一种双列直插型金属陶瓷小规模集成电路器件封装工艺

    公开(公告)号:CN117747439A

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202311603344.7

    申请日:2023-11-28

    Abstract: 本发明涉及集成电路封装技术领域,公开了一种双列直插型金属陶瓷小规模集成电路器件封装工艺,原材料包括器件管壳、带金锡焊料环的盖板、合金焊料片、芯片和键合丝,器件管壳为金属陶瓷材料,器件管壳的芯腔及两侧均设置有导电区,器件管壳的两侧设置有引出端,合金焊料片为金锡或铅锡银焊料片,芯片的背面为金或银;封装工艺包括以下步骤:采用深腔合金焊料片回流焊接工艺将芯片焊接至器件管壳的芯腔处的导电区;采用深腔键合工艺将键合丝的两端键合至芯片和器件管壳两端的导电区;采用金锡熔封工艺将盖板与器件管壳密封,完成器件封装。本发明使封装的金属陶瓷小规模集成电路器件焊接空洞率低、热阻低、气密性好、可靠性高。

    一种降低金锡焊料烧结元器件空洞率的烧结工艺

    公开(公告)号:CN117766409A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202311603272.6

    申请日:2023-11-28

    Abstract: 本发明涉及半导体器件封装技术领域,公开了一种降低金锡焊料烧结元器件空洞率的烧结工艺,步骤包括:取器件管壳、金锡焊料片和待用芯片,制备烧结结构;将烧结结构置于真空回流炉的腔体内,腔体内温度由室温升到T0,升温过程中并抽真空;腔体内温度达到T0后,保持TO不变,进行腔体清洗,过程中间断充入保护性气体;将腔体内温度由T0升至T1,进行腔体预热;保持腔体内温度在T1,并抽真空;将腔体内温度从T1升到T2,并抽真空;保持腔体内温度在T2,并抽真空四,金锡焊料片充分融化,并于待用芯片的背面金属、器件管壳的导电区表面金属完成共晶反应。本发明不但能降低使用金锡焊料烧结元器件时的空洞率,还能提高产品质量和可靠性。

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