公开(公告)号：CN105204287B

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201510612817.9

申请日：2015-09-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 孙浩 ,  闵文超 ,  佟瑞 ,  张祁莲 ,  丁惠凤 ,  钱蓉 ,  孙晓玮

IPC: G03F1/68

Abstract: 本发明涉及一种用于光刻掩膜板制作过程的夹具，包括主体部分，所述主体部分呈矩形框架结构；所述主体部分的四个角的内侧设有支撑柱体，所述主体部分的周边设有多个槽口；所述主体部分的四个角上还设有用于安装提杆的螺纹孔。本发明可以使得掩膜板制作过程中的显影、刻蚀和去胶和掩膜板清洗更为方便。

公开(公告)号：CN105763161A

公开(公告)日：2016-07-13

申请号：CN201610066925.5

申请日：2016-01-29

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 孙晓玮 ,  闵文超 ,  高兴振 ,  顾建忠

IPC: H03F1/26 ,  H03F1/56 ,  G01R33/36

CPC classification number: H03F1/26 ,  G01R33/3621 ,  H03F1/56

Abstract: 本发明涉及一种用于核磁共振成像的低噪声放大器，其特征在于包括两级共栅结构和一级共源结构，以满足核磁共振系统需要低输入阻抗和低噪声的要求，前两级采用共栅结构，后一级采用共源结构，工作时前端的共栅结构能够在保持噪声的情况下降低输入阻抗，而两级的共栅结构能够进一步拉低输入阻抗。最后一级的共源能够提供较高的增益。本发明通过简化输入端的阻抗匹配，能够满足核磁共振系统中低输入阻抗(1.5欧姆)的要求，同时保持良好的噪声特性。

公开(公告)号：CN105204287A

公开(公告)日：2015-12-30

申请号：CN201510612817.9

申请日：2015-09-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 孙浩 ,  闵文超 ,  佟瑞 ,  张祁莲 ,  丁惠凤 ,  钱蓉 ,  孙晓玮

IPC: G03F1/68

Abstract: 本发明涉及一种用于光刻掩膜板制作过程的夹具，包括主体部分，所述主体部分呈矩形框架结构；所述主体部分的四个角的内侧设有支撑柱体，所述主体部分的周边设有多个槽口；所述主体部分的四个角上还设有用于安装提杆的螺纹孔。本发明可以使得掩膜板制作过程中的显影、刻蚀和去胶和掩膜板清洗更为方便。