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    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器
    2.
    发明公开
    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器 失效 转让

    公开(公告)号：CN101847978A

    公开(公告)日：2010-09-29

    申请号：CN201010148319.0

    申请日：2010-03-25

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

    发明人： 古畑诚 ,  山田明法 ,  浜山裕史

    IPC分类号： H03H9/21

    CPC分类号： H03H9/215

    摘要： 本发明提供抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。在由基部(52)和从基部(52)一端侧延伸出的一对振动臂(53、54)构成的音叉型石英振动片(50)中，在包括各振动臂(53、54)的与基部(52)相连的根部附近区域形成激励电极(36A、37A)。振动臂(53、54)沿图中箭头(G)的方向弯曲振动时压缩或拉伸应力作用的第1区域(110、112)和第2区域(111、113)热连接。振动臂(53、54)各自的热传导路径的条数设为m、热传导路径的热阻率设为ρth、振动臂(53、54)热阻率设为ρV、与振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tv、热传导路径的振动臂(53、54)的振动方向正交的方向的厚度设为tth时，满足tth≥(1/m)×tv×(ρth/ρv)的关系。

    弯曲振动片
    3.
    发明公开
    弯曲振动片 失效 转让

    公开(公告)号：CN101877575A

    公开(公告)日：2010-11-03

    申请号：CN201010170631.X

    申请日：2010-04-30

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

    发明人： 山崎隆 ,  古畑诚

    IPC分类号： H03H9/21

    CPC分类号： H03H9/215 ,  H03H9/19

    摘要： 一种弯曲振动片，能够消除弯曲振动片的振动泄漏，提高Q值，改善CI值，促进小型化以及薄型化。在弯曲振动片中，从基部延伸的振动臂具有在彼此相对的第1以及第2主面上沿着振动臂的长度方向形成的第1以及第2槽部。第1槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于振动臂长度方向的中心线交替错开地配置在中心线两侧的多个第1槽部分构成，第2槽部由沿着振动臂的长度方向分割而成的、相对于中心线交替错开地配置在中心线两侧且相对于中心线配置在各第1槽部分的相反侧的多个第2槽部分构成。当对第1以及第2槽部的第1激励电极和振动臂两侧面的第2激励电极施加交流电压时，振动臂在第1或第2主面的面内方向上弯曲振动。

    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器
    5.
    发明公开
    弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器 失效 转让

    公开(公告)号：CN101847979A

    公开(公告)日：2010-09-29

    申请号：CN201010148347.2

    申请日：2010-03-25

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社 ,  精工爱普生株式会社

    发明人： 古畑诚 ,  山崎隆 ,  浜山裕史

    IPC分类号： H03H9/21

    CPC分类号： H03H9/215 ,  H03H9/02102 ,  H03H9/02133

    摘要： 本发明提供一种抑制了Q值降低的小型弯曲振动片及利用该弯曲振动片的振荡器。该音叉型石英振动片(50)由基部(52)和从该基部(52)的一端侧分叉出两支并彼此平行地延伸的一对振动臂(53、54)构成。在各振动臂(53、54)形成有激励电极(36A、37A)，在基部(52)设置了分别与激励电极(36A、37A)相对应的外部连接电极(66、67)。另外，在振动臂(53)的与基部(52)相连的根部附近的基部(52)上设置有由热传导率高的材料形成的热传导路径(57)，该热传导路径(57)被连接于侧面电极(26A、26B)，该侧面电极(26A、26B)分别设置在与振动臂(53)的形成有激励电极(36A)的主面正交的两侧面。从而，图中箭头所示的振动臂(53)的弯曲振动方向的成为与基部(52)相连的根部的第1区域(110)和第2区域(111)通过热传导路径(57)被热连接。

    振动片的制造方法和振子的制造方法
    6.
    发明公开
    振动片的制造方法和振子的制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN101488731A

    公开(公告)日：2009-07-22

    申请号：CN200910001307.2

    申请日：2009-01-04

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社

    发明人： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

    IPC分类号： H03H3/04

    CPC分类号： H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

    摘要： 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

    振动片的制造方法和振子的制造方法
    7.
    发明公开
    振动片的制造方法和振子的制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN102006024A

    公开(公告)日：2011-04-06

    申请号：CN201010597294.2

    申请日：2009-01-04

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社

    发明人： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

    IPC分类号： H03H3/02

    CPC分类号： H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

    摘要： 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。

    振动片的制造方法和振子的制造方法
    8.
    发明授权
    振动片的制造方法和振子的制造方法 失效 转让

    公开(公告)号：CN101488731B

    公开(公告)日：2011-10-05

    申请号：CN200910001307.2

    申请日：2009-01-04

    申请人： 爱普生拓优科梦株式会社

    发明人： 山崎隆 ,  舩坂司 ,  舟川刚夫 ,  古畑诚

    IPC分类号： H03H3/04

    CPC分类号： H03H9/1021 ,  H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49155 ,  Y10T29/49574

    摘要： 本发明涉及一种振动片的制造方法和振子的制造方法。在该振动片和振子的制造方法中准备支撑体(10)，该支撑体(10)具有彼此背向相对来确定厚度的第一及第二表面(12、14)，并包括基部(16)和从基部(16)并排延伸且与厚度方向正交的多个臂部(18)。支撑体(10)构成为：在多个臂部(18)各自的第一表面(12)上形成有下部电极膜(20)，在下部电极膜(20)上形成有压电膜(22)，在压电膜(22)上形成有上部电极膜(26)，多个臂部(18)各自的至少一部分在第二表面(14)具有露出区域(30)。对第二表面(14)的露出区域(30)进行蚀刻。通过蚀刻降低厚度，使多个臂部(18)容易沿厚度方向弯曲。