固态成像装置和电子装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101567336B

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN200910132143.7

    申请日:2009-04-21

    CPC classification number: H01L27/14812 H01L27/14831

    Abstract: 本发明提供了固态成像装置和电子装置的制造方法。固态成像装置的制造方法包括如下步骤:在具有多个感光部分的基板上经由栅极绝缘层形成转移电极并露出感光部分;在基板上形成平坦化绝缘层以覆盖形成在基板上的转移电极;在平坦化绝缘层中形成开口,使得转移电极的每一个在预定的位置处部分地从平坦化绝缘层露出;形成配线材料层,使得开口填充有配线材料层;在配线材料层上形成抗蚀剂层;曝光和显影抗蚀剂层,使得只有在覆盖开口的预定区域中的抗蚀剂层被保留;以及采用曝光和显影的抗蚀剂层来图案化配线材料层以形成通过开口连接到转移电极的连接配线。

    固体摄像装置、照相机以及制造固体摄像装置的方法

    公开(公告)号:CN101729797B

    公开(公告)日:2012-11-14

    申请号:CN200910179871.3

    申请日:2009-10-16

    Abstract: 本发明提供了一种固体摄像装置、照相机以及制造该固体摄像装置的方法。该固体摄像装置包括:多个光电转换单元,被构造成由在其光接收面上接收的光生成信号电荷,多个光电转换单元设置在基板的图像传感区域中;电荷读取单元,被构造成读取由光电转换单元生成的信号电荷,其电荷读出沟道区域设置在基板的图像传感区域中;转移寄存器单元,被构造成转移通过电荷读取单元从多个光电转换单元读取的信号电荷,其电荷转移沟道区域设置在基板的图像传感区域中;以及遮光单元,设置在基板的图像传感区域中,并且具有在对应于各个光电转换单元的光接收面的区域中形成的通过其传输光的开口。

    固体摄像装置、照相机以及制造固体摄像装置的方法

    公开(公告)号:CN101729797A

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200910179871.3

    申请日:2009-10-16

    Abstract: 本发明提供了一种固体摄像装置、照相机以及制造该固体摄像装置的方法。该固体摄像装置包括:多个光电转换单元,被构造成由在其光接收面上接收的光生成信号电荷,多个光电转换单元设置在基板的图像传感区域中;电荷读取单元,被构造成读取由光电转换单元生成的信号电荷,其电荷读出沟道区域设置在基板的图像传感区域中;转移寄存器单元,被构造成转移通过电荷读取单元从多个光电转换单元读取的信号电荷,其电荷转移沟道区域设置在基板的图像传感区域中;以及遮光单元,设置在基板的图像传感区域中,并且具有在对应于各个光电转换单元的光接收面的区域中形成的通过其传输光的开口。

    固态成像装置和电子装置的制造方法

    公开(公告)号:CN101567336A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200910132143.7

    申请日:2009-04-21

    CPC classification number: H01L27/14812 H01L27/14831

    Abstract: 本发明提供了固态成像装置和电子装置的制造方法。固态成像装置的制造方法包括如下步骤:在具有多个感光部分的基板上经由栅极绝缘层形成转移电极并露出感光部分;在基板上形成平坦化绝缘层以覆盖形成在基板上的转移电极;在平坦化绝缘层中形成开口,使得转移电极的每一个在预定的位置处部分地从平坦化绝缘层露出;形成配线材料层,使得开口填充有配线材料层;在配线材料层上形成抗蚀剂层;曝光和显影抗蚀剂层,使得只有在覆盖开口的预定区域中的抗蚀剂层被保留;以及采用曝光和显影的抗蚀剂层来图案化配线材料层以形成通过开口连接到转移电极的连接配线。

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