公开(公告)号：US20150380635A1

公开(公告)日：2015-12-31

申请号：US14734048

申请日：2015-06-09

申请人： Texas Instruments Incorporated

发明人： Bhaskar Srinivasan ,  Sarah Emily Treece ,  YungShan Chang ,  Ollen Harvey Mullis ,  Mary Alyssa Drummond Roby

IPC分类号： H01L41/08 ,  H01L41/319 ,  C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/34 ,  C23C14/18 ,  H01L41/18 ,  C23C14/02

CPC分类号： H01L41/0815 ,  C23C14/0036 ,  C23C14/025 ,  C23C14/088 ,  C23C14/345 ,  C23C14/354 ,  H01L41/18 ,  H01L41/316 ,  H01L41/319

摘要： A microelectronic device containing a piezoelectric component is formed sputtering an adhesion layer of titanium on a substrate by an ionized metal plasma (IMP) process. The adhesion layer is oxidized so that at least a portion of the titanium is converted to a layer of substantially stoichiometric titanium dioxide (TiO2) at a top surface of the adhesion layer. A layer of platinum is formed on the titanium dioxide of the adhesion layer; the layer of platinum has a (111) crystal orientation and an X-ray rocking curve FWHM value of less than 3 degrees. A layer of piezoelectric material is formed on the layer of platinum. The piezoelectric material may include lead zirconium titanate.

摘要翻译： 通过电离金属等离子体（IMP）工艺，在衬底上形成含有压电元件的微电子器件溅射钛的粘附层。 粘附层被氧化，使得至少一部分钛在粘合层的顶表面处转化为基本上化学计量的二氧化钛（TiO 2）层。 在粘合层的二氧化钛上形成铂层; 铂层具有（111）晶体取向和X射线摇摆曲线FWHM值小于3度。 在铂层上形成一层压电材料。 压电材料可以包括钛酸铅锆。