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公开(公告)号：CN108350596B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201580084388.0
申请日：2015-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及Cu镀层的形成方法、带有Cu镀层的基板的制造方法及带有Cu镀层的基板。本发明的Cu镀层的形成方法包含：在基板的一表面以平均结晶粒径成为50nm以上且300nm以下的方式形成Cu种子层的第1工序；在氧气氛中在Cu种子层的表面形成氧化膜的第2工序；将氧化膜的一部分除去的第3工序；对Cu种子层给电、在Cu种子层的氧化膜的表面通过电解镀覆而形成Cu镀层的第4工序。
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公开(公告)号：CN104641465A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201380048748.2
申请日：2013-07-19
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01L21/52 , H01L21/50 , H01L21/561 , H01L21/78 , H01L23/10 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 在基板(1)形成多个半导体元件(2)。在SOI基板(12)形成多个密封窗(8)和支撑多个密封窗(8)的支撑部(13)。通过加压部件(14)将SOI基板(12)压到基板(1)，经由配置在多个半导体元件(2)的周边的低熔点玻璃材料(7)使SOI基板(12)的多个密封窗(8)接合到基板(1)。从接合到基板(1)的多个密封窗(8)切断支撑部(13)。
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公开(公告)号：CN103608928B
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201280029716.3
申请日：2012-06-18
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/048
CPC classification number: H01L31/1864 , B32B17/10036 , B32B17/10293 , B32B17/10302 , B32B17/10788 , H01L31/0488 , H02S30/10 , Y02E10/50
Abstract: 在使用对合玻璃的太阳能电池组件的密封工序中，在前面侧玻璃基板与背面侧玻璃基板之间夹装太阳能电池单元以及用于密封太阳能电池单元的透光性中间膜层，在组件周缘部使用密封部件，该密封部件通过折弯把一侧作为粘结面的密封片而形成插入部和外装部，将插入部插入到前面侧玻璃基板和背面侧玻璃基板之间，使粘结面与前面侧玻璃基板以及背面侧玻璃基板粘结，将外装部的粘结面与前面侧玻璃基板以及背面侧玻璃基板中的至少任一方的端面粘结，从而获得太阳能电池组件。
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公开(公告)号：CN103681522A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310423624.X
申请日：2013-09-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L23/08
CPC classification number: H01L23/564 , H01L23/04 , H01L23/06 , H01L23/10 , H01L23/60 , H01L23/66 , H01L29/78 , H01L2223/6644 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明涉及一种半导体装置。半导体元件(2)设在衬底(1)上。栅极布线(6)以及源极布线(7)配置于衬底(1)上，分别与半导体元件(2)的栅极电极(3)以及源极电极(4)电连接。窗框部(13)配置于衬底(1)上，包围半导体元件(2)，与栅极布线(6)以及源极布线(7)相接。密封窗(14)接合于窗框部(13)，密封半导体元件(2)。窗框部(13)是具有薄膜电阻为106～1010Ω/□的低熔点玻璃。从而获得能够确保耐湿性、防止高频特性的恶化、提高静电耐量而不增加成本的半导体装置。
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公开(公告)号：CN105934813B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201580005967.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/329 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L29/41 , H01L29/47 , H01L29/872
Abstract: 本发明的目的在于提供在高温动作中也抑制Cu布线的氧化的半导体装置。本发明的半导体装置具备：基板(1)，具有主面；Cu电极(8)，选择性地形成于基板(1)的主面一侧；氧化防止膜(14)，形成于Cu电极(8)的上表面的除其端部以外的区域；有机树脂膜(10)，形成于基板(1)的主面上，遮覆Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部；以及扩散防止膜(11)，在有机树脂膜(10)与基板(1)的主面之间，与两者相接而形成，并在有机树脂膜(10)与Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部之间，与两者相接而形成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108350596A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201580084388.0
申请日：2015-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及Cu镀层的形成方法、带有Cu镀层的基板的制造方法及带有Cu镀层的基板。本发明的Cu镀层的形成方法包含：在基板的一表面以平均结晶粒径成为50nm以上且300nm以下的方式形成Cu种子层的第1工序；在氧气氛中在Cu种子层的表面形成氧化膜的第2工序；将氧化膜的一部分除去的第3工序；对Cu种子层给电、在Cu种子层的氧化膜的表面通过电解镀覆而形成Cu镀层的第4工序。
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公开(公告)号：CN102630347B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201080049952.2
申请日：2010-10-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/02 , H01L31/048 , H01L31/05
CPC classification number: H01L31/0508 , H01L31/0201 , H01L31/02013 , H01L31/046 , H01L31/0465 , H01L31/048 , Y02E10/50 , Y10T29/49155 , Y10T29/49355
Abstract: 为了得到能够避免因布线材料的蛇行的影响引起的发电效率的降低并能够缓和起因于基板材料和布线材料的热膨胀系数之差的应力、且能够抑制基板的翘曲、电极与布线的接合部分的剥落的薄膜太阳能电池模块，具有：薄膜太阳能电池器件(2)，将多个薄膜太阳能电池单元串联连接而构成；以及汇流条布线(3)，设置在薄膜太阳能电池器件(2)的正极侧端部和负极侧端部，其中，汇流条布线(3)是多个导电部件(10)重叠一部分地连结而构成。
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公开(公告)号：CN105934813A
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201580005967.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/329 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L23/532 , H01L29/41 , H01L29/47 , H01L29/872
CPC classification number: H01L24/13 , H01L23/3135 , H01L23/3192 , H01L23/36 , H01L23/3735 , H01L23/564 , H01L24/03 , H01L24/05 , H01L24/06 , H01L24/33 , H01L29/1608 , H01L29/401 , H01L29/47 , H01L29/6606 , H01L29/872 , H01L2224/02166 , H01L2224/0345 , H01L2224/03452 , H01L2224/0346 , H01L2224/0347 , H01L2224/03614 , H01L2224/03914 , H01L2224/04026 , H01L2224/05084 , H01L2224/05085 , H01L2224/05111 , H01L2224/05124 , H01L2224/05139 , H01L2224/05144 , H01L2224/05147 , H01L2224/05155 , H01L2224/05166 , H01L2224/05187 , H01L2224/05556 , H01L2224/05562 , H01L2224/05611 , H01L2224/05624 , H01L2224/05639 , H01L2224/05644 , H01L2224/05655 , H01L2224/06181 , H01L2224/10126 , H01L2224/13082 , H01L2224/13147 , H01L2224/13582 , H01L2224/13611 , H01L2224/13624 , H01L2224/13639 , H01L2224/13644 , H01L2224/13655 , H01L2224/33181 , H01L2924/00014 , H01L2924/05042 , H01L2924/10272 , H01L2924/12032 , H01L2924/13055 , H01L2924/13091 , H01L2924/181 , H01L2924/04941 , H01L2224/056 , H01L2224/051 , H01L2924/00 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明的目的在于提供在高温动作中也抑制Cu布线的氧化的半导体装置。本发明的半导体装置具备：基板(1)，具有主面；Cu电极(8)，选择性地形成于基板(1)的主面一侧；氧化防止膜(14)，形成于Cu电极(8)的上表面的除其端部以外的区域；有机树脂膜(10)，形成于基板(1)的主面上，遮覆Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部；以及扩散防止膜(11)，在有机树脂膜(10)与基板(1)的主面之间，与两者相接而形成，并在有机树脂膜(10)与Cu电极(8)的侧面以及上表面的端部之间，与两者相接而形成。
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公开(公告)号：CN103608928A
公开(公告)日：2014-02-26
申请号：CN201280029716.3
申请日：2012-06-18
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/048
CPC classification number: H01L31/1864 , B32B17/10036 , B32B17/10293 , B32B17/10302 , B32B17/10788 , H01L31/0488 , H02S30/10 , Y02E10/50 , H01L31/048
Abstract: 在使用对合玻璃的太阳能电池组件的密封工序中，在前面侧玻璃基板与背面侧玻璃基板之间夹装太阳能电池单元以及用于密封太阳能电池单元的透光性中间膜层，在组件周缘部使用密封部件，该密封部件通过折弯把一侧作为粘结面的密封片而形成插入部和外装部，将插入部插入到前面侧玻璃基板和背面侧玻璃基板之间，使粘结面与前面侧玻璃基板以及背面侧玻璃基板粘结，将外装部的粘结面与前面侧玻璃基板以及背面侧玻璃基板中的至少任一方的端面粘结，从而获得太阳能电池组件。
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公开(公告)号：CN102630347A
公开(公告)日：2012-08-08
申请号：CN201080049952.2
申请日：2010-10-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/04 , H01L31/042
CPC classification number: H01L31/0508 , H01L31/0201 , H01L31/02013 , H01L31/046 , H01L31/0465 , H01L31/048 , Y02E10/50 , Y10T29/49155 , Y10T29/49355
Abstract: 为了得到能够避免因布线材料的蛇行的影响引起的发电效率的降低并能够缓和起因于基板材料和布线材料的热膨胀系数之差的应力、且能够抑制基板的翘曲、电极与布线的接合部分的剥落的薄膜太阳能电池模块，具有：薄膜太阳能电池器件(2)，将多个薄膜太阳能电池单元串联连接而构成；以及汇流条布线(3)，设置在薄膜太阳能电池器件(2)的正极侧端部和负极侧端部，其中，汇流条布线(3)是多个导电部件(10)重叠一部分地连结而构成。
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