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发明公开
CN110957229A 半导体器件和形成半导体器件的方法 有权

半导体器件和形成半导体器件的方法
摘要：
在实施例中，半导体器件包括：传感器管芯，具有第一表面和与第一表面相对的第二表面，传感器管芯在第一表面处具有输入/输出区域和第一感测区域；密封剂，至少横向地密封传感器管芯；导电通孔，延伸穿过密封剂；以及前侧再分布结构，位于传感器管芯的第一表面上，前侧再分布结构连接至导电通孔和传感器管芯，前侧再分布结构覆盖传感器管芯的输入/输出区域，前侧再分布结构具有暴露传感器管芯的第一感测区域的第一开口。本发明的实施例还提供了一种形成半导体器件的方法。
摘要（英）：

In an embodiment, a device includes: a sensor die having a first surface and a second surface opposite the first surface, the sensor die having an input/output region and a first sensing region at the first surface; an encapsulant at least laterally encapsulating the sensor die; a conductive via extending through the encapsulant; and a front-side redistribution structure on the first surface of the sensor die, the front-side redistribution structure being connected to the conductive via and the sensor die, the front-side redistribution structure covering the input/output region of the sensor die, the front-side redistribution structure having a first opening exposing the first sensing region of the sensor die.

公开/授权文献
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