
Applicant: 索尼株式会社
CPC classification number: H01L27/14629 , H01L27/14623 , H01L27/14625 , H01L27/14636 , H01L27/14656
Abstract: 本发明公开一种固态摄像器件(100),其中一波导(15)形成于光接收传感器部分(2)上的一绝缘层中,由通过CVD法沉积的Al膜制成的反射膜(17)覆盖波导(15)的侧壁(161),一衬层膜(19)形成于反射膜(17)和波导(15)的侧壁(161)之间,而衬层膜(19)由VIA族元素制成。从而能获得一种包括波导的固态摄像器件,它能抑制衬层膜(19)吸收提供给光接收传感器部分(2)的氢,并且其包含具有良好的表面状况、良好的覆盖度和优良的吸附力的高反射率的反射膜(17)。
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公开(公告)号:CN101540335B
公开(公告)日:2013-03-27
申请号:CN200910132130.X
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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公开(公告)号:CN101588506B
公开(公告)日:2012-05-30
申请号:CN200910141109.6
申请日:2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有:排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片,该彩色滤光片包括:第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号:CN102244086A
公开(公告)日:2011-11-16
申请号:CN201110189004.5
申请日:2009-05-22
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , G02B5/20 , G03F7/00
CPC classification number: H01L27/14625 , G02B5/201 , G02B5/223 , H01L27/14621 , H01L27/14685
Abstract: 本发明提供一种能够提高彩色滤光片的加工精度、抑制混色等的固体摄像装置及其制造方法以及电子设备。该固体摄像装置具有:排列了具有光电转换元件的多个像素的摄像区域以及彩色滤光片,该彩色滤光片包括:第一颜色滤光片成分(2G)、周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第二颜色滤光片成分(2R)及周围被第一颜色滤光片成分(2G)包围并通过自对准而形成的第三颜色滤光片成分(2B)。
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公开(公告)号:CN101540335A
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200910132130.X
申请日:2003-12-12
Applicant: 索尼株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L31/0232 , H01L21/82 , H01L21/311 , H01L21/31 , H01L21/3105 , H04N5/335
Abstract: 通过提高构成波导的光透射材料的嵌入性,提高了光会聚效率,并且确保了固态成像装置的可靠性。一种固态成像装置,包括:光接收单元(1),用于接收光以进行光电转换;波导(20),形成在绝缘膜5中并且由透明材料组成,其中绝缘膜5覆盖设置有光接收单元(1)的衬底,所述波导(20)构建来将入射光从外界导向光接收单元(1);其中,对波导(20)设置有前向楔形部分,在在该前向楔形部分中从入射光方向看,平面形状的大小从光入射一侧的表面向光接收单元减小。
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