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    DEVICES INCLUDING AT LEAST ONE ADHESION LAYER AND METHODS OF FORMING ADHESION LAYERS
    4.
    发明申请
    DEVICES INCLUDING AT LEAST ONE ADHESION LAYER AND METHODS OF FORMING ADHESION LAYERS 审中-公开
    包括至少一个粘合层的装置和形成粘合层的方法

    公开(公告)号：US20150170684A1

    公开(公告)日：2015-06-18

    申请号：US14632057

    申请日：2015-02-26

    申请人： SEAGATE TECHNOLOGY LLC

    发明人： Yuhang Cheng ,  Tong Zhao ,  Michael C. Kautzky ,  Ed F. Rejda ,  Kurt W. Wierman ,  Scott Franzen ,  Andrew J. Boyne ,  Michael Allen Seigler ,  Sethuraman Jayashankar

    IPC分类号： G11B5/31

    CPC分类号： G11B5/314 ,  B05D1/36 ,  G11B5/3106 ,  G11B5/3163 ,  G11B5/4866 ,  G11B5/6088 ,  G11B5/84 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851 ,  G11B5/858 ,  G11B7/1387 ,  G11B2005/0021

    摘要： Devices that include a near field transducer (NFT), the NFT having a disc and a peg, and the peg having an air bearing surface; and at least one adhesion layer positioned on the air bearing surface of the peg, the adhesion layer including one or more of the following: tungsten (W), molybdenum (Mo), chromium (Cr), silicon (Si), nickel (Ni), tantalum (Ta), titanium (Ti), yttrium (Y), vanadium (V), magnesium (Mg), cobalt (Co), tin (Sn), niobium (Nb), hafnium (Hf), and combinations thereof; tantalum oxide, titanium oxide, tin oxide, indium oxide, and combinations thereof; vanadium carbide (VC), tungsten carbide (WC), titanium carbide (TiC), chromium carbide (CrC), cobalt carbide (CoC), nickel carbide (NiC), yttrium carbide (YC), molybdenum carbide (MoC), and combinations thereof and titanium nitride (TiN), zirconium nitride (ZrN), hafnium nitride (HfN), and combinations thereof.

    摘要翻译： 包括近场换能器（NFT），NFT具有盘和钉的装置以及具有空气轴承表面的钉; 以及至少一个粘合层，其位于所述钉的空气支承表面上，所述粘合层包括以下中的一种或多种：钨（W），钼（Mo），铬（Cr），硅（Si），镍 ），钽（Ta），钛（Ti），钇（Y），钒（V），镁（Mg），钴（Co），锡（Sn），铌（Nb），铪（Hf） ; 氧化钽，氧化钛，氧化锡，氧化铟及其组合; 碳化钒（VC），碳化钨（WC），碳化钛（TiC），碳化铬（CrC），碳化钴（CoC），碳化镍（NiC），碳化钇（YC），碳化钼（MoC） 和氮化钛（TiN），氮化锆（ZrN），氮化铪（HfN）及其组合。

    Non-uniform write gap perpendicular writer for shingle writing
    5.
    发明授权
    Non-uniform write gap perpendicular writer for shingle writing 有权
    用于瓦片写入的非均匀写入间隙垂直写入器

    公开(公告)号：US09013830B2

    公开(公告)日：2015-04-21

    申请号：US14533724

    申请日：2014-11-05

    申请人： Headway Technologies, Inc.

    发明人： Lijie Guan

    IPC分类号： G11B5/23 ,  G11B5/31 ,  G11B5/10 ,  G11B5/127 ,  G11B5/60

    CPC分类号： G11B5/23 ,  C23C14/06 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3176 ,  G11B5/6082 ,  G11B5/84 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851

    摘要： A PMR writer is disclosed that includes a recessed center section in the write pole trailing edge and a center recessed trailing shield to improve the field gradient at track edge. In all embodiments, there is a non-uniform write gap between the trailing edge and the trailing shield. The recessed portion of the write pole trailing edge and/or center recess of the trailing shield has a thickness from 10 to 40 nm in a down-track direction and a width in a cross-track direction of 20 to 200 nm. The distance between the center recess and a corner of the trailing edge is from 20 to 80 nm. A sequence of steps is provided to fabricate the two embodiments of the present invention.

    摘要翻译： 公开了一种PMR写入器，其包括写磁极后缘中的凹入中心部分和中心凹陷后屏蔽，以改善磁道边缘处的场梯度。 在所有实施例中，在后缘和后屏蔽之间存在不均匀的写入间隙。 后屏蔽的写磁极后缘和/或中心凹部的凹陷部分在下行轨道方向上具有10至40nm的厚度和20至200nm的交叉磁迹方向上的宽度。 中心凹部与后缘的角部之间的距离为20〜80nm。 提供了一系列步骤来制造本发明的两个实施例。

    PLASMA CVD APPARATUS AND VACUUM TREATMENT APPARATUS
    6.
    发明申请
    PLASMA CVD APPARATUS AND VACUUM TREATMENT APPARATUS 审中-公开
    等离子体CVD装置和真空处理装置

    公开(公告)号：US20140174355A1

    公开(公告)日：2014-06-26

    申请号：US14107005

    申请日：2013-12-16

    申请人： CANON ANELVA CORPORATION

    发明人： Hiroshi YAKUSHIJI ,  Masahiro SHIBAMOTO ,  Kazuto YAMANAKA ,  Shogo HIRAMATSU ,  Susumu KARINO

    IPC分类号： C23C16/50

    CPC分类号： C23C14/568 ,  C23C16/26 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/509 ,  G11B5/85

    摘要： In one embodiment of the invention, a protective film formation chamber for forming a carbon protective film on a magnetic film includes: a gas introduction part which introduces a source gas to a vacuum vessel; a discharge electrode having a discharge surface at a position facing a substrate conveyed to a predetermined position in the vacuum vessel; a plasma formation part which applies voltage between the discharge surface and the substrate conveyed to the predetermined position; a permanent magnet being provided on a back side of the discharge surface and having a first magnet and a second magnet provided such that their magnetic poles facing the discharge surface are opposite to each other; and a no-erosion-portion mask being provided in parallel to the discharge surface and covering an area of the discharge surface surrounding a portion facing the permanent magnet.

    摘要翻译： 在本发明的一个实施例中，用于在磁性膜上形成碳保护膜的保护膜形成室包括：将源气体引入真空容器的气体导入部; 放电电极，其在与被输送到所述真空容器中的预定位置的衬底相对的位置处具有放电表面; 等离子体形成部，其在所述放电面与被输送到所述规定位置的所述基板之间施加电压; 永磁体设置在排出表面的背面，并且具有第一磁体和第二磁体，第一磁体和第二磁体设置成使得它们的面对排出表面的磁极彼此相反; 以及与排放表面平行地设置并覆盖围绕面对永磁体的部分的排出表面的区域的无腐蚀部分掩模。

    Single disc vapor lubrication
    7.
    发明授权
    Single disc vapor lubrication 有权
    单盘蒸汽润滑

    公开(公告)号：US08728242B2

    公开(公告)日：2014-05-20

    申请号：US13751926

    申请日：2013-01-28

    申请人： Seagate Technology LLC

    发明人： Michael Joseph Stirniman ,  Paul Stephen McLeod

    IPC分类号： C23C16/00 ,  C23C16/448

    CPC分类号： G11B5/85 ,  B05D1/60 ,  B05D5/083 ,  G11B5/8408

    摘要： Apparatus and method for vapor deposition of a uniform thickness thin film of lubricant on at least one surface of a disk-shaped substrate. The invention has particular utility in depositing thin films of polymeric lubricants onto disc-shaped substrates in the manufacture of magnetic and MO recording media.

    摘要翻译： 在盘形基板的至少一个表面上蒸镀均匀厚度的润滑剂薄膜的装置和方法。 本发明在磁性和MO记录介质的制造中将聚合润滑剂的薄膜沉积到盘形基底上具有特别的用途。

    MAGNETIC RECORDING MEDIUM FABRICATION METHOD AND APPARATUS
    8.
    发明申请
    MAGNETIC RECORDING MEDIUM FABRICATION METHOD AND APPARATUS 审中-公开
    磁记录介质制造方法和装置

    公开(公告)号：US20140079877A1

    公开(公告)日：2014-03-20

    申请号：US14017387

    申请日：2013-09-04

    申请人： SHOWA DENKO K.K.

    发明人： Yasuyuki Tsutatani ,  Daisuke Shiomi ,  Satoru Ueno ,  Ichiro Ota ,  Takehiko Okabe

    IPC分类号： G11B5/85

    CPC分类号： G11B5/85 ,  C23C14/564 ,  G11B5/8408

    摘要： A method of fabricating a magnetic recording medium sequentially forms a magnetic recording layer, a protection layer, and a lubricant layer on a stacked body. The lubricant layer is formed by vapor-phase lubrication without exposing the stacked body to atmosphere after forming the protection layer on the stacked body. A region having a gas pressure P3 is provided in a transport path of the stacked body after the formation of the protection layer and before the formation of the lubricant layer, satisfying relationships P3>P1 and P3>P2, where P1 denotes a process gas pressure at a time of forming the protection layer, and P2 denotes a process gas pressure at a time of forming the lubricant layer.

    摘要翻译： 制造磁记录介质的方法在层叠体上依次形成磁记录层，保护层和润滑层。 通过气相润滑形成润滑剂层，而不在层叠体上形成保护层后将层叠体暴露在大气中。 具有气体压力P3的区域在形成保护层之后并在形成润滑剂层之前设置在堆叠体的输送路径中，满足关系P3> P1和P3> P2，其中P1表示处理气体压力 在形成保护层时，P2表示形成润滑剂层时的工艺气体压力。

    Resist fortification for magnetic media patterning
    9.
    发明授权
    Resist fortification for magnetic media patterning 有权
    磁性介质图案抗蚀强化

    公开(公告)号：US08658242B2

    公开(公告)日：2014-02-25

    申请号：US13193539

    申请日：2011-07-28

    申请人： Christopher D. Bencher ,  Roman Gouk ,  Steven Verhaverbeke ,  Li-Qun Xia ,  Yong-Won Lee ,  Matthew D. Scotney-Castle ,  Martin A. Hilkene ,  Peter I. Porshnev

    发明人： Christopher D. Bencher ,  Roman Gouk ,  Steven Verhaverbeke ,  Li-Qun Xia ,  Yong-Won Lee ,  Matthew D. Scotney-Castle ,  Martin A. Hilkene ,  Peter I. Porshnev

    IPC分类号： B05D5/12

    CPC分类号： G11B5/85 ,  G11B5/743 ,  G11B5/855

    摘要： A method and apparatus for forming magnetic media substrates is provided. A patterned resist layer is formed on a substrate having a magnetically susceptible layer. A conformal protective layer is formed over the patterned resist layer to prevent degradation of the pattern during subsequent processing. The substrate is subjected to an energy treatment wherein energetic species penetrate portions of the patterned resist and conformal protective layer according to the pattern formed in the patterned resist, impacting the magnetically susceptible layer and modifying a magnetic property thereof. The patterned resist and conformal protective layers are then removed, leaving a magnetic substrate having a pattern of magnetic properties with a topography that is substantially unchanged.

    摘要翻译： 提供了一种形成磁性介质基板的方法和装置。 在具有磁敏感层的基底上形成图案化的抗蚀剂层。 在图案化的抗蚀剂层上形成保形层，以防止后续处理期间图案的劣化。 对衬底进行能量处理，其中能量物质根据形成在图案化抗蚀剂中的图案穿透图案化抗蚀剂和保形层的部分，撞击磁敏感层并改变其磁性。 然后去除图案化的抗蚀剂和共形保护层，留下具有基本上不变的形貌的磁性质图案的磁性基底。

    Non-uniform write gap perpendicular writer for shingle writing
    10.
    发明授权
    Non-uniform write gap perpendicular writer for shingle writing 有权
    用于瓦片写入的非均匀写入间隙垂直写入器

    公开(公告)号：US08542463B2

    公开(公告)日：2013-09-24

    申请号：US13134600

    申请日：2011-06-10

    申请人： Lijie Guan

    发明人： Lijie Guan

    IPC分类号： G11B5/10 ,  G11B5/23 ,  G11B5/31

    CPC分类号： G11B5/23 ,  C23C14/06 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3176 ,  G11B5/6082 ,  G11B5/84 ,  G11B5/85 ,  G11B5/851

    摘要： A PMR writer is disclosed that includes at least one of a recessed center section in the write pole trailing edge and a center recessed trailing shield to improve the field gradient at track edge. In all embodiments, there is a non-uniform write gap between the trailing edge and the trailing shield. The recessed portion of the write pole trailing edge and/or center recess of the trailing shield has a thickness from 10 to 40 nm in a down-track direction and a width in a cross-track direction of 20 to 200 nm. The distance between the center recess and a corner of the trailing edge is from 20 to 80 nm. A sequence of steps is provided to fabricate the two embodiments of the present invention.

    摘要翻译： 公开了一种PMR写入器，其包括写磁极后缘中的凹入中心部分和中心凹陷后屏蔽中的至少一个，以改善磁道边缘处的磁场梯度。 在所有实施例中，在后缘和后屏蔽之间存在不均匀的写入间隙。 后屏蔽的写磁极后缘和/或中心凹部的凹陷部分在下行轨道方向上具有10至40nm的厚度和20至200nm的交叉磁迹方向上的宽度。 中心凹部与后缘的角部之间的距离为20〜80nm。 提供了一系列步骤来制造本发明的两个实施例。