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公开(公告)号：CN100380166C
公开(公告)日：2008-04-09
申请号：CN200510053062.X
申请日：2005-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村田昭浩
CPC classification number: G02B26/001
Abstract: 本发明提供一种不用对牺牲层进行底部蚀刻而可以简便地精度优良地形成光学间隙的光调制器。光调制器(1)具备：设有底部成为可动部(109)的第一凹部(103)并在可动部(109)上形成有可动反射膜(105)的第一基板(100)、和在与第一凹部(103)相面对的位置上设有直径小于第一凹部(103)的直径的第二凹部(203)并在第二凹部(203)的底部形成有固定反射膜(207)的第二基板(200)，第一凹部(103)的深度决定可动反射膜(105)的可动范围，由可动反射膜(105)和固定反射膜(207)的间隔决定光学间隙(X)，可动反射膜(105)位于可动部(109)的与第二凹部(203)相对的面上。
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公开(公告)号：CN101149475A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200710152846.7
申请日：2007-09-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/085 , Y10T74/1526
Abstract: 本发明提供一种能实现小型化、而且能进行弹簧常数的微调整的执行器件、光扫描仪以及图像形成装置。本发明的执行器件(1)包括：质量部(21)；支撑部(24、25)；弹性部(22、23)；驱动单元(4)；和半导体电路(52)，其用于使质量部(21)工作以及/或者检测质量部(21)的动作。通过使驱动单元(4)工作，由此使质量部(21)转动，弹性部(22、23)具有：硅部(221、231)，其以硅为主材料而构成；和树脂部(222、232)，其与该硅部接合并以树脂材料为主材料而构成。支撑部(24、25)具备硅部(241、251)，该硅部与弹性部(22、23)的硅部(221、231)连接并以硅为主材料而构成，半导体电路(52)设置于支撑部(24)的硅部(241)。
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公开(公告)号：CN1291480C
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：CN03159856.0
申请日：2003-09-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村田昭浩
IPC: H01L21/822 , H01L21/28 , H01L21/768 , H01L21/60 , H01L27/04
CPC classification number: H01L24/12 , H01L21/32051 , H01L21/76804 , H01L23/3114 , H01L23/5227 , H01L24/11 , H01L2224/0231 , H01L2224/0401 , H01L2224/10126 , H01L2224/11334 , H01L2224/13022 , H01L2224/13099 , H01L2924/01004 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01022 , H01L2924/01023 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01056 , H01L2924/01057 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/12042 , H01L2924/19041 , H01L2924/19042 , H01L2924/30105 , H01L2924/30107 , H01L2924/3011 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体装置的制造方法，包括：在晶片上以使其避开形成有电极的晶片的电极的至少一部分的状态形成应力缓和层的工序；形成由从电极被设置到应力缓和层上的布线构成的布线层的工序；在应力缓和层的上方形成与布线层的布线连接的外部电极的工序，其主要特征是，包括：在形成布线层的工序之后，在布线中的连接外部电极的部分上，通过采用喷墨法涂敷介电性液体而形成电介质层的工序。由此可在半导体装置上形成电容器。
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公开(公告)号：CN1289927C
公开(公告)日：2006-12-13
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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公开(公告)号：CN1193253C
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN01122083.X
申请日：2001-04-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村田昭浩
IPC: G02B6/42
CPC classification number: H01L21/568 , G02B6/4201 , G02B6/421 , G02B6/4242 , G02B6/4253 , G02B6/4255 , G02B6/4274 , H01L21/6835 , H01L23/3128 , H01L23/49861 , H01L24/45 , H01L24/48 , H01L24/49 , H01L24/73 , H01L24/91 , H01L2224/05599 , H01L2224/32145 , H01L2224/45124 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/49109 , H01L2224/85399 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/09701 , H01L2924/10253 , H01L2924/12042 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/19041 , H01L2924/30105 , H01L2924/00 , H01L2224/45015 , H01L2924/207
Abstract: 提供不形成因布线引起凸起的平台和光模块及其制造方法和光传输装置。平台的制造方法包括步骤：将布线20、22附着并设置于模型10的第一和第二区域12、14，将光纤30前端面朝向模型10地配置，以成型材料40封装光纤30和布线20、22，与光纤30同时将布线20、22和成型材料40从模型10剥离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100397127C
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN99801757.4
申请日：1999-08-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01S5/02216 , G02B6/4201 , G02B6/4202 , G02B6/4212 , G02B6/4239 , G02B6/4249 , G02B6/4251 , G02B6/4255 , G02B6/4269 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01S5/02228 , H01S5/02244 , H01S5/02248 , H01S5/02284 , H01S5/183 , H01S5/423 , H01L2924/00014
Abstract: 把面发光激光器(14)配置成使面发光激光器(14)的半导体基板的侧面(15)面对安装基板(12)的平面(13)。由此，从半导体激光器(14)射出的光(44)的行进方向成为沿安装基板(12)的平面(13)的方向。从而，能够把光纤(16)配置为沿安装基板(12)的平面(13)的方向。由此，能够使光模块(10)薄型化。
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公开(公告)号：CN101051096A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200410079178.6
申请日：2004-09-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01P1/20381
Abstract: 一种光学可调滤光器，包括：第一衬底，其具有光传输特性，并包括可动部分；第二衬底，其具有光传输特性，并设置为与第一衬底相对；第一间隙和第二间隙，它们分别设置在可动部分和第二衬底之间；干涉部分，其通过第二间隙引起可动部分和第二衬底之间的入射光的干涉；以及驱动部分，用于利用第一间隙通过相对于第二衬底移动可动部分来改变第二间隙的距离。这使得有可能提供一种具有简单结构和较小尺寸的光学可调滤光器，这样的光学可调滤光器可通过简化的制造过程进行制造而不使用释放孔，并能实现可动部分的稳定驱动，以及一种用于制造这样的光学可调滤光器的方法。
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公开(公告)号：CN1303449C
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200410011886.6
申请日：2004-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村田昭浩
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0256 , G01N21/31 , G02B26/001
Abstract: 一种分析器，包括光学可调过滤器(1)和接收从所述光学可调过滤器(1)输出并通过被测量物体或由被测量物体反射的光的PD(421)。光学可调过滤器(1)包括具有透光性的可移动部分(31)的第一衬底(3)；与第一衬底相对设置的透光性的第二衬底(2)；分别设置在第一衬底(3)的可移动部分(31)和第二衬底(2)之间的第一间隙(21)和第二间隙(22)；干涉部分，其与进入光学可调过滤器(1)并且具有预定波长的光在可移动部分和第二衬底(2)之间通过第二间隙(22)干涉；以及驱动部分，驱动部分用于通过相对于第二衬底(2)利用第一间隙(21)移动可移动部分(31)而改变第二间隙(22)的距离。
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公开(公告)号：CN1268030C
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：CN03136277.X
申请日：2003-05-15
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 村田昭浩
IPC: H01P1/15
Abstract: 本发明提供一种高频开关的制造方法和高频开关。本发明在基板上形成由多个布线图形(21a、21b、22a～22c)等构成的作为一种滤波电路的BPF(20)，同时将阻抗控制棒(26)设置成进退自如的状态，使其以非接触方式对BPF(20)的布线(21a、21b、22a～22c)等的特性产生干扰。对特性的干扰就是阻止频率通过BPF(20)。通过允许频率通过和阻止频率通过来实现开关动作。由此，提高可靠性和降低成本，并且可提高在高频中的开关极限。
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公开(公告)号：CN1624500A
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：CN200410098255.2
申请日：2004-12-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明提供波长可变滤波器及波长可变滤波器的制造方法，所述波长可变滤波器具备：具有光透过性并且具有可动部(31)和可以位移地支撑可动部的支撑部(32)的第1基板(3)、具有光透过性并且与第1基板(3)相面对的第2基板(2)、设于可动部和第2基板之间的第1间隙(21)及第2间隙(22)、在可动部和第2基板之间夹隔第2间隙产生干涉的干涉部、通过利用第1间隙使可动部相对于第2基板(2)位移来改变第2间隙的间隔的驱动部(1)，其特征是，支撑部的厚度比可动部的厚度薄。利用该波长可变滤波器可以用低电压实现可动部的稳定的驱动，使构造、制造工序简单化，实现小型化。
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