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公开(公告)号：CN105204287B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201510612817.9
申请日：2015-09-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G03F1/68
Abstract: 本发明涉及一种用于光刻掩膜板制作过程的夹具，包括主体部分，所述主体部分呈矩形框架结构；所述主体部分的四个角的内侧设有支撑柱体，所述主体部分的周边设有多个槽口；所述主体部分的四个角上还设有用于安装提杆的螺纹孔。本发明可以使得掩膜板制作过程中的显影、刻蚀和去胶和掩膜板清洗更为方便。
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公开(公告)号：CN106848593A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611251523.9
申请日：2016-12-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种小型化高增益超材料喇叭天线，包括喇叭天线本体，所述喇叭天线本体上设有自输出端口面向内延伸的一台阶孔，该台阶孔内固定有一用于使所述输出端口面的电磁波相位分布均匀化的相位分布调整模块；所述相位分布调整模块包括至少两块重叠设置的非均匀超材料金属片，相邻两块所述非均匀超材料金属片之间设有一金属垫片，位于最外面的所述非均匀超材料金属片的外侧面与所述输出端口面齐平。本发明能够在实现高远场增益的前提下保证喇叭天线小型化、轻量化和集成化。
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公开(公告)号：CN102820512A
公开(公告)日：2012-12-12
申请号：CN201210316834.4
申请日：2012-08-30
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及可用于实现太赫兹特异介质的三种电磁谐振单元结构及方法，其特征在于所述的单元结构为SR1、SR2和SR3中的任一种；其中，SR1由一个“工”字型封闭的金属环组成；SR2是在两个嵌套的闭合金属环之间加两个“T”型金属条组成；SR3将两个开口金属环用金属条相连，内环与相邻单元的外环相连。在砷化镓衬底上，按一定的尺寸分别周期性的排列本发明涉及的三种以金属金为材料的微米级电磁谐振单元，金属金和衬底之间连接采用肖特基接触，使得物质的性质由周期性排列的电磁谐振单元决定，当太赫兹电磁波垂直入射时，介质表现出负的介电常数或磁导率，从而得到三种可用于太赫兹波段的特异介质。从而成功的实现太赫兹特异介质，结构简单，制作成本低，具有宽频带的优点，可有效地应用于太赫兹功能器件的设计。
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公开(公告)号：CN102468836A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010532695.X
申请日：2010-11-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种射频单刀多掷开关及用于毫米波全息成像的开关阵列。该射频单刀多掷开关包括：开关芯片、射频匹配电路和直流偏置匹配电路；其开关芯片由PIN开关二极管串联组成多条开关通路；通过直流偏置控制PIN开关二极管的截止与导通，从而控制各条开关通路的截止与导通。该开关阵列由多个所述射频单刀多掷开关通过两级级联方式组成。本发明利用半导体固态器件实现单刀多掷开关，并采用外匹配方式设计，将其用于毫米波全息成像的开关阵列，与常规的开关阵列相比，具有加工难度小、成本低、性能可靠、体积较小及重量轻的优点。同时，通过灵活选用不同的开关可组成各种规模的开关阵列，满足各种成像系统的应用要求。
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公开(公告)号：CN102135629A
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010598647.0
申请日：2010-12-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提出一种用于全息成像安检系统的毫米波收发模块，包括毫米波射频收发前端1、毫米波收发开关树2以及毫米波收发天线阵列3。毫米波射频发射前端通过发射开关树的快速电子切换，经毫米波发射天线阵列，顺序向被检目标发射毫米波信号；目标反射的散射毫米波信号，经毫米波接收天线阵列接收后，通过接收开关树的电子切换，顺序进入毫米波射频接收前端。该模块的输出信号进行必要的前置放大和数字采样处理后，通过毫米波全息算法运算，可恢复出目标的毫米波全息图像以供安检应用。该模块全系统单片集成，性能稳定、一致性好，并具有低成本、易于大规模生产及小体积(轻载荷)的产品化优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101866018A
公开(公告)日：2010-10-20
申请号：CN201010186328.9
申请日：2010-05-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于毫米波全息成像安检系统的射频收发前端，包括毫米波压控振荡器、毫米波低噪声放大器和毫米波正交混频器，毫米波压控振荡器与毫米波正交混频器相连；毫米波低噪声放大器与毫米波正交混频器相连；毫米波压控振荡器用于产生向目标发射的毫米波射频信号和直接馈入毫米波正交混频器的本振信号；毫米波低噪声放大器用于将接收到的包含目标散射波幅度和相位信息的射频信号进行低噪声放大；毫米波正交混频器用于将毫米波压控振荡器直接馈入的毫米波本振信号和经毫米波低噪声放大器的射频信号进行正交混频。本发明的输出信号在进行必要的前置放大和数字采样处理后，通过毫米波全息算法运算，可恢复出目标的毫米波全息图像。
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公开(公告)号：CN105244291B
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201510552671.3
申请日：2015-09-01
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/56
Abstract: 本发明涉及种用于三维集成的大厚度光敏BCB的涂覆方法,包括:在晶圆上,先旋涂层光敏BCB,然后放在真空环境中静置;对第层BCB进行曝光前热烘、曝光和固化;在第层上旋涂第二层光敏BCB,并进行光刻、显影和固化;干法刻蚀去除部分BCB,刻蚀厚度为第层BCB的厚度,即可。本发明有效解决了传统二次涂覆中两层BCB的通孔会出现无法顺畅衔接的技术问题。
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公开(公告)号：CN105576798A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201510990168.6
申请日：2015-12-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02J7/35
Abstract: 本发明公开了一种光伏自供能、遥控车位地锁管理系统及其实施方法，其特征在于所述的管理系统由供能单元、电控单元、储能单元和机械翻转机构组成；其中供能单元由晶体硅太阳电池串联组成；电控单元包括中央控制单元，充放电单元，无线收发单元，电机控制单元和睡眠－唤醒模块；所提供的系统特色是：1、可以收集锂电池的电量和寿命信息；2、可以实现自动翻转功能；3、摇控距离远，可以在100m以外自动控制地锁的“开”或“关”；4、采用高效光伏电池、电控单元和储能电池组组成可以连续供能的能源系统，为智能地锁供能，无需外来供电；5、可以承载110Mpa压强，采用先进格栅设计实现地锁抗压功能；6、具有地锁防撞功能。
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公开(公告)号：CN102800986B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210272158.5
申请日：2012-08-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01Q15/00
Abstract: 本发明涉及一种基于电谐振的太赫兹双频带超材料，包括衬底和金属层单元，所述金属层单元上设有电磁谐振单元；所述电磁谐振单元包括两个开口谐振环和一个闭合环；所述闭合环位于两个开口谐振环之间；所述金属层单元以周期性阵列的方式铺设在所述衬底上。本发明结构简单，制作成本低，具有强谐振、宽频带、双频点的优点，可以有效地应用于各种要求宽带设计的太赫兹功能器件。
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公开(公告)号：CN102117699A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：CN201010590616.0
申请日：2010-12-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种硅基Al2O3薄膜芯片电容器，可用于微波和射频电路中，起旁路和滤波作用。该芯片电容器包括低阻(电阻率≤1×10-3Ω·cm)硅衬底、非晶Al2O3绝缘薄膜、上电极、下电极四层结构。采用射频磁控溅射法，以高纯Al2O3陶瓷为靶材，在单晶Si衬底生长Al2O3非晶绝缘薄膜，接着在薄膜表面溅射生长Ti或TiW层和Au层，再经电镀Au加厚后，通过光刻、腐蚀的方法制作上电极图形，根据芯片电容厚度的要求对Si片背面减薄，在背面溅射Ti或TiW层和Au层作为下电极，划片后制作成芯片电容。该电容具用高Q值、损耗小、结构与工艺简单、成本低廉、尺寸小等优点。
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