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公开(公告)号：CN1609683A
公开(公告)日：2005-04-27
申请号：CN200410075162.8
申请日：2004-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/133 , G03B21/00
CPC classification number: G02F1/13378 , G02F1/133734 , Y10T428/1009
Abstract: 一种无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板、液晶面板和电子仪器，所述无机取向膜的形成方法，是在基材上形成主要由无机材料构成的无机取向膜的方法，其特征在于，包括：研磨工序，对基材的形成无机取向膜的面，从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向照射离子束；成膜工序，在照射了离子束的基材上形成无机取向膜。研磨工序中预定角度θb是2度以上。研磨工序中照射离子束时的离子束的加速电压是400～1400V。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。
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公开(公告)号：CN1595263A
公开(公告)日：2005-03-16
申请号：CN200410068347.6
申请日：2004-08-31
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337 , G02F1/13 , G03B21/00 , G02B27/18
CPC classification number: C23C14/10 , C23C14/5833 , G02F1/133734 , G02F1/13378 , G02F2001/133792 , G02F2202/09 , Y10T428/1009
Abstract: 提供一种耐光性优良而且能够使之产生预倾角的无机取向膜，具备这种无机取向膜的电子器件用基板，液晶面板和电子仪器。而且提供一种该无机取向膜的形成方法。本发明的无机取向膜的形成方法，是在基体材料上形成无机取向膜的方法，其特征在于，其中具有在基体材料上形成主要由无机材料构成膜的成膜工序，和从相对于所述膜的表面垂直方向仅以所定角度θb倾斜的方向，对所述膜表面照射离子束的研磨工序。在研磨工序中对所述膜照射所述离子束，使所述膜上形成具有所定方向性的凹部。在研磨工序中所定的角度θb为2°以上。
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公开(公告)号：CN110724917A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201910963833.0
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体。所述振动片具有：基部；以及从所述基部沿第1方向延伸并沿与所述第1方向垂直的第2方向排列的多个振动臂，所述振动臂具有设置在沿所述第1方向以及所述第2方向的第1面上的激励电极，所述激励电极具有：配置在所述第1面侧的第1电极；配置在所述第1电极的与所述第1面侧相反的一侧的第2电极；以及配置在所述第1电极与所述第2电极之间的压电膜，所述压电膜是在晶界中含有Cu的氮化铝膜，所述第2电极由含有TiN的材料形成。
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公开(公告)号：CN104333338A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410347246.6
申请日：2014-07-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 压电膜制造方法、振动片、振子、振荡器、设备和移动体。与现有的制造方法相比，能够提高作为压电膜的功能，并且能够通过抑制应力迁移来提高压电膜的可靠性。压电膜制造方法包括以下工序：在N2气体和Ar气体的混合气氛中，将Al-Cu合金(52)作为成膜材料，使用溅射法形成压电体(13)。
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公开(公告)号：CN1328251A
公开(公告)日：2001-12-26
申请号：CN01120877.5
申请日：2001-06-05
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01J5/04 , G01J5/02 , G01J5/021 , G01J5/0225 , G01J5/045 , G01J5/048 , G01J5/049 , G01J5/08 , G01J5/0806 , G01J5/0818 , G01J5/12 , G01J5/16 , G01J2005/068
Abstract: 本发明的红外线检测元件,具有:基座,备有薄膜部及配置在该薄膜部周围的厚壁部;及热电堆,将形成为使冷接点位于厚壁部的上部并使热接点位于薄膜部的上部的多个热电偶串联连接,在该红外线检测元件中,设置与厚壁部接触的热敏部,从而当根据热电堆的输出求取温度时可以利用精度高的基准温度。通过将在半导体基板上形成的PN结用作热敏部,能以低成本提供高性能的小型红外线检测元件。
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公开(公告)号：CN119727655A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411332290.X
申请日：2024-09-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片和振动器件，确保电极的密合性，并且振动特性优异。振动片具有：基板，其由石英构成；以及电极，其配置于基板的表面，电极包含上电极层和配置于基板与上电极层之间的基底电极层，在俯视观察时，电极包含第一区域(21)，在该第一区域(21)中，基底电极层呈岛状散布，并且每单位面积的基底电极层的面积比率为10％以上且小于50％。
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公开(公告)号：CN1324371C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410075178.9
申请日：2004-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/13378 , G02F1/133723 , G02F2001/133776 , G02F2001/133792 , Y10T428/1009
Abstract: 一种无机取向膜、具有这种无机取向膜的电子设备用基板、液晶面板和电子仪器、以及这种无机取向膜的形成方法，本发明的无机取向膜的形成方法，是在基材上形成无机取向膜的方法，其特征在于，包括：第一研磨工序，对基材的形成了无机取向膜的面，从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θa的方向照射离子束；成膜工序，在照射了离子束的基材上形成主要由无机材料构成的膜；第二研磨工序，从相对该表面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向向所述膜的表面照射离子束。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。
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公开(公告)号：CN1324370C
公开(公告)日：2007-07-04
申请号：CN200410075162.8
申请日：2004-09-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G02F1/1337
CPC classification number: G02F1/13378 , G02F1/133734 , Y10T428/1009
Abstract: 一种无机取向膜的形成方法、无机取向膜、电子设备用基板、液晶面板和电子仪器，所述无机取向膜的形成方法，是在基材上形成主要由无机材料构成的无机取向膜的方法，其特征在于，包括：研磨工序，对基材的形成无机取向膜的面，从相对该面的垂直方向仅倾斜了预定的角度θb的方向照射离子束；成膜工序，在照射了离子束的基材上形成无机取向膜。研磨工序中预定角度θb是2度以上。研磨工序中照射离子束时的离子束的加速电压是400～1400V。根据本发明提供耐光性好、且可产生预倾角的无机取向膜。
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公开(公告)号：CN1130824C
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：CN99801792.2
申请日：1999-10-12
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 弹性表面波元件1具有：由石英构成的基板2；由铝层构成的一对梳齿型电极3；电极连接端4；以及由与电极3为相同材料构成的一对栅格状反射器5。在构成电极3的铝层中，其结晶结构形成双晶结构，把铝的(-11-1)面及(1-11)面作为双晶的晶粒界，(-111)面及(002)面的晶粒、与(1-1-1)面及(00-2)面的晶粒处于双晶关系。此外，铝层的{111}面对构成基板2的石英的{010}面倾斜8°来取向。
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公开(公告)号：CN104242858A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410270270.4
申请日：2014-06-17
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03B5/32 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供振动元件、振子、振荡器、电子设备以及移动体，能够降低安装到对象物的状态下的固定部件彼此间的接触。振动元件(2)包含：基部(4)；一对振动臂(5、6)，它们与基部(4)设置为一体，从基部(4)的前端沿Y轴方向延伸；以及保持臂(7)，其与基部(4)设置为一体，位于振动臂(5、6)之间，从基部(4)的前端沿Y轴方向延伸，在基部(4)的一个主面上设置有第1固定部(R1)，在保持臂(7)的一个主面上设置有第2固定部(R2)，第1固定部(R1)以及第2固定部(R2)借助于固定部件固定在对象物上。
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