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公开(公告)号:US3445735A
公开(公告)日:1969-05-20
申请号:US67314267
申请日:1967-10-05
申请人: RCA CORP
CPC分类号: H01L21/00 , H01L21/221 , H01L29/00 , Y10S148/062 , Y10S438/917
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公开(公告)号:US3356543A
公开(公告)日:1967-12-05
申请号:US41652164
申请日:1964-12-07
申请人: RCA CORP
CPC分类号: H01L21/00 , H01L21/221 , H01L29/00 , Y10S148/062 , Y10S438/917
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公开(公告)号:US3327183A
公开(公告)日:1967-06-20
申请号:US57215166
申请日:1966-08-12
申请人: RCA CORP
发明人: GREENBERG LEON S , JOHN NEILSON , HARRY WEISBERG
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公开(公告)号:US3281291A
公开(公告)日:1966-10-25
申请号:US30562463
申请日:1963-08-30
申请人: RCA CORP
发明人: GREENBERG LEON S , GREIG WILLIAM J
IPC分类号: C23C16/40 , C30B31/02 , H01L21/00 , H01L21/225 , H01L21/316
CPC分类号: H01L21/316 , C23C16/402 , C30B31/02 , H01L21/00 , H01L21/2255 , Y10S148/043 , Y10S148/062 , Y10S148/151
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