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公开(公告)号:CN111130494B
公开(公告)日:2023-11-07
申请号:CN201911325428.2
申请日:2015-05-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供电子器件、电子设备和移动体。电子器件具备:振动基板,其具备振动片和框部,其中,该振动片具备基部和从所述基部延伸的振动臂,该框部连接于所述基部并且在俯视时包围所述振动片;基础部,其支承所述框部,并且在俯视时呈矩形;端子部,其在俯视时沿着与所述振动臂延伸的方向交叉的方向而与所述振动片并排;以及盖体部,其具有比所述基础部小的外形;在俯视时,所述振动臂延伸的方向相对于所述基础部的所述矩形的边延伸的方向倾斜,所述盖体部在俯视时与所述振动片重叠,且构成为使所述端子部露出。
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公开(公告)号:CN111865259B
公开(公告)日:2023-06-02
申请号:CN202010330386.8
申请日:2020-04-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。振动器件具有:基座基板,其由硅构成,具有第1面以及与所述第1面相反的一侧的第2面;盖体,其与所述基座基板接合;振动元件,其配置于所述基座基板的所述第1面,并被收纳于所述基座基板与所述盖体之间;以及热敏电阻元件,其配置于所述基座基板。
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公开(公告)号:CN112152586A
公开(公告)日:2020-12-29
申请号:CN202010585481.2
申请日:2020-06-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动片、电子设备以及移动体,振动片(1)包含:基部(10);臂(11),其与基部(10)连续;第1电极(13),其配置于臂(11),包含作为氮化钛的第1层(13a)和含有氮、钛以及氧的第2层(13b);氮化铝层(14),其与第2层(13b)接触;以及第2电极(15),其配置于氮化铝层(14)。
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公开(公告)号:CN104300935A
公开(公告)日:2015-01-21
申请号:CN201410344675.8
申请日:2014-07-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/17 , H01L41/0472 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/094 , H03B5/32 , H03H9/1014 , H03H9/21
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体,能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于,其具有:基部(10);从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c);设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1);设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2);配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13);以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14),第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN,绝缘膜(14)的材料中含有SiO2,压电体(13)的材料中含有AlN。
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公开(公告)号:CN102629860A
公开(公告)日:2012-08-08
申请号:CN201210020835.4
申请日:2012-01-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山崎隆
CPC classification number: H03H9/1021 , H03H9/0547 , H03H9/215
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备,振动片具有在厚度方向上振动的振动臂,且能够维持Q值。石英振动片(1)具有:基部(10);从基部(10)起在Y轴方向上延伸的3根振动臂(11a、11b、11c),振动臂(11a、11b、11c)排列在与Y轴方向垂直的X轴方向上,在沿着由Y轴方向和X轴方向确定的平面的主面(10a)上具有激励电极(12a、12b、12c),且在与主面(10a)垂直的Z轴方向上振动,在设振动臂内的、位于排列的中央的振动臂(11b)的X轴方向臂宽为W1、振动臂(11a、11c)的X轴方向臂宽为W、振动臂(11b)的激励电极(12b)的X轴方向电极宽度为A1、振动臂(11a、11c)的激励电极(12a、12c)的X轴方向电极宽度为A时,1.35<W1/W<1.90且1.35<A1/A<1.90。
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公开(公告)号:CN102197592A
公开(公告)日:2011-09-21
申请号:CN200980142077.X
申请日:2009-10-22
Applicant: 精工爱普生株式会社 , 爱普生拓优科梦株式会社
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0547 , H03H9/1021 , H03H9/19 , H03H9/215
Abstract: 本发明抑制起因于热弹性效应的Q值劣化。第1槽部(15)的第1深度(d1)和第2槽部(16)的第2深度(d2)小于包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间的距离,因而第1槽部(15)和第2槽部(16)不会贯通包括第3面(13)的面与包括第4面(14)的面之间。并且,第1槽部(15)的第1深度(d1)与第2槽部(16)的第2深度(d2)之和大于第3面(13)与第4面(14)之间的距离,因而第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径不会形成为直线。这样,能够使第1伸缩部(17)(第1面(11))与第2伸缩部(18)(第2面(12))之间的热移动路径在第1槽部(15)和第2槽部(16)中迂回而变长。
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公开(公告)号:CN1652461A
公开(公告)日:2005-08-10
申请号:CN200410102254.0
申请日:2004-12-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H3/08 , H03H9/02551 , H03H9/14547 , H03H9/14594
Abstract: 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°~135°、±(40°~49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、φ°)时,PFA=0.374(θ°-90°)-10.0°。由此,可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。
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公开(公告)号:CN110071701B
公开(公告)日:2023-06-30
申请号:CN201910052463.5
申请日:2019-01-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02 , H03H9/13 , G01C19/5663 , G01C19/5628 , G01C19/5621 , G01C19/5656
Abstract: 提供振动元件及其制造方法、物理量传感器、惯性计测装置。该振动元件的特征在于,具有:基部;振动臂,所述振动臂从所述基部起延伸,具有臂部和施重部;以及施重膜,所述施重膜配置在所述施重部上,所述施重部具有处于正反关系的第1主面和第2主面,所述施重部的重心位于比所述臂部的厚度方向的中心面靠所述第1主面侧的位置,所述施重膜的重心位于比所述中心面靠所述第2主面侧的位置。
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公开(公告)号:CN104300935B
公开(公告)日:2018-12-14
申请号:CN201410344675.8
申请日:2014-07-18
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体,能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于,其具有:基部(10);从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c);设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1);设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2);配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13);以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14),第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN,绝缘膜(14)的材料中含有SiO2,压电体(13)的材料中含有AlN。
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公开(公告)号:CN108768339A
公开(公告)日:2018-11-06
申请号:CN201810598432.5
申请日:2014-02-20
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 山崎隆
CPC classification number: H03H9/21 , H03H9/0542 , H03H9/0547
Abstract: 本发明提供振动片、振子、电子器件、电子设备以及移动体。该振动片具有:基部,其设置于平面上,该平面包含第1轴和垂直于所述第1轴的第2轴;连接部,其厚度比所述基部的厚度小,从所述基部起沿着所述第1轴延伸设置;以及振动臂,其从所述连接部的一端起沿着所述第1轴延伸设置,所述振动臂相对于所述平面沿着垂直方向进行弯曲振动,所述连接部被设置成:所述连接部在所述第1轴的方向上的长度L2与所述振动臂在所述第1轴的方向上的长度L1之间的关系处于L1/15≤L2≤L1的范围内。
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