单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN116462153A

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202310610556.1

    申请日:2023-05-29

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 一种单片集成MEMS压力和加速度复合传感器及其制备方法,复合传感器包括通过硅基垂直互连集成的MEMS压力传感器和MEMS加速度传感器,二者分别布置在硅基相背的工作面上;MEMS压力传感器为压阻式传感器,包括一个多翼型敏感膜,多翼型敏感膜形成于所述硅基的上表面,多翼型敏感膜的表面形成有半岛结构、孤岛结构及中央凸台结构,半岛结构的上表面均设置一个第一压阻器件;MEMS加速度传感器包括设置于所述硅基下表面的多悬臂梁结构,多悬臂梁结构包括多个悬臂梁和一个中央质量块;悬臂梁上设置第二压阻器件。本发明不仅能够解决现有微机械复合压力传感器灵敏度低、集成度低的问题,而且制备工艺更合理,通用性更强。

    一种基于环境监测的辐照量智能控制方法及系统

    公开(公告)号:CN117258005A

    公开(公告)日:2023-12-22

    申请号:CN202311267992.X

    申请日:2023-09-27

    Applicant: 安徽大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于环境监测的辐照量智能控制方法,包括:S1、实时获取监测环境中的温湿度信息与活体检测信息;S2、根据活体检测信息得到活体与光源的距离信息;S3、将温湿度信息输入温湿度衰减预测模型,获得温度对应的第一辐射强度与湿度对应的第二辐射强度;S4、将距离信息输入距离衰减预测模型,获得距离对应的第三辐射强度;S5、根据第一辐射强度、第二辐射强度、第二辐射强度计算出照射时间;S6、根据照射时间、第一辐射强度、第二辐射强度、第二辐射强度计算出辐射剂量;S7、根据辐射剂量与预设调整策略自动调整照射时间。保证照射目标的同时,满足了照射剂量和臭氧浓度在规定的安全范围内,提高了消毒杀菌的工作效率。

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