公开(公告)号：US08810886B2

公开(公告)日：2014-08-19

申请号：US13368123

申请日：2012-02-07

申请人： Vlad Novotny ,  Gabriel Matus ,  Michel Combes

发明人： Vlad Novotny ,  Gabriel Matus ,  Michel Combes

IPC分类号： G02F1/03 ,  G02F1/07 ,  G02F1/33

CPC分类号： G02B27/48 ,  H04N9/3161

摘要： A display system includes a coherent light source that can emit a coherent light beam, a de-speckling device configured to distort a wavefront of the coherent light beam to produce a distorted coherent light beam, and a two-dimensional array of light modulators that can selectively modulate the distorted coherent light beam to select a plurality of pixels for display.

摘要翻译： 显示系统包括可发射相干光束的相干光源，被配置为使相干光束的波前畸变以产生失真的相干光束的去斑点装置，以及能够 选择性地调制失真相干光束以选择多个像素进行显示。

公开(公告)号：US07821010B2

公开(公告)日：2010-10-26

申请号：US11427272

申请日：2006-06-28

申请人： Shaoher X. Pan ,  Chii Guang Lee

发明人： Shaoher X. Pan ,  Chii Guang Lee

IPC分类号： H01L27/14 ,  H01L29/04 ,  H01L29/15 ,  H01L31/036 ,  H01L29/78

CPC分类号： B81C1/00246 ,  B81B2201/047 ,  B81C2201/0176 ,  B81C2203/0721 ,  H01L21/02381 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262

摘要： A method of fabricating a micro structure includes depositing amorphous silicon over a substrate having an electric circuit at a temperature below 550° C. to form a first structure portion, wherein at least part of the first structure portion is configured to receive an electrical signal from the electric circuit.

摘要翻译： 一种制造微结构的方法包括在低于550℃的温度下在具有电路的衬底上沉积非晶硅，以形成第一结构部分，其中第一结构部分的至少一部分被配置成从 电路。

公开(公告)号：US07800810B2

公开(公告)日：2010-09-21

申请号：US12186747

申请日：2008-08-06

申请人： Shaoher X. Pan ,  Vlad Novotny

发明人： Shaoher X. Pan ,  Vlad Novotny

IPC分类号： G02B26/00 ,  H01L23/58 ,  H01L21/66

CPC分类号： G02B26/101 ,  G02B26/0833

摘要： A wafer containing a plurality of electro-optical devices, each device being enclosed in chamber that has a translucent cover. An X-Y matrix of pairs of interconnections on the wafer are connected to the circuitry of the electro-optical devices for addressing the electro-optical devices. The pairs of interconnections extend outside of the chambers enclosing the devices to testing areas on the periphery of the wafer. Testing is done by signals applied through the interconnections while simultaneously exposing the devices to light through the translucent covers.

摘要翻译： 包含多个电光器件的晶片，每个器件封装在具有半透明盖的腔室中。 晶片上的一对互连的X-Y矩阵连接到用于寻址电光器件的电光装置的电路。 这些互连对延伸到包围器件的外部的外部到晶圆周边的测试区域。 通过互连施加的信号进行测试，同时通过半透明盖将设备曝光。

公开(公告)号：US07763962B2

公开(公告)日：2010-07-27

申请号：US11558883

申请日：2006-11-10

申请人： Shaoher X. Pan ,  Vlad Novotny

发明人： Shaoher X. Pan ,  Vlad Novotny

IPC分类号： H01L23/20

CPC分类号： B81C1/00285 ,  G02B26/0841 ,  H01L23/26 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/12044 ,  Y10S257/913 ,  H01L2924/00

摘要： An encapsulated device includes a micro device on a substrate, a cover bonded to the substrate thereby forming a chamber to encapsulate the micro device, and a desiccant material on the cover and in the chamber. An anti-stiction material is absorbed in the desiccant material.

摘要翻译： 封装装置包括在基板上的微型装置，与基板结合的盖，从而形成用于封装微型装置的腔室，以及在盖子和腔室中的干燥剂材料。 抗静电材料被吸收在干燥剂材料中。

公开(公告)号：US20100060861A1

公开(公告)日：2010-03-11

申请号：US12209128

申请日：2008-09-11

申请人： David L. Medin

发明人： David L. Medin

IPC分类号： G03B21/16

CPC分类号： H04N9/3144 ,  G03B21/16 ,  G03B33/06 ,  G09G3/30 ,  G09G2320/041 ,  G09G2320/043 ,  G09G2320/0626 ,  G09G2330/02

摘要： Methods and apparatus are disclosed for maximizing performance of an electronic device, such as a display device. Aspects of the exemplary embodiments include operating the electronic device by adjusting power to the device to maintain a predetermined junction temperature of the device independent of the ambient temperature at which the device is operating.

摘要翻译： 公开了用于最大化诸如显示装置的电子设备的性能的方法和装置。 示例性实施例的方面包括通过调节设备的功率来操作电子设备，以维持设备的预定结温独立于设备运行的环境温度。

公开(公告)号：US20090289349A1

公开(公告)日：2009-11-26

申请号：US12124962

申请日：2008-05-21

申请人： Vlad Novotny ,  Gabriel Matus

发明人： Vlad Novotny ,  Gabriel Matus

IPC分类号： H01L23/48 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L23/10 ,  B81B7/0041 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/019 ,  H01L23/057 ,  H01L24/48 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/12041 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1461 ,  H01L2924/16195 ,  H01L2924/16235 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/45099 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2924/207

摘要： An encapsulated device includes a micro device on a substrate, a micro chamber that encapsulates the micro device on the substrate; and a layer of hermetic-sealing material that provides at least some degree of hermeticity on one or more outer surfaces of the micro chamber to at least partially hermetically seal the micro device in the micro chamber.

摘要翻译： 封装装置包括：衬底上的微器件;将微器件封装在衬底上的微室; 以及一层密封材料，其在微室的一个或多个外表面上提供至少一定程度的气密性，以至少部分气密地密封微室中的微器件。

公开(公告)号：US07538922B2

公开(公告)日：2009-05-26

申请号：US11690776

申请日：2007-03-23

申请人： Shaoher X. Pan

发明人： Shaoher X. Pan

IPC分类号： G02B26/08 ,  G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0833

摘要： Devices and methods for forming a spatial light modulator with high contrast are described. Light absorbing materials are used within a chamber that houses a spatial light modulator. The light absorbing materials absorb reflected light that is not intended for forming a part of a display image. The light absorbing material can form an aperture layer, wherein light to form the display image is transmitted through an opening in the aperture layer. An array of spatial light modulators can be within the housing and dummy spatial light modulators may be formed to enable easy alignment of the array with the opening in the aperture layer.

摘要翻译： 描述了用于形成具有高对比度的空间光调制器的装置和方法。 在容纳空间光调制器的室内使用吸光材料。 吸光材料吸收不用于形成显示图像的一部分的反射光。 光吸收材料可以形成开口层，其中形成显示图像的光通过孔层中的开口传输。 空间光调制器的阵列可以在壳体内，并且虚拟空间光调制器可以被形成为使得阵列能够容易地对准孔径层中的开口。

公开(公告)号：US07416908B2

公开(公告)日：2008-08-26

申请号：US11382630

申请日：2006-05-10

申请人： Chii Guang Lee ,  Shaoher X. Pan ,  Hung Kwei Hu

发明人： Chii Guang Lee ,  Shaoher X. Pan ,  Hung Kwei Hu

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： B81C1/00182 ,  B81B2201/042

摘要： A method for fabricating a micro structure includes depositing a first layer of a first material over a substrate; patterning a first hard mask over the first layer; depositing a second layer of a second material over the first layer and the first hard mask; patterning a second hard mask over the second layer; and selectively removing the first material and the second material not covered by any of the first mask and the second mask to produce over the substrate the micro structure having a first structure portion having a first height and a second structure portion having a second height.

摘要翻译： 一种用于制造微结构的方法包括在衬底上沉积第一材料的第一层; 在第一层上构图第一硬掩模; 在所述第一层和所述第一硬掩模上沉积第二材料的第二层; 在第二层上图案化第二硬掩模; 以及选择性地去除所述第一掩模和所述第二掩模中未被所述第一掩模和所述第二掩模未覆盖的所述第一材料和所述第二材料，以在所述基板上产生具有第一高度的第一结构部分和具有第二高度的第二结构部分的所述微结构。

公开(公告)号：US07394586B2

公开(公告)日：2008-07-01

申请号：US11609861

申请日：2006-12-12

申请人： Shaoher X. Pan

发明人： Shaoher X. Pan

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B26/0833

摘要： A high contrast spatial light modulator for display and printing is fabricated by coupling a high active reflection area fill-ratio and non-diffractive micro-mirror array with a high electrostatic efficiency and low surface adhesion control substrate.

公开(公告)号：US20080144155A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：US11610464

申请日：2006-12-13

申请人： Shaoher X. Pan

发明人： Shaoher X. Pan

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0054 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/058

摘要： A micro mirror device includes a hinge supported by a substrate and a mirror plate tiltable around the hinge. The hinge includes a length longer than 1 micron, a thickness less than 500 nanometers, and a width less than 1000 nanometers. The hinge can produce an elastic restoring force on the mirror plate when the mirror plate tilts away from an un-tilted position.

摘要翻译： 微镜装置包括由基板支撑的铰链和可围绕铰链倾斜的镜板。 铰链包括长度大于1微米，厚度小于500纳米，宽度小于1000纳米的长度。 当镜板倾斜离开倾斜位置时，铰链可以在镜板上产生弹性恢复力。