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    LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
    1.
    发明申请
    LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD 有权
    LITHOGRAPHIC装置和装置制造方法

    公开(公告)号：US20130107236A1

    公开(公告)日：2013-05-02

    申请号：US13659729

    申请日：2012-10-24

    申请人： Jan Steven Christiaan WESTERLAKEN ,  Rob Jansen ,  Erik Vervoort

    发明人： Jan Steven Christiaan WESTERLAKEN ,  Rob Jansen ,  Erik Vervoort

    IPC分类号： G03B27/52

    CPC分类号： G03F7/7075 ,  G03F7/70875

    摘要： A lithographic apparatus includes a substrate table constructed to hold a substrate; a compartment configured to receive the substrate table; a thermal conditioning unit arranged to receive a substrate to be exposed and thermally condition the substrate; and a transfer system for transferring a thermally conditioned substrate to the substrate table, wherein the substrate table and the thermal conditioning unit are arranged inside the compartment of the lithographic apparatus, at least during a transfer of the thermally conditioned substrate from the thermal conditioning unit to the substrate table.

    摘要翻译： 光刻设备包括：构造成保持衬底的衬底台; 被配置为接收所述衬底台的室; 热调节单元，其布置成接收要暴露的基板并对所述基板进行热调节; 以及转印系统，用于将经热处理的基材转印到基板台上，其中基板台和热调节单元布置在光刻设备的隔室内，至少在热调节基板从热调节单元转移到 底物台。

    Lithographic apparatus
    3.
    发明授权
    Lithographic apparatus 有权
    平版印刷设备

    公开(公告)号：US07148951B2

    公开(公告)日：2006-12-12

    申请号：US10972292

    申请日：2004-10-25

    申请人： Nicolas Lallemant ,  Marcel Beckers ,  Stephan Koelink ,  Rob Jansen ,  Wladimir Fransiscus Gerardus Maria Hertog ,  David Theodorus Willy Van Der Plas

    发明人： Nicolas Lallemant ,  Marcel Beckers ,  Stephan Koelink ,  Rob Jansen ,  Wladimir Fransiscus Gerardus Maria Hertog ,  David Theodorus Willy Van Der Plas

    IPC分类号： G03B27/42 ,  G03B27/52 ,  G03B27/58

    CPC分类号： G03F7/70933

    摘要： A lithographic apparatus includes a radiation system for providing a beam of radiation, and a first support for supporting a patterning device. The patterning device serves to pattern the beam of radiation. The apparatus includes a second support for supporting a substrate, a projection system for projecting the patterned beam onto a target portion of the substrate, and an interferometer measurement system for providing an interferometric measurement beam extending along an axis in an elongated volume of gas extending below the projection system. The apparatus also includes a gas conditioning structure for providing a conditioned gas flow in the volume. The gas conditioning structure includes a plurality of gas guiding vanes disposed at an outlet of the structure for guiding the gas flow to the volume. The gas guiding vanes are shaped continuously and are oriented diverging away from the axis of the volume.

    摘要翻译： 光刻设备包括用于提供辐射束的辐射系统和用于支撑图案形成装置的第一支撑件。 图案形成装置用于对辐射束进行图案化。 该装置包括用于支撑基板的第二支撑件，用于将图案化的光束投影到基板的目标部分上的投影系统，以及干涉计测量系统，用于提供沿着轴延伸的细长体积的气体延伸的干涉测量光束 投影系统。 该装置还包括用于在体积中提供经调节的气流的气体调节结构。 气体调节结构包括设置在结构的出口处的多个气体导向叶片，用于将气体流引导到体积。 气体导向叶片被连续地成形并且定向为远离体积的轴线发散。

    User configurable user interface
    6.
    发明授权
    User configurable user interface 有权
    用户可配置的用户界面

    公开(公告)号：US09489363B2

    公开(公告)日：2016-11-08

    申请号：US14315275

    申请日：2014-06-25

    申请人： Rob Jansen op de Haar

    发明人： Rob Jansen op de Haar

    IPC分类号： G06F15/00 ,  G06F13/00 ,  G06F17/24 ,  G06Q10/06

    CPC分类号： G06F17/243 ,  G06Q10/06

    摘要： A system for data entry includes a form module, where the form module includes at least one form having multiple fields and the form module is configured to receive data into the fields. Each of the fields is user selectable to set a default value and each of the fields is user selectable for removal from display in a form view. The system includes a default value module, where the default value module includes a default value list, which includes the user selected fields having both a default value and user selected for removal from display in the form view. The system includes a display module that is configured to display the form view, where the form view displays the fields for data entry and collapses the list of displayed fields to remove the fields on the default value list from display in the form view.

    摘要翻译： 用于数据输入的系统包括表单模块，其中表单模块包括具有多个字段的至少一个表单，并且表单模块被配置为将数据接收到字段中。 用户可以选择每个字段来设置默认值，并且每个字段都是用户可选择的，以便在窗体视图中从显示中移除。 该系统包括默认值模块，其中默认值模块包括默认值列表，其包括用户选择的字段，其具有默认值和被选择用于从表单视图中的显示中删除的用户。 该系统包括一个配置为显示窗体视图的显示模块，其中窗体视图显示用于数据输入的字段，并折叠显示字段的列表，以从表单视图中的显示中删除默认值列表上的字段。

    Inhaler
    7.
    发明授权
    Inhaler 有权
    吸入器

    公开(公告)号：US08082918B2

    公开(公告)日：2011-12-27

    申请号：US10221379

    申请日：2001-03-16

    申请人： Rob Jansen ,  Lars Knudsen ,  Henrik Vilstrup

    发明人： Rob Jansen ,  Lars Knudsen ,  Henrik Vilstrup

    IPC分类号： A61M11/00

    CPC分类号： A61M15/0091 ,  A61M15/009 ,  A61M15/0096

    摘要： A breath-actuated inhaler for delivery of a medicament by inhalation from a canister (2) which is compressible to deliver a dose of medicament. The inhaler comprises a housing (1) for holding a canister (2) and including a mouthpiece (5) for delivery of a dose of medicament from a canister (2) held in the housing; and an actuation mechanism (6) for compressing a canister (2) held in the housing (1) in response to inhalation at the mouthpiece (5). The housing includes two separable portions (19, 20). The first housing portion (19) mounts the actuation mechanism (6). The second housing portion (20) houses the mouthpiece (5) and a duct (24) shaped to direct an inhalation flow from the mouthpeice (5) to the first housing portion (19) for triggering the actuation mechanism (6). The duct (24) and the mouthpiece (5) are integrally formed and separable from the second housing portion (20).

    摘要翻译： 一种用于通过吸入从罐（2）输送药物的呼吸致动吸入器，其可压缩以递送一定剂量的药物。 吸入器包括用于容纳罐（2）的壳体（1）并且包括用于从保持在壳体中的罐（2）输送一定剂量的药物的接口（5） 以及致动机构（6），用于响应于在所述接口（5）处的吸入而压缩保持在所述壳体（1）中的罐（2）。 壳体包括两个可分离部分（19,20）。 第一壳体部分（19）安装致动机构（6）。 第二壳体部分（20）容纳接口（5）和形状为将吸入流从口部（5）引导到第一容纳部分（19）的管道（24），用于触发致动机构（6）。 管道（24）和接口管（5）一体形成并与第二容纳部分（20）分离。