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公开(公告)号：CN113604857B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110798790.2
申请日：2021-07-15
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微纳器件制造技术领域，公开了一种纳米电镀超快激光强化及原位在线监测装置，包括工控台、超快激光器、光谱仪、激光探头、全息照相机、脉冲发生器、质谱仪和光路系统；激光探头、全息照相机和脉冲发生器均设置在微纳器件阴极靶的附近区域内；工控机分别与超快激光器、光谱仪、脉冲发生器、质谱仪和脉冲电镀电源连接；全息照相机与光谱仪连接。本发明能够对激光电镀进行原位在线监测。
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公开(公告)号：CN114566482A
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN202210459223.9
申请日：2022-04-28
Applicant: 武汉大学
IPC: H01L23/498 , H01L21/48 , H01L21/52 , H01L23/49 , H01L21/60
Abstract: 本发明公开一种三维扇出封装结构及其制备方法，通过在载板上挖槽，在凹槽及四其周制备金属布线层，然后贴装芯粒，通过金属布线层将芯粒的部分引脚引出到载板正面，塑封后，在塑封层制备导电柱将该部分引脚导出，之后在塑封层制备第一再布线层和第一介质层，完成正面封装；之后对载板背面减薄至金属布线层，露出芯粒的另一部分引脚后制备第二再布线层和第二介电层，完成双面扇出的扇出封装单元制备，将扇出封装单元根据需要堆叠后采用焊球连接，得到三维扇出封装结构。本发明通过双面扇出的扇出封装单元可以有效减少互连距离，便于三维堆叠，在电互连性能上具有很大的优势，其损耗更小，效率更高，大大减少封装工艺难度和降低封装成本。
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公开(公告)号：CN111195783B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202010031698.9
申请日：2020-01-13
Applicant: 武汉大学
IPC: B23K26/382 , B23K26/146 , B23K26/14 , B23K26/03 , B23K26/70
Abstract: 一种复合材料厚板超快激光‑水射流辅助机械耦合打群孔加工装备，包括喷射切割头和激光探头，喷射切割头和激光探头安装在耦合装置上，耦合装置安装在调整装置上；调整装置连接有水射流辅助机械切削系统以及光学系统，水射流辅助机械切削系统连接有CNC数控加工中心，CNC数控加工中心连接工控机，光学系统连接工控机；工控机还连接有光谱仪，光谱仪连接有全息照相机，全系照相机实时摄取被加工处孔洞的光学信息；本装备还包括脉冲发生器，脉冲发生器发出应力波进入加工处孔洞内部以检测打孔情况，所示全息照相机上还安装有应力波传感器，工控机内安装有接收应力波传感器信号的检波器。本发明还包括一种利用上述装备进行打孔的方法。
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公开(公告)号：CN111206227A
公开(公告)日：2020-05-29
申请号：CN202010128343.1
申请日：2020-02-28
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于薄膜生长技术领域，公开了一种热蒸发物理气相沉积系统及其使用方法，系统包括：真空组件、在线监测组件；真空组件包括真空镀膜腔，真空镀膜腔中设置有坩埚；在线监测组件包括质谱仪、纳米压痕仪；质谱仪用于对蒸发的气体成分进行实时监测；纳米压痕仪用于对镀膜与衬底之间的粘合强度进行实时监测。本发明具有多维度质量检测功能，可以显著提高PVD中生长样品的良品率，节约成本。
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公开(公告)号：CN108304510A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810055033.4
申请日：2018-01-19
Applicant: 武汉大学
IPC: G06F17/30
Abstract: 本发明公开一种公共地图服务用户城市访问行为与POI类型关联规则的提取方法，包括采集公共地图服务长期运行中产生的访问日志，构建群体用户访问到达率时间序列，提取用户访问长期模式；进行时间序列最优分割，得到用户访问短期模式；获取用户访问行为的空间特征做空间分析；利用POI描述城市空间结构，将公共地图服务用户的访问行为映射到POI，取各POI类型与用户访问模式的关联规则表。本发明挖掘公共地图服务的海量日志数据，提取长时间粒度和短时间粒度用户访问模式及与城市结构的相关性，定量获取城市POI类型与用户访问模式间的关联规则，有助于深刻理解人类行为与城市内在结构间的关联，为城市资源配置、规划管理提供决策支持。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116384099A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310328609.0
申请日：2023-03-27
Applicant: 武汉大学
IPC: G06F30/20 , G06F113/26 , G06F119/02 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种Cu互连中介质材料的分子动力学仿真方法。根据分子动力学理论，使用熔化‑冷却法建立互连介质材料SiCOH分子动力学模型，利用结构及介电性能验证模型的可行性，在此基础上计算电、热、力学性能及与相邻互连结构的断裂力学性能，得到互连介质材料的最优性能组合，结果反馈调节以指导材料设计。本发明通过分子动力学仿真，建立电介质材料SiCOH性能的仿真模型，得到针对封装结构及产品的最优性能的参数组合，减少试验及生产试错成本，从而指导设计高性能、高可靠性的超大规模集成电路后道工艺互连材料及结构。
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公开(公告)号：CN116377569A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310249427.4
申请日：2023-03-15
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本申请公开了具有多种在线原位监测功能的脉冲激光沉积装备。该脉冲激光沉积装备包括PLD装置，以及装配在PLD装置上并对PLD装置所针对外延薄膜实施对应性能测试的光谱仪、X射线衍射仪、差分式反射式高能电子衍射仪、质谱仪和翘曲测量仪。脉冲激光沉积装备，将光谱仪、X射线衍射仪、差分式反射式高能电子衍射仪、质谱仪和翘曲测量仪等集成于PLD装置中，以达到在线/原位监测外延薄膜表面形貌、结构、温度、膜厚、应力、缺陷、翘曲等参数的目的，并建立数据库，使用人工智能方法对优化工艺参数、提高良率。
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公开(公告)号：CN113604857A
公开(公告)日：2021-11-05
申请号：CN202110798790.2
申请日：2021-07-15
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于微纳器件制造技术领域，公开了一种纳米电镀超快激光强化及原位在线监测装置，包括工控台、超快激光器、光谱仪、激光探头、全息照相机、脉冲发生器、质谱仪和光路系统；激光探头、全息照相机和脉冲发生器均设置在微纳器件阴极靶的附近区域内；工控机分别与超快激光器、光谱仪、脉冲发生器、质谱仪和脉冲电镀电源连接；全息照相机与光谱仪连接。本发明能够对激光电镀进行原位在线监测。
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公开(公告)号：CN117743784A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202311657510.1
申请日：2023-12-04
Applicant: 武汉大学
IPC: G06F18/20 , G06F30/27 , G16C20/10 , G06F18/10 , G06F18/23213
Abstract: 本发明公开了一种基于数字孪生的石英玻璃通孔刻蚀预测方法及其装置，所述预测方法包括，获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据；获取石英玻璃通孔刻蚀过程的历史数据和实时数据的虚拟可视化属性，根据所述虚拟可视化属性建立数字孪生模型；根据所述数字孪生模型进行训练得到预测模型；根据所述预测模型模拟并预测通孔刻蚀结果，并根据所述实时数据对所述预测模型进行迭代优化。本发明无需反复实验进行优化，能够基于当前刻蚀出的玻璃通孔的结果及映射到数字孪生模型上的数据，自动对当前实验参数进行优化，不仅节省了人力和财力资源，也提高了实验效率；同时可以实时监控和提供质量保障，确保了刻蚀过程的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN111745301A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010551936.9
申请日：2020-06-17
Applicant: 武汉大学
IPC: B23K26/36 , B23K26/067 , B23K26/064 , B23K26/06 , G01B11/16 , B08B7/00 , H01L21/683 , H01L21/78 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种OLED面板激光剥离装置，激光发射装置用于发射激光束；分束器将激光器发射的激光束分为第一激光束和第二激光束；第一激光束依次经过第一扩束器、第一整形器、转折聚焦组件后形成剥离用激光束，第二激光束由分束器分出后经反射器转折为与原光路平行的激光继续向前传播经第二扩束器及第二整形器后，再经分光聚焦组件后分为清洗用激光束和第三激光束，第三激光束进入整形折叠聚焦组件，转折后形成翘曲测量用激光束，垂直入射到衬底基板表面，用于做衬底基板的翘曲测量，本发明兼容大尺寸面板与小尺寸面板的激光无损剥离柔性基板的装置，可以避免在激光剥离过程中面板翘曲不平，基本表面污染造成的剥离能量不均匀及热积累的问题。
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