公开(公告)号：CN104300935B

公开(公告)日：2018-12-14

申请号：CN201410344675.8

申请日：2014-07-18

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 山崎隆 ,  蝦名昭彦 ,  田端强诗 ,  柳泽秀和

IPC分类号： H03H9/19 ,  H03H9/02

摘要： 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体，能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于，其具有：基部(10)；从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c)；设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1)；设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2)；配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13)；以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14)，第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN，绝缘膜(14)的材料中含有SiO2，压电体(13)的材料中含有AlN。

公开(公告)号：CN104300935A

公开(公告)日：2015-01-21

申请号：CN201410344675.8

申请日：2014-07-18

申请人： 精工爱普生株式会社

发明人： 山崎隆 ,  蝦名昭彦 ,  田端强诗 ,  柳泽秀和

IPC分类号： H03H9/19 ,  H03H9/02

CPC分类号： H03H9/17 ,  H01L41/0472 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/0478 ,  H01L41/094 ,  H03B5/32 ,  H03H9/1014 ,  H03H9/21

摘要： 本发明提供振动片、振子、振荡器、电子设备和移动体，能够进一步提高压电体的取向性。振动片(1)的特征在于，其具有：基部(10)；从基部(10)延伸的振动臂(11a、11b、11c)；设置在振动臂(11a、11b、11c)上的第1电极(12a1、12b1、12c1)；设置在第1电极(12a1、12b1、12c1)的上方的第2电极(12a2、12b2、12c2)；配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与第2电极(12a2、12b2、12c2)之间的压电体(13)；以及配置在第1电极(12a1、12b1、12c1)与压电体(13)之间的绝缘膜(14)，第1电极(12a1、12b1、12c1)的材料中含有TiN，绝缘膜(14)的材料中含有SiO2，压电体(13)的材料中含有AlN。